【課題】電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブでＸ線を照射し前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは、下部に連結棒が構成され、この連結棒の下段に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターは固定フレームによって前記ステージに固定されるように構成し、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成することで解決した。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内にある光学素子に付着したデブリを除去するクリーニング方法を提示する。
【解決手段】ターゲット物質にレーザ光を照射することにより生成されるプラズマから極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバの内部に電場又は磁場を発生させる電磁場発生部と、チャンバの内部の光学素子に付着したデブリを帯電させて該光学素子から離脱させ、又は、該デブリを該光学素子から離脱させて帯電させるクリーニング部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】回転ユニオン継手からの流体漏れを防ぐ。
【解決手段】Ｘ線ターゲット（５８）用の回転ユニオン継手（５０）は、筐体（８６）と、冷却材振り回し装置であって、内径及び外径、基部側端部（６１）及び末梢側端部（１０２）、並びに内部に中孔を有する回転シャフト（６０）と、回転シャフト（６０）の基部側端部（６１）に結合されている振り回し器（６６）とを含んでいる冷却材振り回し装置と、振り回し器（６６）に結合されている排出環（６４）であって、振り回し器（６６）は冷却材を排出環（６４）に向けるように構成されており、排出環（６４）は冷却材を一次冷却材出口（７８）に通すように構成されている、排出環（６４）と、第一の端部（６３）及び第二の端部（６５）を有する静止管（６２）であって、当該静止管（６２）の少なくとも一部が回転シャフト（６０）の中孔の内部に配設されている静止管（６２）とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管装置の故障を防止したり、使用不能となる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、使用方法改善のための検討が行えるＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置本体１０１に取り付けられ、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させることで、一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管装置１０であって、Ｘ線装置本体１０１の制御部５０と通信可能とする記憶部１８を備え、記憶部１８は、制御部５０と通信することにより、フィラメント１２の前回の使用終了日時情報、フィラメント１２への通電時間情報、フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管の内部に電磁漏洩のない小型高圧電源を設置することによって電子ビームの照射位置に影響を与えることなく安定したＸ線発生位置を実現したＸ線発生装置を提供することにある。
【解決手段】入力される交流あるいは直流の電力を１０−２００ｋＨｚの高周波交流電力に変換する駆動回路と該変換された前記高周波交流電力を熱発生や電磁放射ノイズを抑制して昇圧する並列に設けられた複数の圧電昇圧トランスと該各々昇圧された交流電力を整流して３０−１００ｋＶの高電圧を得てＸ線管に負荷する複数の電圧昇圧用整流回路とを有する小型高圧電源を前記Ｘ線管の内部に設置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】逆コンプトン散乱現象を利用して硬Ｘ線を生成するＸ線射出装置において、安定して硬Ｘ線を射出する。
【解決手段】第１導光部４及び第２導光部５が、平行レーザ光Ｌ１の分岐手段２への基準入射条件からのズレ量に起因する変化が対称面Ａに対して対称となるように電子加速用レーザ光Ｌ２及び衝突用レーザ光Ｌ３を導光する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、アノード１１、フィラメント１７及びグリッド１８を有したカソード１０並びに真空外囲器１９を含んだＸ線管１と、筐体２０と、絶縁油９と、フィラメント端子３１及びグリッド端子３２を有したレセプタクル１６ａと、フィラメント回路３と、グリッド回路４とを備えている。絶縁油９を介したフィラメント回路３及びグリッド回路４間の放電開始電圧は、レセプタクル１６ａのフィラメント端子３１及びグリッド端子３２間の絶縁破壊電圧未満である。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射装置において、制御機構等に不具合を生じた場合にも、安全機構の各部品や回路の自己診断動作が阻害されない、信頼性の高いＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管球１５に電力を供給するＸ線管球電源１６、Ｘ線の照射対象を格納する試料室１１を有するＸ線照射機構１と、Ｘ線照射機構１の動作を制御する制御機構２と、試料室１１蓋１２の開閉を検知する蓋センサ３４、蓋センサ３４からの出力信号に基づき、Ｘ線管球電源１６への通電を禁止又は許可とするインターロック機構３７を有する安全機構３とを備える。安全機構３は、制御機構２からの通信を受けることなく、制御機構２から独立して安全機構３の状態を自己診断する診断機構３８を更に有する。 （もっと読む）

