【課題】初期状態からプラズマを短時間で、安定して発生させることができるようにすることにより、電極の耐久性を向上し、排ガス処理装置のメンテナンスが容易な排ガス処理装置の起動方法を提供すること。
【解決手段】反応管に導入した排ガスを、反応管内に配設した電極間に発生させたプラズマにより分解し処理する排ガス処理装置の起動方法であって、電極２、３間を導電状態にして通電させた後、電極２、３間にプラズマを生成させる。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー，省スペース，メンテナンスフリー化を達成し、気体中のサブミクロン粒子を容易に集塵し、かつガス吸収を同時に処理できる大型化の容易な高効率の気液接触装置・放散装置の提供。
【解決手段】気体と液体とを接触・混合させる気液接触方法および気液接触装置であって、気液接触装置１は、筒状の容器２の上流部に螺旋状の羽根体を内設した静止型流体混合器を第１の気液接触部３に配置し、第１の気液接触部３の下流部に螺旋状の羽根体を内設した静止型流体混合器を第２の気液接触部４に配置し、第１および第２の気液接触部３，４の上方に散水ノズル２２，２３を配置し、容器２の上流部から加圧または減圧された異種物質を含有している気体を導入し、散水ノズル２２，２３から液体を供給・噴霧し、第１の気液接触部３ではガス速度を２０〜１５０ｍ／ｓ、第２の気液接触部４ではガス空塔速度を０．５〜２０ｍ／ｓで通流させる。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン化物ガスとハロゲン化物粒子とを含む除害対象ガスの除害処理を確実に行うことができる除害方法を提供する。
【解決手段】ハロゲン化物ガスと常温で固体であるハロゲン化物粒子とを含む除害対象ガスの除害方法において、前記除害対象ガスを、金属水酸化物、好ましくはアルカリ金属の水酸化物あるいはアルカリ土類金属の水酸化物を含む第１の除害剤に接触させた後、ハロゲン化物を除害可能で、前記第１の除害剤の大きさより小さな大きさを有する第２の除害剤に接触させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程チャンバと真空ポンプの間に位置し、低圧プラズマを生成して工程チャンバから排出される汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器３１０は、内部にプラズマ生成空間を形成する少なくとも１つの誘電体３０と、誘電体３０の少なくとも一端に連結する接地電極４１，４２と、誘電体３０の外周面に固定され、交流電源部６０と連結して交流駆動電圧が印加される少なくとも１つの駆動電極５０と、を含み、接地電極４１，４２は、プラズマ反応器３１０の長さ方向に沿って非均一直径を有する。 （もっと読む）

【課題】充填筒に充填したガス処理剤を有効に使用し、充填筒の交換の際にも排ガスを系外に放出することなく充填筒を安全に交換することができる排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】ガス処理剤をそれぞれ充填した複数の充填筒１０，２０に排ガスを導入し、該排ガス中の有害成分を除去処理する排ガス処理方法において、前記複数の充填筒の内の一つの充填筒１０に前記排ガスを導入して前記有害成分の除去処理を行い、該充填筒１０から導出した処理ガスを検出手段３０に導入して前記有害成分の有無を検出し、該検出手段から導出される処理ガスを他の充填筒２０を経由して排出するとともに、該検出手段で有害成分を検出したときに、排ガスの導入を他の充填筒２０に切り換えた後、該一つの充填筒１０内の有害成分をパージし、パージガスを検出手段３０を通じて他の充填筒２０に導入し、検出手段３０で有害成分が検出されなくなったら新たな充填筒に交換する。 （もっと読む）

【課題】フッ化カルシウムと不純物とを容易に分離することができるフッ化カルシウムの回収装置、フッ化カルシウムの回収方法、およびフッ素含有化合物の製造方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係るフッ化カルシウムの回収装置は、フッ素含有化合物を含む排気ガスを処理することで生成されたフッ化カルシウムの粒子と、不純物となる粒子と、を含む処理剤を粉砕する粉砕部と、前記粉砕された処理剤から前記フッ化カルシウムの粒子を分離する分離部と、を備えている。そして、前記粉砕部は、前記不純物となる粒子の平均粒子径が前記フッ化カルシウムの粒子の平均粒子径よりも小さくなるまで前記処理剤を粉砕する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、吸着剤を利用し、水分の除去に続く低温ＶＯＣ凝縮による回収率が高いＶＯＣ回収方法を提供する。
【解決手段】ＶＯＣ、水分を含有する空気を加圧して水分選択型吸着剤吸着塔に導入して水分を除去した後に、低温でＶＯＣを液化回収し、ＶＯＣ回収後の低温乾燥空気から冷熱を回収した後、乾燥空気を向流パージガスとして使用して、水分を吸着した水分選択型吸着剤吸着塔を減圧して水分を離脱することによるＶＯＣ回収方法において、水分吸着塔の再生工程の初期で水分吸着剤から脱着する共吸着ＶＯＣを、設置したＶＯＣ吸着塔で吸着除去し、残る時間で塔後方から向流に空気を流して吸着したＶＯＣを脱着して、吸着工程の水分吸着塔入口に還流し、ＶＯＣ回収率の向上を図る。使用するＶＯＣ吸着剤は、高シリカゼオライト、メソポーラスシリカ、活性炭を単独または併用してなるＶＯＣ吸着剤。 （もっと読む）

