【課題】実質的に円柱形または球形処理装置に特に適している収束または発散放射パターンを生成するＸ線照射装置の実現。
【解決手段】Ｘ線照射装置であって、放射の収束パターンを有するＸ線を生成するための、連続な、実質的に凹面の放射素子909は電子を放射し、加速フィールドは、適切な電圧を、放射された電子が目標材料905に向かって加速して衝突するように加えることにより、放射素子909と目標材料905の間に確立される。そのような衝突から生成されたＸ線は、内部チューブ911内の目標体積913に向かって導かれる。このようにして、目標体積の内容物が効率よく照射される。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光源装置の稼働率を向上させる。
【解決手段】チャンバ装置は、レーザ光源１１０と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ光源１１０から出力されるレーザ光L1を内部に導入するための少なくとも１つの入射口が設けられたチャンバ１００と、前記チャンバ１００に設けられ、前記チャンバ１００内の所定の位置にターゲット物質２００を供給するターゲット供給部１２０と、所定条件が成立した場合に、前記タ―ゲット供給部１２０に対してリカバリ動作の実行を指示するリカバリ制御部３０１と、前記リカバリ制御部３０１からの指示に応じて前記リカバリ動作を実行するリカバリ部４００と、前記ターゲット供給部１２０から前記チャンバ１００内に供給されるターゲット物質２００の位置を計測する位置計測部３０２と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】経年変化の影響を受けても、良否判定を正常に実行することができるようにしたＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器と、Ｘ線検出器と、Ｘ線透過画像形成部と、良否判定部とを備えるＸ線検査装置において、良否判定部は、模擬劣化画質レベル設定手段を有し、模擬劣化画質レベル設定手段は、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にするために、判定基準に基づいて良品と判定されるようなＸ線透過画像である良品画像の画質を劣化させる目標レベルである模擬劣化画質レベルを設定し、設定された模擬劣化画質レベルに対応させて、Ｘ線発生器， Ｘ線検出器，Ｘ線透過画像形成部の少なくとも一つを制御して、Ｘ線検査装置を模擬劣化状態にし、模擬劣化状態にあるＸ線検査装置において良否判定が正常であることを確認する動作確認部を備える。 （もっと読む）

【課題】光路の形成に利用するミラーの数を低減することでＸ線発生装置を小型化する。
【解決手段】レーザ光を発生するレーザ光源１０と、レーザ光源から発生されたレーザ光を、電子を加速させるための第１レーザ光と加速された電子に衝突させる第２レーザ光とに分光する分光手段１１と、真空室中で第１レーザ光にプラズマを発生し、電子を加速する媒体であるガスを発生させる発生手段１６と、分光手段で分光された第２レーザ光の光路Ｌ２に第１レーザ光及び第２レーザ光と干渉しないように設置され、それぞれ位置と回転角度を調節してこの第２レーザ光の光路Ｌ２を設定する２枚のミラー１２ａ，１２ｂと、第１レーザ光を利用して加速された電子と第２レーザ光とが衝突する位置を設定する集光手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光源におけるＥＵＶコレクタの反射表面からデブリを除去するための方法および装置を提供する。
【解決手段】電流源（ＤＣ電圧源）２２０は、コレクタミラー１５０、ミラー１５０のための金属製バッキング材（アルミニウムまたはニッケル）に接続されてよい。ミラー１５０は、チャンバ２６の内側を満たす周囲ガス（ヘリウムガス）の温度よりも高い温度に加熱されてよい。デブリ洗浄のもう一つの側面、ＲＦ周波数電圧２３０およびチャンバ２６内の２３２で模式的に示すアンテナからの、ＲＦの導入が組込まれてもよい。ＲＦは、ミラー１５０または金属製バッキング材に接続されてもよく、この場合、適切な導電性材料製で且つアース電位に接続された暗シールドが、コレクタミラー１５０の背面を覆って形成されてよく、これは絶縁体（空気ギャップ）および電圧（ミラー１５０にも接続されたＤＣ電源２２０からのＤＣ）によってミラーから分離される。 （もっと読む）