【課題】より広い制御範囲を持ち、Ｘ線出力を最大限に取り出すことができるＸ線発生装置、およびそれを備えたＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】ダイオードＤ３，トランジスタＱ，および抵抗Ｒ２を図２のような関係で接続することにより、流入する管電流Ａの量にかかわらずＸ線管のカソード電極３ａの電位は設定電圧近傍に保たれる。また、設定電圧が０Ｖ近傍まで制御することが可能となるため、Ｘ線管の制御範囲が拡大し、Ｘ線出力を最大限に取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】逆コンプトン散乱現象を利用して硬Ｘ線を生成するＸ線射出装置において、Ｘ線の射出方向を容易に変更する。
【解決手段】レーザ光を射出するレーザ光源装置１と、該レーザ光源装置１から射出されたレーザ光を集光領域Ｒに導光する導光手段２と、該導光手段２が固定されるステージ３と、集光領域Ｒを固定してステージ３を移動させる移動手段４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。 （もっと読む）

本発明は、電界放出陰極と、陽極と、陰極および陽極間に高電圧を適用してＸ線ビームの放射を可能にするコネクタと、自身の内部に陽極および陰極が配置される真空チャンバであって、Ｘ線透過窓を有する真空チャンバとを具えるＸ線源に関しており、電界放出陰極が連続したセル構造を有する炭化固体化合物発泡体から成り、連続したセル構造は高電圧が適用されたときに陽極に電子放出する複数の放出部位を具えている。電界放出陰極は、スイチッング時間、電流、運動エネルギ、および出射方向の点で電界放出陰極で放出された電子をさらに高度に制御することが可能であるため、Ｘ線システムの性能を向上することが可能である。 （もっと読む）

【要約書】 エミッタ支持ブロックと、支持ブロック上に設けられ電子を放出する電子放出領域と、電子放出領域と電流源とを電気的に接続するように構成された電気コネクタと、支持ブロックを加熱するように構成された加熱手段とを備えたＸ線スキャナ用の電子源 （もっと読む）

【課題】磁場発生器における温度の上昇を抑制することができるＸ線管装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱伝導率が互いに異なる複数の部品として、鉄からなる磁性部４Ａと銅からなる高熱伝導部４Ｂとを採用して、磁場発生器４を、磁性部４Ａおよび高熱伝導部４Ｂの積層構造に構成する。部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部４Ｂが放熱作用を有するように、冷却用のオイルなどに代表される冷媒あるいは磁場発生器４を固定する固定部を高熱伝導部４Ｂに接触させる。このように放熱作用を有することで、磁場発生器４で発生した熱は、部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部４に熱伝導して、放熱する。その結果、磁場発生器４における温度の上昇を抑制することができる。 （もっと読む）

本発明は、移動面（１０）上に合焦する、第１の波長（λ_１）の第１の光ビームを放射する一次光源（Ｆ_１）から二次源を発生させる装置に関し、前記第１のビームは、二次ビーム（Ｆ_２）を発生させるために本装置と相互作用し、本装置はさらに、前記移動面上の、前記二次源の放射点の向きおよび位置を測定するために前記移動面の向きおよび位置を制御する光学素子を備えることを特徴とし、干渉計型測定によって移動面（１０）の向きおよび位置を制御する上記光学素子は、
− ２つの分岐に分割される制御レーザビーム（１１）であって、一方の分岐は、固定された基準ビームであり、他方の分岐は、移動面から反射される移動解析ビーム（１２）である、制御レーザビーム（１１）と、
− 前記基準ビームと前記解析ビームとを干渉させて干渉縞を発生させる手段と、
− 前記移動面の向きおよび位置に関する情報を搬送する干渉縞を撮像するカメラ型手段（１６）と、
− 前記干渉画像を解析する手段（１７）と、
− 前記情報搬送信号の解析に基づいて前記移動面の向きおよび位置を制御するフィードバックループを発生させる手段（１８）と、を含むことを特徴とする。
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【課題】多重イメージング・エネルギ源を用いるＣＴシステムを提供する。
【解決手段】ＣＴシステム（１０）は、ガントリ（１２）の開口部（４８）を通るＸ線（１６）を投射するＸ線源（１４）を含む。Ｘ線源は、ターゲット（１００）へ第１及び第２の電子ビーム（１１４、１１６）をそれぞれ放出する第１及び第２の陰極（１０２、１０４）と、第１及び第２の陰極にそれぞれ結合された第１及び第２のグリッディング電極（１０８、１１２）とを含む。本システムは、第１及び第２の陰極を第１及び第２の電圧までそれぞれ付勢する発生装置（２９）と、ガントリの開口部を通過したＸ線を受け取る検出器（１２３）と、第１及び／又は第２のグリッディング電極にグリッディング電圧を印加して第１及び／又は第２の電子ビームの放出を阻止し、また検出器からイメージング・データを取得するように構成されている制御装置（２８）とを含む。 （もっと読む）

