【課題】チャンバ内に配置された要素の特性や性能が劣化することを抑制する。
【解決手段】チャンバ装置は、レーザ装置および前記レーザ装置から出力されるレーザ光を集光するための集光光学系と共に用いられるチャンバ装置であって、レーザ装置から出力されたレーザ光を通過させる入射口が設けられたチャンバと、チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するように構成されたターゲット供給部と、チャンバ内でターゲット物質にレーザ光が照射することで発生したターゲット物質のデブリを付着させるデブリ入射面を含む回収部と、回収部から流出したデブリを回収する回収容器とを備え、デブリ入射面は、前記デブリが入射する方向に対して垂直でない方向に傾いていてもよい。 （もっと読む）

【課題】断層撮影の高速化に伴う回転時の遠心力と慣性力に対する耐性が向上したＣＴ装置用冷却機を実現する。
【解決手段】ＣＴ装置用冷却機においては、排気口を有するベースが回転体に固定され、ポンプ装置がベース上に配置されている。筐体がベース上に排気空間を規定し、Ｘ線発生器と配管で連結されるラジエータ・ユニットが吸気導入口を規定している。冷却ファン装置がベースに固定され、ラジエータ・ユニットを介して吸気している。支持構造体がベースに固定され、ラジエータ・ユニットを回転中心軸側に向けるように屋根型に突出させている。ベース固定部から筐体の頂部への高さがベース固定部間の距離より小さく、支持構造体固定部からのラジエータ・ユニット頂部への高さが支持構造体固定部間の距離より小さく、固定台座固定部からのラジエータ・ユニット頂部への高さが固定台座固定部間の距離より小さく設定される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で不要な放射線の遮蔽とターゲットの冷却を可能とすると共に、軽量化を図った放射線発生装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２を有する外囲器１と、外囲器１内に収納され、第一の窓２と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１５を有する放射線管１０と、第二の窓１５に連通する放射線通過孔２１を有し、第二の窓１５から第一の窓２側に突出した放射線遮蔽部材１６とを備え、しかも、放射線遮蔽部材１６よりも熱伝導率が高い熱伝導部材１７が、放射線遮蔽部材１６の前記突出した部分の外周側に接続されている放射線発生装置とする。 （もっと読む）

