【課題】Ｘ線シャッタを備えるハウジングを提供する。
【解決手段】ハウジング内の開口と、遮蔽位置と解放位置との間で移動可能なシャッタとを含み、Ｘ線ハウジングのためのシャッタ構成は、例えば、固体タンタル、ニオブ、若しくは、ジルコニウム、又は、少なくとも８０パーセントを含む合金のシャッタ１０を含む。実施態様において、シャッタは、通孔２２を有し、Ｘ線ハウジングの内面上で閉塞位置と開放位置との間を摺動し、開放位置において、通孔２２はハウジング内の開口８と整列する。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置において、簡単な構成によりプラズマ発生室内の真空度や清浄度を高める。
【解決手段】液滴生成室１００と、該液滴生成室と開口部１０１ａを介して接続されているプラズマ発生室１１０と、プラズマ生成室内にターゲット物質を供給するノズル１０２と、ノズルから供給される溶融金属のターゲット物質に基づいて、繰り返し滴下する溶融金属の液滴１０８を生成するピエゾ素子１０３及びピエゾドライバ１０６と、生成されたターゲット物質の液滴１０８ａが、開口部を通過するのを妨げる液滴遮断ユニット１０７と、液滴遮断ユニットが所定のタイミングで動作するように制御する制御部１１５と、レーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光源から出射したレーザ光を、液滴生成室において生成され、開口部を通過してプラズマ発生室に導入されたターゲット物質の液滴１０８ｂに照射させるレンズ１１２とを含む。 （もっと読む）

【課題】人手を使った電子銃の交換作業に支障を来たすこと無く、モノクロメータによるＸ線の集光効率を向上できるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】フィラメント１１から出た電子が回転対陰極４に衝突する領域であるＸ線焦点ＦからＸ線を発生するＸ線発生装置１である。Ｘ線発生装置１は、フィラメント１１を取り囲むウエネルト電極１２と、ウエネルト電極１２と一体である取付部１３と、取付部１３が取り付けられる台座２０と、台座２０及び対陰極４を収容しているケーシング２とを有している。ケーシング２が対陰極４を収容している空間Ｋ２の幅Ｗ３２は、ケーシング２が台座２０を収容している空間Ｋ１の幅Ｗ３１よりも狭い。ウエネルト電極１２は、取付部１３が台座２０に取り付けられた状態で、ケーシング２が対陰極４を収容している空間Ｋ２内へ延び出ている。 （もっと読む）