【課題】試料３の幅方向位置の測定精度を向上させ、試料測定範囲（厚さの範囲や材質など）の広範囲化を図った放射線測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物（試料）を搬送させながら放射線を用いて前記試料の物理量の測定を行う放射線測定装置において、前記試料の搬送方向に略直角に配置されたラインセンサと、前記試料の上方に配置され前記試料を介して前記放射線を前記ラインセンサに照射する複数の放射線源からなり、前記複数の放射線源からの放射線は前記試料の搬送方向に略直角方向に扇状に出射されると共に前記ラインセンサの同一線上を照射するように構成した。 （もっと読む）

【課題】高分解能と高コントラストのX線透過吸収像を得るために必要なX線ターゲットとその作製方法を提供する。
【解決手段】ポリイミド膜２上に形成されたAuターゲット２を備えるX線ターゲット。 （もっと読む）

【課題】不要なエネルギー領域のＸ線の発生量を抑制するＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置５０は、第１の線形加速器５４により加速された電子ビームＢを出射するビーム出射部５２と、電子ビームＢの経路上で薄膜ターゲットＴ１を保持する保持部２０と、薄膜ターゲットＴ１透過後の電子ビームＢを減速するための第２の線形加速器５６と、減速後の電子ビームＢを受け止めるビームダンプ部１８とを備え、第２の線形加速器５６は、高周波が供給されることによって内部に定在波電場が形成される加速セル１５ａを備えた加速部１５を有し、この加速部１５は、定在波電場により荷電粒子を加速したときに当該荷電粒子を外部に出射する開口１６を有し、この開口１６から加速部１５の内部に薄膜ターゲットＴ１通過後の電子ビームＢが入射する位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】試料を高分解能で検査することが可能なＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】固定ベース４０と、電子を放出する電子銃１１と、電子銃１１から放出された電子が衝突する陽極ターゲット１２と、陽極ターゲット１２を支持するヘッド部１５Ｂ及びボディ部１５Ａを有するとともに電子銃１１を収容する真空外囲器１５と、を有するＸ線管１０と、Ｘ線管１０から放出されたＸ線を検出するセンサ２０と、Ｘ線管１０とセンサ２０との間に位置するとともに試料を保持する試料ステージ３０と、ボディ部１５Ａを固定ベース４０に固定する第１固定部材５０Ａと、ヘッド部１５Ｂを固定ベース４０に固定する第２固定部材５０Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型で取り扱いが簡単なＸ線放射装置とこれを組み込んだ非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】 携帯型非破壊検査装置１は、Ｘ線発生装置を収納する本体部２と電源部３からなり、これら本体部２と電源部３は分離可能とされ、本体部２と電源部３の分離結合はメカニカルキーによって行う。前記電源部３はトランス４と電池収納部５を一体化しており、トランス４からは端子６が突出し、電池収納部５には把持部７が取り付けられ、この把持部７にスイッチ８を設けている。 （もっと読む）

Ｘ線発生装置は、プラズマチャンバと、プラズマチャンバに磁場を印加し、構造を変更することなくプラズマチャンバ内の最小磁場の大きさを調節できるように構成された磁石部と、プラズマチャンバにマイクロ波を注入するマイクロ波発生部と、プラズマチャンバ内に注入され、磁場及びマイクロ波による電子サイクロトロン共鳴を通じてＸ線を生成する反応気体と、生成されたＸ線を集束する可変型ガイド、及び集束されたＸ線をプラズマチャンバから出力する可変型引き出し部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 微小焦点を有しながら一般撮影が可能となるよう大電流を供給しても焦点ズレを生じるおそれが少ないＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置１は、Ｘ線管４を包含するＸ線管容器２を備えている。Ｘ線管４は、電子を放出する３つの電子発生源４４６〜４４８及び電子発生源から放出された電子を細いビーム状の電子線に集束させる集束体４４２及び集束電極４４９を含む陰極４４と、陰極と対向して配置され、その対向面上に電子線が衝突してＸ線を放射するＸ線源を形成するターゲット４６２を有する陽極４６と、陰極及び陽極を真空気密に封入する外囲器４２とを有する。２つの電子発生源４４６，４４８によりターゲット４６２上に大焦点用のＸ線源を形成するとともに、１つの電子発生源４４５によりターゲット上に微小焦点用のＸ線源を形成するように構成されている。 （もっと読む）