【課題】ラジエータを回転架台から取り外すこと無く清掃することができるＸ線コンピュータ断層撮影装置及びその保守方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線コンピュータ断層撮影装置は、Ｘ線管装置１０と、循環路３０と、循環ポンプと、ラジエータ２４と、ファンユニット２５と、Ｘ線検出器４０と、回転架台６と、を備えている。回転架台６は、回転軸ａ１を中心に回転するリング状のフレーム部７を有し、Ｘ線管装置１０、循環ポンプ、ラジエータ２４、ファンユニット２５及びＸ線検出器４０が取付けられている。ラジエータ２４の風上側は、フレーム部７の内壁側の空間に露出している。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化、外囲器と放射線発生管との間の耐電圧の向上、放射線の減衰量の低減を実現した放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２７を有する外囲器１２と、外囲器１２内に収納され、第一の窓２７と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１９を有する放射線発生管１４と、外囲器１２の内壁と放射線発生管１４との間に充填された絶縁性流体１３と、を備える放射線発生装置であって、第一の窓２７及びその周縁部と第二の窓１９及びその周縁部との間に、複数枚の絶縁性板材が隙間を空けて並んで配置され、絶縁性板材間の隙間は、第一の窓２７と第二の窓１９との間の耐電圧が、複数枚の絶縁性板材に換えて各絶縁性板材の厚さの合計と同じ厚さを持った絶縁性板材を配置した場合に比べて大きくなる隙間であることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】絶縁性液体に放射線発生管を浸漬した放射線発生装置において、放射線量を低減することなく、高電圧に対する耐圧性を確保する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓を有し、内部に絶縁性液体が充填された外囲器と、外囲器内に収納され、第一の窓と対向する位置に放射線を透過する第二の窓を有する放射線発生管と、放射線遮蔽部材とを備える放射線発生装置において、外囲器内壁と放射線遮蔽部材との間に固体の絶縁部材を設けることで耐圧性を向上させる。絶縁部材には第一の窓と対向する位置に開口部を形成することで放射線量の低下を防ぐ。また、放射線遮蔽部材から絶縁部材の開口部を介して絶縁部材と交差することなく第一の窓又は外囲器の内壁に至る最短距離を、放射線遮蔽部材から絶縁部材と交差して第一の窓又は外囲器の内壁に至る最短距離よりも長くすることで絶縁部材の開口部における耐圧性低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性液体に放射線発生管を浸漬した放射線発生装置において、高電圧に対する耐圧信頼性の高い、かつ小型軽量化を実現した放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２を有する外囲器１と、外囲器１内に収納され、第一の窓２と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１５を有する放射線発生管１０と、外囲器１と放射線発生管１０との間に充填された絶縁性液体８と、第二の窓１５に連通する放射線通過孔２１を有し、放射線発生管１０から第一の窓２側に突出した放射線遮蔽部材１６と、を備える放射線発生装置であって、少なくとも放射線遮蔽部材１６の第一の窓２と対向する面における内周及び外周が、固体の絶縁部材９で覆われていることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光放射後に発生するデブリが光学要素に付着して性能劣化することを抑制する。
【解決手段】極端紫外光生成装置１は、レーザ光を内部に入射させるための少なくとも１つの入射口が設けられたチャンバ１１と、チャンバに設けられ、チャンバ内の所定の領域にターゲット物質Ｄを供給するためのターゲット供給部１４ｂと、チャンバに接続される排気ポンプ１２と、チャンバ内に配置される少なくとも１つの光学要素Ｍ１〜Ｍ３と、チャンバに設けられ、チャンバ内でターゲット物質がレーザ光に照射される際に放出されて、少なくとも１つの光学要素に付着したターゲット物質のデブリを、エッチングするために導入されるエッチングガスが通過するエッチングガス導入部１６ａ〜１６ｃと、少なくとも１つの光学要素の温度を制御するための、少なくとも１つの温度調節機構Ｃ２，Ｃ４，Ｃ５と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】冷媒に混入したガスからなる気泡を好適に捕捉して、出射されるＸ線強度が気泡の影響によって変動することを抑制可能なＸ線装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘ線を透過するＸ線照射窓６を備える真空容器１ａ内でＸ線を発生するＸ線管１と、Ｘ線管１を収納するＸ線管容器７と、Ｘ線管１を冷却する冷媒１５をＸ線管容器７に送り込んでＸ線管１の周囲に流通させる冷却ユニット１４と、を含んで構成され、真空容器１ａ内で発生してＸ線照射窓６を透過したＸ線５が冷媒１５を通過してＸ線管容器７から出射するＸ線装置１００とする。そして、冷却ユニット１４からＸ線管容器７に送り込まれる冷媒１５内の気泡１５ａを、Ｘ線照射窓６の冷媒１５の流れに対する上流で捕捉する気泡トラップ２０を備え、気泡トラップ２０は、流通する冷媒１５に圧力差を生じさせ、当該圧力差を利用して気泡１５ａを捕捉する。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置のプラズマ発生室にターゲット物質を供給するターゲット物質供給装置において、ターゲット物質の温度を安定させる。
【解決手段】このターゲット物質供給装置は、外部から供給されるターゲット物質を冷却して液化するための液化室１０８と、液化室１０８において液化されたターゲット物質を噴出するためのノズル１０２と、液化室１０８内においてターゲット物質の温度を制御するためのロッド１０９、冷却装置１１０、ヒータ１１１、温度センサ１１２、及び、温度制御部１１３と、ノズル１０２内においてターゲット物質の温度を制御するためのロッド１１４、冷却装置１１５、ヒータ１１６、温度センサ１１７、及び、温度制御部１１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】骨塩量測定システム等に設けられるＸ線発生装置において、十分な放熱と散乱Ｘ線の遮蔽とが行われるようにする。
【解決手段】Ｘ線発生ユニット１４の上部には構造体４４が設けられている。構造体４４はフィルタユニット４２の周囲に設けられ、それは１つの水平板５２と複数の垂直板５４とからなる。フィルタユニット４２の内部において散乱Ｘ線が生じた場合、構造体４４によってそれが遮蔽される。また構造体４４の放熱作用により、Ｘ線管が効果的に冷却される。構造体４４は電磁シールド作用も発揮する。 （もっと読む）

【課題】露光精度を高めることができる投影光学系、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】露光装置１０は、鏡筒１６の内部に保持された複数のミラー１７を備える投影装置１４を備えている。投影装置１４の鏡筒１６の外周部には、液相と固相との間で相転移する物性を有し、液相と固相とが共存する金属材料１９と、鏡筒１６の外周部に設けられて、金属材料１９を保持する金属保持部材１８とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置は、陰極と、陽極ターゲットと、真空外囲器と、陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面１ｓと、を有したＸ線管１と、循環流路１０と、循環ポンプ２０と、ベローズ機構と、圧力調整機構６０と、を備えている。ベローズ機構は、冷却液充満空間３３と、ガス充満空間３４と、に隔て、水系の冷却液３の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ３２を有している。圧力調整機構６０は、ベローズ機構のガス充満空間３４に連通され、ガス充満空間のガスの圧力を調整可能である。 （もっと読む）

