【課題】極端紫外光源に用いられる反射鏡等、スズが付着した部材からスズを除去する方法を提供する。
【解決手段】水素イオン２３及び希ガスイオン２２を含むプラズマを生成し、スズ付着部材２１に負の電位が与えられるように部材と接地の間にプラズマを加速するための電圧を印加する。これにより、希ガスイオン２２がスズ付着部材２１の表面に入射してスズ２４を物理的にスパッタすると共に、水素イオン２３や水素ラジカル２５がスズ付着部材２１の表面においてスズ２４を水素脆化させ、スズ２４をスズ付着部材２１表面から除去する。除去されたスズ２４Ａは、プラズマ中の水素プラズマと反応し、気体である四水素化スズ２６となる。排気装置によりこの四水素化スズ２６を除去することにより、スズがスズ付着部材２１の表面に再付着することを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】構成が単純で適用範囲が広い体積変化吸収器、そのような体積変化吸収器を有するＸ線発生器、および、そのようなＸ線発生器を備えたＸ線撮影装置を実現する。
【解決手段】体積変化吸収器（３００）は、液体が封入される容器の壁を貫通して気密に取り付け可能な剛性のパイプ状部材(３１０)と、前記パイプ状部材の前記容器の内側となる部分の端部を気密に覆うように一端部が取り付けられ他端部が押し潰し状態で封止された可撓性のチューブ(３３０)とを具備する。 （もっと読む）

【課題】２次ターゲット26の交換を容易に可能とし、複数種類の特性Ｘ線25を容易に放出できるＸ線源11を提供する。
【解決手段】Ｘ線透過窓13を有する真空容器12内に、電子ビーム15を発生する電子銃14、電子ビーム15が入射して１次Ｘ線21を放出する１次ターゲット20を設ける。１次Ｘ線21は、真空容器12のＸ線透過窓13を透過する。真空容器12のＸ線透過窓13の外側を囲って、ボックス形の２次ターゲット体23を着脱可能に取り付ける。２次ターゲット体23は、Ｘ線透過窓13を透過する１次Ｘ線21が入射して特性Ｘ線25を放出する２次ターゲット26を備える。２次ターゲット体23には、特性Ｘ線25を外部に放出する特性Ｘ線取出窓27を設ける。 （もっと読む）

検査下の対象物（１０１）を映し出すためのＸ線画像装置（１００）であって、Ｘ線画像装置（１００）は、検査下の前記対象物（１０１）に向けられるべきＸ線束（１０４）を作り出すのに適合されたＸ線源（１０３）、検査下の前記対象物（１０２）を貫く前記Ｘ線束（１０４）の透過後複数の測定領域（１０８から１１４）の内の少なくとも１つの選択された領域（１１０，１１２）における前記Ｘ線束（１０４）のＸ線照射量を測るための照射量測定装置（１０６）、及び前記複数の測定領域（１０８から１１４）の内の少なくとも１つの選択された領域（１１０，１１２）を示す検査下の前記対象物（１０１）の表面部分（１１７）を照らすための照明装置（１１５）を含む。
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【課題】軟Ｘ線を発生させる装置において、発熱量を抑え、寿命を延ばす。
【解決手段】電子放出部であるエミッタ１３とターゲット１５を備えた除電装置において、粒径が２ｎｍ〜１００ｎｍのダイヤモンド粒子からなる薄膜がエミッタ１３の表面に形成されている。この薄膜は、ＸＲＤ測定においてダイヤモンドのＸＲＤパターンを有し、かつラマン分光測定を行った際に、膜中のｓｐ３結合成分とｓｐ２結合成分の比が、２．５〜２．７：１であることを特徴としている。直流電源１４から電圧がエミッタ１３に印加されると、しきい値電界強度が１Ｖ／μｍ以下で、エミッタか１３から従来よりも多数の電子が放出され、しかもエミッタ１３の温度も殆ど上昇せず、長寿命化が図れる。 （もっと読む）

