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【課題】 X線のノイズを低減させて、かつ正規のX線が制限されることなくX線を発生させることができるX線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 陰極11からの電子ビームBのターゲット12への衝突によりX線を発生させるX線管1において、ターゲット12の陰極11側とは反対側のX線発生側には、ターゲット12に近接して遮蔽アパーチャ19を配設しており、この遮蔽アパーチャ19はX線通過孔19aを有している。X線検出器2の有効面積Sに相当したX線有効照射領域Tを少なくとも通すようにX線通過孔19aを形成している。このように形成することで、X線のノイズを低減させて、かつ正規のX線が制限されることなくX線を発生させることができる。 (もっと読む)


電子バンチを貯蔵するための電子貯蔵リングを備えるコンプトン後方散乱X線源が提供される。タイミングシステムが、X線の放出に関する少なくとも1つの属性を向上させるものが選択されたスケジュールに従って、軌道を回っている電子バンチをリフレッシュする。一実装形態では、電子バンチは、少なくとも約10Hzの周期で周期的にリフレッシュされる。 (もっと読む)


液体(2)から真空チャンバ(70)の中で固体フィラメント(1)を製造するための、以下の行程を有する方法が開示されている。気体が熱交換器装置(20)で液化され、液体(2)を製造され、この液体(2)は、供給ライン(27)とノズル(30)とを介して、真空チャンバ(70)の中へと供給される。熱交換器装置(20)でのガスの液化は、液体(2)のp−T作動点を調整することを有し、この作動点では、液体(2)は、固体凝縮状態へと転換され、ノズル(30)から真空チャンバ(70)の中へと排出された後に、コリメートされた安定したジェットを形成する。真空中で固体フィラメント(1)を製造するためのノズル装置も開示されている。
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プラズマ(26)により放出される特にEUV放射(12)及び/又は軟X線放射(12a)を発生する方法が記載されている。プラズマ(26)は放電空間(14)内の動作ガス(22)により形成され、該放電空間は少なくとも1つの放射放出ウィンドウ(16)と、少なくとも1つのアノード(18)及び少なくとも1つのカソード(20)を備える電極システムとを有する。この電極システムは、プラズマ(26)に電気エネルギを、放電空間(14)に導入された電荷キャリア(24)により伝達する。高繰り返し周波数でのプラズマ(26)の信頼性のある点弧を得るために、少なくとも1つの放射源(28)により発生される放射(30)が放電空間(14)に導入されて、電荷キャリア(24)を利用可能にすることが推奨される。

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この発明は、陽極(11)に向けて電子を発生する電子放出源(17)、陽極を回転可能に支持する軸(13)、ロータ軸(15)を回転させる力を発生するステータ(19)、少なくとも陽極と電子放出源とロータ軸を真空に維持する外囲器(9)、外囲器の周囲に冷却媒体を介在させるハウジング(3)を含むX線装置(1)であり、電子放出源、ステータ等に電源を供給する電線材またはその電線材との接続に利用されるコネクタを、絶縁性を示す材料によりモールドしたことを特徴とする。 (もっと読む)


具体的には、極紫外放射リソグラフィ(EUV)又は測定学のために、電動式放電を用いて極紫外放射又は軟X線放射を生成する方法であって、生成されるべき放射線を放射するプラズマ(22)を放電空間(12)中の少なくとも2つの電極(14,16)間のガス状媒体内に点火するステップを含む。ガス状媒体は、金属溶融物(24)から生成され、金属溶融物は、放電空間(12)内の表面に塗布され、且つ、エネルギービーム、具体的には、レーザビーム(20)によって、少なくとも部分的に蒸発させられる。
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マルチビームX線生成装置は、陰極上に所定のパターンで配置され、固定され個々に制御可能な複数の電子放出ピクセルを有した、固定電界放出陰極と、前記ピクセルの前記所定パターンに対応する、所定パターンで配置された複数の焦点を備えた、前記陰極の反対側に位置する陽極と、前記陽極及び陰極を覆う真空槽と、を備える。別の構成は、その少なくとも一部に電子放出物質が配置された平面状の表面を有した固定電界放出陰極と、前記陰極の平面状の表面に対して空間を隔てて平行に設けられ、サイズの異なる複数の開口部を有したゲート電極と、前記陰極と空間を隔てて反対側に位置し、前記電子放出物質に合わせて複数の焦点を有する陽極と、前記陽極及び陰極を覆う真空槽と、を備え、前記ゲート電極は、少なくとも1つの焦点及びその登録位置から外れた位置へ、前記陰極から放出された電子の少なくとも1つのビームを送出するように前記開口部を操作できるように、動作可能であるX線生成装置として実現される。関連する方法も開示されている。 (もっと読む)


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