電離放射線（１２）を制御可能にダウンホール発生させる装置であって、装置は少なくとも、電気的に絶縁された真空容器（９）の第１端部（７ａ）に配置された熱イオン発生器（１１）と、電気的に絶縁された真空容器（９）の第２端部（７ｂ）に配置されたレプトンターゲット（６）と、を含み、前記熱イオン発生器（１１）は一連の直列接続された負電位増加要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄）に接続され、各電位増加要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄）は、印加された直流電位（δＶ₀，δＶ₁，δＶ₁₊₂，・・・，δＶ₁₊₂₊₃）を印加された駆動電圧（Ｖ_AC）を変換することで増加し、増加された負の直流電位（δＶ₁，δＶ₁₊₂，・・・，δＶ_1+2+3+4）と駆動電圧（Ｖ_AC）とを前記一連の直列接続された要素（１４₁，１４₂，１４₃，１４₄，５）の次の構成単位へ送り、電離放射線（１２）は２００ｋｅＶを越え、スペクトル分布の主要部分がコンプトン範囲内である装置。
（もっと読む）

【課題】改善された出力安定性を有するＸ線源アセンブリおよび動作方法を提供する。
【解決手段】アセンブリ２７００は、電子２１２０が上に当たるソーススポットを有するアノード２１２５、および出力構造に対するアノードソーススポットの位置を制御する制御システム２７１５，２７２０を含む。制御システムは、Ｘ線ソースアセンブリの１つまたは複数の動作条件にもかかわらず、出力構造２７１０に対するアノードソーススポットの位置を維持することができる。開示する一態様は、石油をベースとする燃料の硫黄の分析に最も適している。 （もっと読む）

【課題】光電子やプラズマを発生させることなく光電界電離現象を利用し電子を放出させる電子発生技術を採用することにより、レーザー装置を小型化および低コスト化するとともに、電極の熱エネルギーによるダメージを軽減してデブリの発生を抑制することを可能にしたＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザー光２を出射するレーザー光源１と、パルスレーザー光２が照射されることにより電子を放出する陰極４と、陰極４から放出した電子６が加速されて衝突することによりＸ線９を放出する陽極５と、 陰極４および陽極５を収容する真空容器７と、を備えるＸ線発生装置において、レーザー光源１は、パルス幅が１０^−１２秒以下のパルスレーザー光２を出射し、陰極４から光電界電離により電子を放出させることを特徴とするＸ線発生装置である。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線の放射を長期に亘って継続できるＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置は、フィラメント１６ａ及び電子集束部を含んだ陰極１６と、陽極１１と、真空外囲器１５とを有したＸ線管１と、Ｘ線管収納容器２と、絶縁油３と、フィラメントに並列に接続されたＮＴＣ特性を示すサーミスタ１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの焦点のサイズ及び焦点の位置を制御でき、電子ビームの照射におけるボケを防ぎ且つコンパクトなサイズのＸ線管を提供する。
【解決手段】コイルフィラメント１１１と、アノード１０２と、電子ビームの経路上に孔を備えたコイルフィラメント１１１を収納するウエネルト１１２と、ウエネルト１１２の開口に設けられたアパーチャ１１３と、電子ビームの経路を挟んで所定方向に相互に対向して溝の開口の近傍に配置された１対のＸエレクトロード１１４と、所定方向に直交する方向に相互に対向し且つＸエレクトロード１１４と同一面上に配置された１対のＹエレクトロード１１５と、を備え、Ｘエレクトロード１１４の電圧及びＹエレクトロード１１５の電圧を制御することにより、照射領域のサイズの変更、及び電子ビームの経路の移動を制御する。 （もっと読む）

本発明は、把持部１８及び支持部１９を備えるベースボディを有するＸ線装置のためのハウジング１のためのハンドル１７，２１に関し、リンク１６，２２が、ハウジング１に接続するために使用される把持部１８上に設けられ、取付装置１０，２０が、共通の軸１１上で互いに距離をおいて配置される２つのホイール１２，１３を備える取付部１９内に形成され、ホイール１２，１３は、ベースボディの外郭を越えて突出し、凹部１４がホイール１２，１３の間にある。 （もっと読む）