出口開口まで圧力下で液体物質を推進させることによって、相互作用領域を通って伝搬するターゲット噴流を形成するステップと、少なくとも１つの電子ビームを、前記ターゲット噴流と相互作用して前記電子ビームがＸ線放射を発生するように、前記相互作用領域内のターゲット噴流上に向けるステップとを含む、Ｘ線放射を発生させる方法であって、前記ターゲット噴流の横方向における前記電子ビームの半値全幅が前記ターゲット噴流の横寸法の約５０％以下である、方法。この方法を実施するシステムもまた開示される。
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電子を放射するための陰極とダイナミック陽極とを含んでいるＸ線管を含んでいるＸ線結像システムを提供する。ダイナミック陽極は陰極から電子を受取り、非静止のＸ線ビームを発生する。ダイナミック陽極は非静止ビームを発生するために、Ｘ線ビームがオブジェクト上の第１の位置で誘導されている第１の位置と、Ｘ線ビームがオブジェクト上の第２の位置で誘導されている第２の位置との間で回転する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線によって物品を検査するＸ線検査装置において、Ｘ線源から発生するＸ線の外部漏洩を防止しながら、装置内部を効率的に冷却することができる手段を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を発生するＸ線源（２）と、Ｘ線源（２）を取り囲んで密封する装置壁（４１）と、を備え、装置壁（４１）の内側に、内部熱伝導体（４３）が設けられており、装置壁（４１）の外側に、内部熱伝導体（４３）から装置壁（４１）を介して伝導される熱を放熱する外部熱伝導体（４４）が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な強度のＸ線を出力することができる回転陽極Ｘ線管装置を提供すること。
【解決手段】回転陽極Ｘ線管装置は、Ｘ線が出力されるＸ線出力窓１３２を備えたＸ線管１０と、前記Ｘ線管１０を収容する、当該Ｘ線管１０を冷却する冷却液で満たされたハウジング２０と、前記ハウジング２０内に満たされた冷却液を循環させる循環ポンプ３０と、前記循環ポンプ３０により循環される冷却液をガイドして、前記Ｘ線出力窓１３２に対応する位置に、当該Ｘ線出力窓１３２に沿うような冷却液の流れを形成するサブ吐出配管３３とを具備していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インバータ回路の動作周波数を設定温度において高度に安定化させることにより、周囲温度の変化にかかわらず高安定化電源装置の直流出力高電圧の安定化を今まで以上に向上させること。
【構成】 インバータ回路の出力側に１次巻線が接続されたトランスと、そのトランスの２次巻線に接続された整流装置と、前記インバータ回路の駆動信号の周波数を決定する発振器とを備え、高安定度の直流電圧を出力する高安定度電源装置において、前記発振器とその発振器の周囲温度を制御する温度制御回路とが単一の恒温室ユニット内に収納され、前記恒温室ユニット内で前記温度制御回路の調整及び温度制御が行われることにより、前記発振器の発振周波数を安定化し、前記インバータ回路の前記駆動信号の周波数を高度に安定化することを特徴とする高安定度電源装置。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の加速器装置を利用して、ほぼ同時かつ同方向に二つの異なる波長帯の短パルス高輝度光ビームを得ることができる二帯域短パルス高輝度光源を提供することを目的とする。
【解決手段】二帯域短パルス高輝度光源装置は、大電荷量の線形加速器を用いた相対論的電子ビームに大出力短パルスレーザーを衝突させるコンプトン散乱により準単色の硬Ｘ線ビームを発生させ、前記電子ビームを周期長の短いアンジュレータで短パルスレーザーから分離した一部分と相互作用させてバンチスライス法によるテラヘルツ光を発生させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】制御性の優れたマルチＸ線ビームの形成を小型の装置により可能とする。
【解決手段】マルチ電子ビーム発生部１２のマルチ電子放出素子１５から発生した電子ビームｅは、レンズ電極１９によるレンズ作用を受け、アノード電極２０の透過型ターゲット１３の部分で最終電位の高さに加速される。ターゲット１３で発生したマルチＸ線ビームｘは真空内Ｘ線遮蔽板２３、Ｘ線取出部２４を通り、更に壁部２５のＸ線取出窓２７から大気中に取り出される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】カソードとアノードとによって加速した電子線を電子光学系によってターゲットに導いてターゲットからＸ線を出力させるＸ線出力部と、前記Ｘ線出力部によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得してＸ線画像を取得するＸ線画像取得部とを含むＸ線検出器において、前記Ｘ線出力部における性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）

【課題】 高電圧スイッチを構成する半導体スイッチを駆動する駆動回路を小形化して、X線管のアノ−ドとカソ−ド間の管電圧を高速に降下させる機能を備えたX線高電圧装置の小型、低価格化を図る。
【解決手段】 交流電圧源の交流電圧を高電圧変圧器で昇圧し，この昇圧された交流電圧を高電圧整流器で直流高電圧に変換し、この変換され直流高電圧を高電圧コンデンサで平滑してX線管に印加する。このX線管からのX線の放射を停止する期間に前記高電圧コンデンサに蓄積された電荷のエネルギーを放電させる半導体式高電圧スイッチは、制御用電源回路23の直流電圧を前記X線管からのX線の放射期間に第1のスイッチ3b1，3b2を閉じて第1のコンデンサ1bに充電しておき、前記X線放射の停止時から前記高電圧コンデンサに蓄積された電荷のエネルギーの放電期間に第2のスイッチ3g1〜3g4を閉じて前記第1のコンデンサの電圧を第2のコンデンサ1c1，1c2に充電し、この充電された電圧を前記高電圧スイッチの半導体の導通制御部に印加する。 （もっと読む）