【課題】ＶＯＣの除去効率を極大化することが出来るＶＯＣ除害装置を提供する。
【解決手段】ＶＯＣ除害装置１０を、処理対象ガス通流路２８を有するＶＯＣ除害炉１２と、一対の蓄熱材３２と、一対の蓄熱材３２の間に配設されたヒータ３４と、一対の処理対象ガス導入管１４と、一対の処理対象ガス排出管１６と、一対のＶＯＣ吸着材１８と、一対の空気導入管２０と、いずれか一方の処理対象ガス導入管１４が閉じられた状態を交互に繰り返す一対の処理対象ガス導入管用バルブ２２と、処理対象ガス導入管用バルブ２２とは逆の開閉状態を繰り返す一対の処理対象ガス排出管用バルブ２４と、処理対象ガス排出管用バルブ２４とは逆の開閉状態を繰り返す一対の空気導入管用バルブ２６とで構成することにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】ＰＦＣガスによる高温腐食に対して、すぐれた耐食性を有し、かつ、排ガス処理装置を軽量化・小型化する排ガス処理装置用部材を提供すること。
【解決手段】基材の表面にＮｉ−Ａｌ合金層を形成した半導体・液晶製造装置からの排ガス処理装置用部材であって、基材の材質がＮｉ−Ｃｒ−Ｍｏ合金またはＮｉ−Ｃｒ−Ｆｅ合金であり、Ｎｉ−Ａｌ合金層が厚さ：１０〜２００μｍであり、組成：Ａｌ；１０〜６０重量％で、ＣｏとＭｏとＦｅとＷの含有量の合計が２５重量％以下で、残部：Ｎｉと不可避不純物であることを特徴とする排ガス処理装置用部材基材により、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの製造工程から排出されるシラン系化合物を含む排ガス及びＰＦＣｓを含む排ガスを同時に分解処理する排ガス処理装置及び排ガス処理方法に係り、コンパクトであり、シリカの除去が簡単で省エネルギーの処理ができるようにした。
【解決手段】筒状の電気ヒータ３により予備分解部２１となる外筒側と本分解部２２となる内筒側とに区画した二重筒状の分解部２を形成し、シラン系化合物を含む排ガス及びＰＦＣｓを含む排ガスを同時に予備分解部２１の一端側に導入して、予備分解部２１及び本分解部２２の他端側において、予備分解部２１からの予備分解された予備分解ガスを反転させて本分解部に導入するとともに、添加ガスを導入して予備分解ガスに混合し、予備分解部２１及び本分解部２２で分解処理された処理ガスを、本分解部の一端側から放出するようにして、コンパクトでシリカの除去が簡単な省エネルギーの処理を可能とした。 （もっと読む）

【課題】処理対象ガスの流量（流速）や濃度などの状態量が変動したり、変更された場合でも、ガス処理ユニットのガス処理能力を適切な状態とし、ガス処理能力の過剰、不足によって生じる問題を緩和する。
【解決手段】ダクト１を流れる処理対象ガスＧＳに対して、この処理対象ガスＧＳの状態量を検出する状態量検出センサ１９を設ける。例えば、状態量検出センサ１９が検出する処理対象ガスＧＳの現在の状態量を流量（流速）とした場合、制御部１８は、処理対象ガスＧＳの現在の流量（流速）が増大すると、加湿装置１７の加湿量を増大させ、処理対象ガスＧＳの現在の流量（流速）が減少すると、加湿装置１７の加湿量を減少させる。処理対象ガスＧＳの状態量として濃度を検出するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】各ガス処理ユニットのガス処理能力を平準化し、ガス処理能力の過剰、不足によって生じる問題を緩和する。
【解決手段】下流側に位置するガス処理ユニットＧＵ２の高電圧源１５−２が印加する電圧Ｖ２の値を、上流側に位置するガス処理ユニットＧＵ１の高電圧源１５−１が印加する電圧Ｖ１の値よりも高くする。ガス処理ユニットＧＵ１の消費電力ＰＷ１とガス処理ユニットＧＵ２の消費電力ＰＷ２とが等しくなるように加湿装置１７の加湿量を制御する。これにより、ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のプラズマの発生状況の格差が大幅に解消され、ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のガス処理能力が平準化される。 （もっと読む）