【課題】露光特性を向上させる。
【解決手段】陰極および陽極間に電圧を印加し、陰極と陽極との間において、所定の原子をプラズマ励起させることによりＥＵＶ光を生じさせ、このＥＵＶ光を、露光部に導き、露光部内において基板の上方に形成された感光膜を露光する工程を、冷却機構により、陰極１０３の先端部１０３ｂを構成する金属部の融点未満の温度に冷却しつつ行なう。例えば、陰極１０３は、支持部１０３ａと、先端部１０３ｂとを有し、冷却機構は、支持部内に冷却溶媒を循環させる機構である。また、支持部１０３ａは、銅よりなり、先端部１０３ｂを構成する金属部は、タングステンよりなり、冷却機構の支持部１０３ａ側の端部からタングステン端部までの距離（Ｄ１）を７ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁性液体が充填された収納容器内に透過型Ｘ線管が保持部材で保持された構成において、ターゲットの熱を速やかに放熱でき、長時間安定してＸ線を発生可能な信頼性の高いＸ線発生装置及びそれを用いたＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】胴部内に配置された電子源に対向する一端に電子の照射によりＸ線を発生させるターゲットを備えて内部が密閉された筒形のＸ線管が、絶縁性液体が充填された収納容器内で、周囲に絶縁性液体の流路を残して胴部を保持部材によって保持されたＸ線発生装置であって、電子源とターゲットの前記対向方向における保持部材と前記一端の端面の外周との距離が、保持部材よりも前記一端側のＸ線管の外面に接する前記流路の最小幅の２倍以上であることを特徴とするＸ線発生装置。 （もっと読む）

【課題】冷却液による壊食を低減することができ、長期にわたって信頼性が高く、冷却性能に優れた熱移動システム及び熱移動システムの動作方法を提供する。
【解決手段】熱移動システムは、外部からの熱が伝導される冷却液Ｌを収容する冷却流路３と、冷却液を収容する循環流路３０と、循環ポンプ１００と、冷却液充満領域７１と、脱気空間領域７２と、導入口７３と、排出口７４と、排気口７５とを有し、導入口７３、排出口７４及び排気口７５を閉じた状態で気密性を保持可能である容器と、排気口７５に気密に取付けられ、脱気空間領域７２のガスを排気し、脱気空間領域７２を減圧させるアスピレータ式の真空発生器１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】発生するプラズマ光の出力を大幅に高めた場合でも熱負荷によるダメージを抑えて装置寿命を延ばすことができるプラズマ光源システムを提供する。
【解決手段】内部が真空排気される真空チャンバー２１内で、中心軸７を中心とする円周上に設置された複数の発光点１ａでプラズマ光８を周期的に発光する複数のプラズマ光源１０と、各発光点１ａにおけるプラズマ光８を中心軸７上に位置する集光点９に向けて反射するミラー回転体４０と、ミラー回転体４０を中心軸７まわりに回転駆動する回転駆動装置４８と、ミラー回転体４０の内部を冷却する冷却装置５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィに応用される斜入射集光器（ＧＩＣ）を熱管理するためのシステム、アセンブリ、方法を提供する。
【解決手段】ＧＩＣ冷却アセンブリ１５０は、密閉チャンバ１８０を形成するようにジャケット１６０に接合されたＧＩＣミラーシェル１１０を有する。オープンセル型熱伝導性材料（ＯＣＨＴ材料）２０２は、金属チャンバ内に配置され、ＧＩＣミラーシェル１１０、及びジャケットに熱接着及び機械接着される。ＥＵＶ源からのＥＵＶを受光して集束ＥＵＶを形成するように構成されるＧＩＣミラーシステムにおいてＧＩＣ冷却アセンブリ１５０を採用する場合、冷却媒体１７０が入出力プレナム間のＯＣＨＴ材料２０２を方位角方向に対称に流される。その結果、冷却性が実現される。 （もっと読む）

【課題】省スペース化が可能で、被検体の無効被爆を防止できる高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管に供給する管電圧を生成する回路と、管電圧を降下させた際に回路内の電荷を放電する波尾遮断回路と、管電圧生成回路および放電回路を収容する筺体と、前記容器内に満たされた電気絶縁油とを有する。筺体の一面には、内部空間が筺体内の空間と連通した伸縮性容器が連結され、伸縮性容器には放熱ユニットが搭載されている。これにより、筺体の一面のみで、電気絶縁油の膨張を吸収できるとともに、電気絶縁油を冷却することができる。 （もっと読む）