【課題】出射側開口端から被検査体までの作動距離を長くすることができ、表面に凹凸がある被検査体の分析、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線回折分析を被検査体の大きさに拘わらず行うことができるＸ線集束素子及び該Ｘ線集束素子を備えるＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線遮蔽部材２３は、入射側開口端の口径（キャピラリ２０の外径）と略同径の環状部材２３２からＸ線遮蔽部材２３を支持する３本の支持部材２３３をＸ線遮蔽部材２３の中心に向かって設け、環状部材２３２をキャピラリ２０に固定している。環状部材２３２、支持部材２３３、Ｘ線遮蔽部材２３は、タンタル、タングステン、モリブデンなどのＸ線を遮蔽する金属を用いて一体成形により形成する。Ｘ線遮蔽部材２３の軸方向寸法（厚さ）は、Ｘ線を遮蔽するのに十分な寸法に設定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管が放電したとき、画像ノイズの発生を防止するため、あるいはＸ線管やＸ線装置を保護するために、放電が検出されると一定時間高電圧の印加が停止されるが、現実的には放電の強度は一定ではなく毎回異なっている。そのため放電の強度が大きい場合、高電圧の印加を停止する時間が終了して再度高電圧が印加されると再び放電することがあるし、逆に放電の強度が小さい場合、必要以上の期間高電圧の印加を停止することにより、必要以上に撮影Ｘ線を欠落させることがある。
【解決手段】微分回路１１および比較回路１５により放電の発生を検出したら、ピーク電圧保持回路１２により放電強度に相当する電圧を保持し、電圧・パルス幅変換回路１３により放電強度に相当する長さのパルスを発生し、このパルス幅の時間だけ高電圧の発生を停止する。 （もっと読む）

【課題】高効率で特性Ｘ線29を放出させることができ、放出する特性Ｘ線29へのノイズ成分の混入を抑え、シートビーム形状の特性Ｘ線29を容易に得られるＸ線源11を提供する。
【解決手段】真空容器12内に区画する区画部23を設ける。区画部23内には、電子銃14から電子ビーム15が入射して連続Ｘ線28を放出する１次ターゲット26を設け、１次ターゲット26から放出された連続Ｘ線28が入射して特性Ｘ線29を放出する２次ターゲット27を設ける。２次ターゲット27には、ボックス形で、電子ビーム15が通過する電子ビーム通過孔30を設け、電子ビーム通過孔30を設けた面に対して交差する面に特性Ｘ線29をシートビーム形状に規制して放出するＸ線通過孔31を設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管への印加電圧を高速で昇降でき、出力が変動するＸ線を高い周波数で連続的に発生することができるＸ線検査装置用のＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】陰極１２から熱電子を発生し印加電圧で加速して陽極１４に衝突させＸ線を発生するＸ線管１０と、印加電圧を一定周期の正弦波状に変動させて発生する変動電圧発生装置２０とを備える。変動電圧発生装置２０は、印加電圧の直流成分を発生させる直流高電圧回路２２と、印加電圧の交流成分を発生させる交流高電圧回路２４とを有する。直流高電圧回路２２の−端子２３ａはＸ線管の陰極に接続され、直流高電圧回路の＋端子２３ｂは管電流検出抵抗２２ｅを介して接地される。また、交流高電圧回路２４は、１対の出力端子２５ａ，２５ｂを有し、その一方２５ａはＸ線管の陽極に接続され、他方２５ｂは接地されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロフォーカスＸ線管の許容負荷を増加させる。
【解決手段】
Ｘ線管の陰極の電子銃は熱電子を発生するカソード48と、その電子放射面49から放射された熱電子を細いビーム状の電子線18に集束する3個のグリッド電極（G1電極、G2電極、G3電極）52、54、56と、電子線18を静電偏向する2個の偏向電極（H1電極、H2電極）59、60とから成る。H1電極59とH2電極60の間に二等辺三角波の交流電圧が印加されることにより、電子線18は矢印64で示す方向に偏向され、それに伴いターゲット20上に形成される焦点32も同じ方向に移動する。その結果、ターゲット20上の焦点32の実質的な面積が増加するため、Ｘ線管の許容負荷を増加させることができる。 （もっと読む）

軟Ｘ線発生器は、カソードとアノードとの間の放電を開始するために高い信頼性と再現性でプラズマを提供する円錐形状の独特なパルストリガ組立体を有する。また、本発明の軟Ｘ線発生器は、外周縁を有する略円盤状の回転アノードを有する。このアノードは、アノードの異なる分部をプラズマ放電に晒すためにカソードに対して回転でき、これによりアノードの磨耗を低減すると共により長期の運転を可能にする。また、アノードの腐食は、使用中におけるアノードの液体冷却によって低減できる。発生器は、カソード・アノード放電のために比較的低いキャパシタンスを使用し、連続的で再現可能な結果を得るために比較的高い電圧とパルス繰り返し速度（周波数）を使用する。 （もっと読む）