【課題】特殊な電子放出素子を用いることなく、長寿命の電界放出型Ｘ線発生装置を得る。
【解決手段】電界放出型Ｘ線管１０は、電子放出素子となる冷陰極１２を備えている。冷陰極１２に対しては、直流電源２１から、高圧ケーブル２２を介して、数十ｋＶの負電圧が印加される。直流電源２１近傍に設けた第１の電流制御抵抗３１の他に、冷陰極１２近傍には、第２の電流制御抵抗４１が設けられている。
高圧ケーブル２２に寄生しているインダクタンスＬやキャパシタンスＣに起因する過電流が発生して冷陰極１２に流れようとしても、第２の電流制御抵抗４１によって当該過電流がそのまま冷陰極１２に流れることを防止でき、冷陰極１２の長寿命化が図れる。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの電子蓄積リングのような大がかりな装置を用いることなく、所定値以上のエネルギー領域において特性Ｘ線の無い連続Ｘ線を発生することのできるＸ線放射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射装置は、炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性軽元素ターゲットからなり、冷陰極電子源から放出された電子を入射するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備し、電子の入射方向に対して前方に放出するＸ線を利用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小焦点化及びマルチビーム化したＸ線管において、陽極の熱による劣化を防止する。
【解決手段】Ｘ線管に用いられる回転陽極の陽極本体３０のビーム照射面２９に、溝３３と、溝３３の表面に設けられた第１のＸ線非発生材３７と、溝３３内に埋め込まれた第２のＸ線非発生材３４とからなる複数のＸ線非発生部３５ａ〜３５ｄと、Ｘ線非発生部３５ａ〜３５ｄの間に設けられ、ビーム照射面２９の表面から構成される複数のＸ線発生部３６ａ〜３６ｃとを設けている。陰極から電子ビームが照射されると、Ｘ線発生部３６ａ〜３６ｃは、放射線画像撮影に適した強度及び波長域のＸ線を発生するので、小焦点化され、かつ所定ピッチで配列された仮想的な複数の点光源を得られる。第１のＸ線非発生材３７及び第２のＸ線非発生材３４は、例えばカーボン及びアルミニウムからなるので、陽極本体３０の熱が放熱される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で不要な放射線の遮蔽とターゲットの冷却を可能とし、かつ小型軽量化を可能とする放射線発生装置、およびそれを備える放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】冷却媒体が充填された収納容器の内部に、透過型放射線管が収納され、透過型放射線管は、開口部を有する外囲器と、外囲器の内部に、外囲器の開口部に臨んで配設された電子放出源と、放射線を透過する透過基板と、透過基板の電子放出源側の面に設置され、電子放出源から放出された電子の照射により放射線を発生するターゲットと、ターゲットから放出された放射線を遮る遮蔽体と、を備え、遮蔽体は外囲器の開口部に連通する通路を有し、遮蔽体の通路に透過基板が設けられ、冷却媒体は遮蔽体の少なくとも一部に接していることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で不要な放射線の遮蔽とターゲットの冷却、小型軽量化を可能とし、かつより信頼性の高い放射線発生装置、およびそれを備える放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】冷却媒体が充填された収納容器の内部に、透過型放射線管が収納され、透過型放射線管は、開口部を有する外囲器と、外囲器の内部に、外囲器の開口部に臨んで配設された電子放出源と、放射線を透過する透過基板と、透過基板の電子放出源側の面に設置され、電子放出源から放出された電子の照射により放射線を発生するターゲットと、ターゲットから放出された放射線を遮る遮蔽体と、透過基板と冷却媒体との間に設置された断熱部材と、を備え、遮蔽体は外囲器の開口部に連通する通路を有し、遮蔽体の通路に透過基板が設けられ、冷却媒体は遮蔽体の少なくとも一部に接していることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】 振動を長期に亘って軽減させることができる取付器具、回転陽極型Ｘ線管装置及びＸ線装置を提供する。
【解決手段】 取付器具１ａは、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａを有し、剛性を示す支持部材２と、支持部材２より剛性の低い緩衝部材３とを備えている。支持部材２は、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａ間に加わる外力を支持し、緩衝部材３に加わる外力を軽減させ、緩衝部材３は、外部から加わる振動を減衰又は吸収し、第１取付面Ｓ４ａ及び第２取付面Ｓ５ａ間に伝わる振動を軽減させる。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ放射のためのプラズマ光を長時間（μｓｅｃオーダーで）安定して発生させることができるプラズマ光源とプラズマ光発生方法を提供する。
【解決手段】対向配置された１対の同軸状電極１１を有しその中間位置１１ａにプラズマ３を軸方向に閉じ込める複数の同軸電極対１０と、各同軸電極対１０にプラズマ媒体を供給しかつプラズマ発生に適した温度及び圧力に各同軸電極対内を保持する放電環境保持装置２０と、各同軸電極対の各同軸状電極に極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置３０とを備える。複数の同軸電極対１０は、中間位置１１ａで互いに交差して配置されており、電圧印加装置３０は、各同軸電極対１０の同軸状電極１１に位相がずれた放電電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線源が正常なＸ線を放射することができるようにＸ線源に電源を与える電源ユニット及び上記電源ユニットを備えたＸ線装置を提供する。
【解決手段】 電源ユニット５０は、電子源１６と、抑制電極１７と、引出電極２１と、加速電極２５と、電子光学系と、ターゲット１３と、真空容器１１と、を備えたＸ線源に電源を与える。電源ユニット５０は、電子源１６を加熱する第１電源Ｅｆ１と、第１電源Ｅｆ１とは独立して電子源１６を加熱する第２電源Ｅｆ２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
多元素同時分析を可能とし、運転に必要とされる洗浄作業や消耗品交換の保守作業を低減し、測定データをオンライン伝送する水質管理システムにも好適な蛍光Ｘ線水質計を提供する。
【解決手段】
測定試料の一部は脱泡槽１４の下部からノズル１３に導かれ、大気中に噴出することでセル等を用いずに流束を形成し、Ｘ線発生素子５からＸ線を投影する。陰極電圧可変用電源装置６はＸ線発生素子５が発生するＸ線のエネルギーが測定目的の元素に固有の蛍光Ｘ線エネルギーより大きくなるように調整され、流束から放射される固有の蛍光Ｘ線を半導体Ｘ線検出素子７で検出し、信号処理装置９で処理することで測定試料中に含まれる複数の元素を同時に測定し、その測定データを管理センターに伝送することで水質管理システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管の電子ビーム・システムが広い放出ダイナミック・レンジにおいて動作することを可能にする。
【解決手段】電子ビーム・システムを動作させる方法が提供される。さらにまた、提供される方法を具現化する電子ビーム・システム、Ｘ線管（３００）及びＣＴシステムが記載される。この方法は、イメージング・システムのＸ線管（３００）において電子ビームを発生するステップを含んでいる。加えて、イメージング・システムの特定のビューに対応する電流構成を識別する。識別された電流構成が所定の範囲内にある場合には、パルス幅変調を用いてイメージング・システムの特定のビューについて電子ビームの負荷サイクルを変調する。さらに、変調された電子ビームをターゲットへ向けて集束させる。 （もっと読む）