【課題】ベローズを用いないＸ線発生装置、及び、このＸ線発生装置を備えたＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線発生装置１は、略直方体をなし、上部に開口部１０ａを有した金属製の容器１０と、Ｘ線管１２と、容器１０内の底に設けられ、Ｘ線管１２を支持している支持部材１１と、容器１０内に充填され、Ｘ線管１２を浸漬して冷却する絶縁油１３と、開口部１０ａにおける容器１０内部側の外縁に接合され、容器１０の内外を連通させている筒状部材１４と、開口部１０ａを密閉する蓋部材１５と、容器１０、絶縁油１３及び蓋部材１５に囲まれ、不活性ガスが充填されている空間１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管格納容器は容器内外を結ぶ接続端子などの構造から複雑な形状となり、一般に鋳造よって造形されている。散乱する不要Ｘ線の遮蔽は極めて重要であるがこの形状に合わせて鉛を貼るので、熟練を要している。鉛の数片をバーナー溶接するので作業性、労働安全衛生上からも十二分な配慮が必要である。
【解決手段】帯状の鉛を主構造体、部品に分けて取り付け、これらを組み立てることによって、機能的に不要Ｘ線を遮蔽する。また主構造体を規格のパイプを使い鉛の貼り付けを容易にし、パイプその特性を利用してＸ線管の容器への格納を容易にし、金型代が不要となり大幅なコストダウが出来た。 （もっと読む）

【課題】絶縁油の膨張、収縮を緩衝する弾性部材が破断したことを検知できるとともに、運転の続行可否を判断できるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を得る。
【解決手段】開口部を有しており、Ｘ線管を内包し支持する容器と、該容器内に充填され、Ｘ線管を浸漬して、絶縁する第１の絶縁油と、前記開口部を閉塞するように取り付けられたベローズとを含むＸ線発生装置であって、前記開口部及び前記ベローズの外部と第１の外部容器、管１８、第２の外部容器１９とによって形成された空間を内部に有し、前記空間に気体及び第２の絶縁油２０が貯留されている貯留器を備えている。第２の外部容器１９は、第２の絶縁油２０液面を外部から目視できる透明部１９ａと、透明部１９ａの側部に設けられ、第２の絶縁油２０液面位置を読み取る目盛り１９ｂ_１、１９ｂ_２、１９ｃ_１、１９ｃ_２、１９ｄ_１、１９ｄ_２とを有している。 （もっと読む）

【課題】絶縁油の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を得る。
【解決手段】開口部１０ａを有しており、Ｘ線管１２を内包し支持する容器１０と、容器１０内に充填され、Ｘ線管１２を浸漬して、絶縁する第１の絶縁油１３と、第１の絶縁油１３の膨張、収縮を緩衝するために開口部１０ａを閉塞するように取り付けられたベローズ１５とを含むＸ線発生装置１であって、開口部１０ａ及びベローズ１５の外部とともに形成した密閉空間（第１の外部容器１７、管１８、及び第２の外部容器１９の内部空間）を内部に有し、前記密閉空間に気体及び第２の絶縁油２０が貯留されている貯留器１６を備えているものである。 （もっと読む）