【課題】運転開始時に、火花放電のような異常放電が生じる虞を回避する。
【解決手段】ダクト１を構成する隔壁の外周面にヒータ１９を設ける。ダクト１を流れる処理対象ガスＧＳの出口側に湿度検出センサ２０を設ける。制御部１８は、運転開始の指示を受けると、湿度検出センサ２０からのダクト１内の湿度の検出値ｈｐｖと閾値ｈｓｔとを比較し、ｈｐｖ＞ｈｓｔであった場合、ｈｐｖ≦ｈｓｔとなるまで、ヒータ１９をＯＮとし、ダクト１内の湿度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】ガス処理を継続して行わせながら、水分量の過多による異常放電を抑制する。
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ（ＧＵ１，ＧＵ２）毎に異常放電を検知する異常放電検知部１９（１９−１，１９−２）を設ける。制御部１８は、異常放電検知部１９によって異常放電の発生が検知された場合、加湿装置１７の加湿量を低下させる。なお、加湿装置１７の加湿量を低下させるとともに、異常放電の発生が検知されたガス処理ユニットＧＵの高電圧源１５が印加する高電圧の値を低下させるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】吸気管の詰まりが生じない気液混合攪拌装置を提供する。
【解決手段】導水管２の内部に吸気管１３を装着して、吸気管の下端から排出されるガスを導水管内の水と混合させる気液混合攪拌装置において、吸気管内に可撓性チューブ１８を挿着して該可撓性チューブの下端部１８ｃを前記吸気管の下端部１３ｃに対向させ、前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて内側流水路６を形成するとともに、前記吸気管に、前記内側流水路と連通する分水孔２２を貫設する。 （もっと読む）

【課題】 高い分解処理能力を従来よりも長時間にわたって維持することができるフッ素含有ガスの分解処理剤を提供する。
【解決手段】 主成分として水酸化カルシウムとおよび水酸化アルミニウムを含み、前記主成分100質量％に対して、ＣＯ_２の含有量が0.1質量％以上２質量％以下である分解処理剤である。この分解処理剤を用いれば、分解処理剤とフッ素含有ガスとの反応速度の適正化が図られ、フッ素含有ガスの高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができる。 （もっと読む）

【課題】低温反応を利用した薄膜堆積法は、付加価値の高いフルオロカーボン薄膜や炭素膜に変換し、リサイクルすることを可能にすることに加え、排ガスのリユースするための有効利用方法及び装置を提供する。
【解決手段】極低温に冷却された基材上に、フッ素含有排ガスを噴霧し、フッ素含有排ガスのみを凝縮薄膜として堆積させる工程と、該凝縮薄膜に雰囲気ガスとともに電子またはイオンまたは準安定励起種またはラジカルを照射することにより該フッ素含有排ガスを分解するとともに重合膜として固定化する工程と、固定化したフッ素含有重合膜を回収する工程を、含むフッ素含有排ガスの固定化方法。

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【課題】ガス状の有機ハロゲン化物を室温付近で簡便に効率よく除去できる手法を提供する。
【解決手段】被処理気体中に含まれる、（１）不飽和炭化水素のフッ化物、（２）分子内に少なくとも水素−炭素部分を有しかつその水素−炭素部分の炭素に結合している隣の炭素にアニオン性脱離基が結合している炭化水素のフッ化物、（３）塩素、臭素及びヨウ素から選ばれる少なくとも１以上のみを置換基として有する不飽和炭化水素、及び（４）塩素、臭素及びヨウ素から選ばれる少なくとも１以上のみを置換基として有する炭素が２つ以上の飽和炭化水素から選ばれるいずれかのガス状の有機ハロゲン化物を、アミン誘導体、もしくは下記の一般式Ｉで表される、アミジン骨格を中心とした少なくとも２つの環を有する窒素化合物と反応させることにより除去、回収する。
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【課題】ダイオキシンや大気汚染物質を環境規制値の以下に抑制できるようにし、かつ各種の廃棄物を熱分解処理する廃棄物の熱分解装置を提供する。
【解決手段】炉の内部の燃料と投入された廃棄物を空気吸込口４を通じて引き込む空気と反応し、熱分解されるようにしてガスにて排出させる熱分解炉１と、廃棄物が投入された後に閉じる上部ゲート１６と、上部ゲート１６との間に格納空間を形成し上部ゲート１６が閉じた後に開いて熱分解炉１に廃棄物を投入させる下部ゲート１８と、廃棄物の熱分解時に開いて熱分解炉１内の圧力を適切に調節するメインバルブ２２と、熱分解炉１内の圧力が予め設定された圧力値以上になれば開いてガスを排出させる補助バルブ２６と、熱分解炉１から排出されたガスを収容し、水中に曝気してガス中に含まれた有害物質を水に吸着されるようにし、フィルタ４６を介してガスを浄化させるガス浄化装置と含んで構成される廃棄物の熱分解装置。 （もっと読む）

【課題】 水酸化カルシウムを含有する除去剤を用いてフッ素（Ｆ_２）や三フッ化塩素（ＣｌＦ_３）のようなハロゲン元素からなるフッ化物のガスであるハロゲンガスや該ハロゲンガスとの反応により生成するフッ化物ガスを除去する場合、上記のように除去剤に含有する水分を蒸発させるより、蒸発させずに除去剤と、ハロゲンガス又はフッ化物ガスとを、反応させる方法より、さらに除去剤の単位質量あたりの処理量を多くできる除去方法を提供する。
【解決手段】 ハロゲンガス又はフッ化物ガスを含有する排出ガスを、水酸化カルシウムを主成分とする除去剤に接触させて、ハロゲンガスを固定して除去する方法において、該除去剤に水分を供給することを特徴とするハロゲンガス又はフッ化物ガスの除去方法。 （もっと読む）