【課題】製造性が良好で環境に配慮したＸ線管の収容容器を提供する。
【解決手段】少なくともタングステン29を含む材料により、内部にＸ線管15を収容する容器本体21を形成する。容器本体21の内面に、環境に対して好ましくない影響を与え得る物質である鉛の内張りなどを施すことなく不必要なＸ線12bを遮蔽できる。鉛の内張りを形成する際に不可欠な鉛部品の成形や接合、および、鉛部品と容器本体21との接合などの製造工程が不要となる。製造性が良好で環境に配慮したＸ線管15の収容容器14を提供できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管と高電圧発生部とを適正な位置関係で配置することにより、装置全体を小型、軽量に形成し、しかも少量のモールド材で十分な絶縁を確保できる工業用Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１において、昇圧回路２７ａは自身の低電圧入力端子Ｔ１ａから高電圧出力端子Ｔ２ａにわたって複数の昇圧段が順次に接続されることによって形成されている。昇圧回路２７ａは、自身の低電圧端子Ｔ１ａがＸ線管７の陽極１３に対応し自身の高電圧端子Ｔ２ａがＸ線管７の陰極１１に対応するようにＸ線管７の側部領域に配置される。陰極１１からＸ線管７の外部へ延びているリード線２８ａが昇圧回路２７ａの高電圧端子Ｔ２ａに接続されている。少なくともＸ線管７の陰極１１側の端部と、陰極側の端部から延出するリード線２８ａと、昇圧回路２７ａの高電圧端子Ｔ２ａ側の端部は、絶縁性樹脂を含むモールド材Ｍによってモールド成形されている。 （もっと読む）

【課題】 制御性の優れたマルチＸ線ビームの形成を小型の装置により可能とする。
【解決手段】 マルチ電子ビーム発生部１２のマルチ電子放出素子１５から発生した電子ビームｅは、レンズ電極１９によるレンズ作用を受け、アノード電極２０の透過型ターゲット１３の部分で最終電位の高さに加速される。ターゲット１３で発生したマルチＸ線ビームｘは真空内Ｘ線遮蔽板２３、Ｘ線取出部２４を通り、更に壁部２５のＸ線取出窓２７から大気中に取り出される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で重元素に対する組成分析を行う。
【解決手段】レーザーコンプトン光１００が試料２００に照射される。このレーザーコンプトン光１００及びこのレーザーコンプトン光１００が試料２００を透過した後の透過光１１０がＸ線検出器１２０で検出され、その検出信号がデータ処理部１３０で処理される。このレーザーコンプトン光発生装置２０は、準単色あるいは単色のＸ線をレーザーコンプトン光１００として出力する。ここでは、周回軌道で加速された高エネルギー電子２１とレーザー光２２とが衝突部２３で衝突する設定とされる。レーザー光源２９から発せられたレーザー光２２は、交差角調整部３０でその交差角が制御され、衝突部２３に導入され、高エネルギー電子２１と衝突する。交差角調整部３０によってこの交差角を制御することによって、レーザーコンプトン光１００のエネルギーを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、真空チャンバ内に配置され、プラズマから発生したイオンを検出して、そのイオン量を表す検出信号を出力するイオン検出器と、該イオン検出器から出力された検出信号に基づいて、イオン量を積算して積算値を算出する計算部と、該計算部によって算出された積算値が所定の基準値に至った場合に、集光ミラーの交換時期又は修理時期を表す判定信号を出力する判定部とを含む。 （もっと読む）

【課題】比較的安価でかつ長寿命のＸ線管電子源の提供。
【解決手段】Ｘ線管は抑制器（１４、１６）内に収容される放出器ワイヤ（１８）を備える。抽出グリッドが、放出器ワイヤに対して垂直に延在する複数の平行なワイヤ（２０）を備え、集束グリッドが、グリッドワイヤ（２０）に対して平行であり、かつグリッドワイヤ（２０）から等間隔で離間して配置される複数のワイヤ（２２）を備える。グリッドワイヤはスイッチによって正の抽出電位または負の阻止電位に接続され、いつでも一対の隣接するグリッドワイヤ（２２）が共に接続され、抽出対を形成し、それが電子ビームを生成するように、それらのスイッチが制御される。ビームの位置は、種々のグリッドワイヤ対を抽出電位に切り替えることにより移動される。 （もっと読む）