【課題】初期状態からプラズマを短時間で、安定して発生させることができるようにすることにより、電極の耐久性を向上し、排ガス処理装置のメンテナンスが容易な排ガス処理装置の起動方法を提供すること。
【解決手段】反応管に導入した排ガスを、反応管内に配設した電極間に発生させたプラズマにより分解し処理する排ガス処理装置の起動方法であって、電極２、３間を導電状態にして通電させた後、電極２、３間にプラズマを生成させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマを用いてシランガスを効果的に分解するための手段を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、プラズマを用いたシランガス除去装置に関する。本発明の一実施形態によるシランガス除去装置は、既設定された周波数の電磁波を発振する電磁波供給部と、前記電磁波供給部から供給された前記電磁波及び渦流ガスからプラズマを発生させる放電管と、前記放電管に前記渦流ガスを供給する渦流ガス供給部と、前記放電管で発生された前記プラズマとシランガスとの反応により二酸化珪素及び水が生成される反応炉と、前記放電管内に前記プラズマの発生のための初期電子を供給する点火部と、前記反応炉の上端に形成され、前記反応炉内部の前記プラズマに前記シランガスを供給するシランガス供給部と、前記反応炉で生成された前記二酸化珪素及び水を排出するガス排出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程チャンバと真空ポンプの間に位置し、低圧プラズマを生成して工程チャンバから排出される汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器３１０は、内部にプラズマ生成空間を形成する少なくとも１つの誘電体３０と、誘電体３０の少なくとも一端に連結する接地電極４１，４２と、誘電体３０の外周面に固定され、交流電源部６０と連結して交流駆動電圧が印加される少なくとも１つの駆動電極５０と、を含み、接地電極４１，４２は、プラズマ反応器３１０の長さ方向に沿って非均一直径を有する。 （もっと読む）

【課題】効率よく排ガスを処理し、長期間安定してＣＯ_２を供給する装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理対象のガスが流れる流路と、前記流路内に配置される、第１の電極と第２の電極と誘電体とを少なくとも備え、前記第１の電極と前記第２の電極の間に電圧を印加して放電を発生させることによりプラズマを発生させるプラズマ発生部と、前記処理対象のガスの反応を促進する触媒であって、前記流路内において前記プラズマ発生部によって発生したプラズマが存在する位置に配置され、無機材料上に固定された金粒子を含む触媒を有する触媒部と、を備えることを特徴とする燃焼排ガス処理ユニット。 （もっと読む）

【課題】上流側から下流側まで均質な強度のプラズマを発生することができるプラズマリアクタを提供すること。
【解決手段】プラズマリアクタ１は、エンジンの排気が流通する排気管２内に排気の流通方向に沿って設けられた複数の筒状の外周電極３１と、これら複数の外周電極の中心に同軸に設けられた複数の線状又は棒状の内部電極３２と、を備える。プラズマリアクタ１は、排気管２のうち複数の外周電極３１より上流側に設けられた第１給電プラグ４１と、排気管２のうち複数の外周電極３１より下流側に設けられた第２給電プラグ４２と、を備え、複数の内部電極３２の上流側の端部は導電性の第１接続部材５１を介して第１給電プラグ４１に保持され、複数の内部電極３２の下流側の端部は導電性の第２接続部材５２を介して第２給電プラグ４２に保持され、第１給電プラグ４１及び第２給電プラグ４２は、高圧電源６の同電位極に接続される。 （もっと読む）

【課題】汚泥等の廃棄物を燃焼させずに無害化することができ、特別の認可を必要とせずに使用可能な廃棄物処理装置を提供する。
【解決手段】廃棄物処理装置１は、汚泥等の廃棄物を低酸素状態で加熱することにより滅菌乾燥するとともに、熱分解反応を進行させて炭化物と排ガスとに分離生成する加熱手段２と、加熱手段２で生成された排ガスを冷却し、排ガス中に含まれる油分を液化して回収する油化手段３と、油分が回収された後の排ガスを分解処理することにより無害化する浄化手段４とを有しており、油化手段３には、貯留された冷却水中で加熱手段２から供給される排ガスを放出することにより、その排ガスの逆流を防止する逆流防止機構５５が備えられている。 （もっと読む）

【課題】従来の放電によりＶＯＣを分解する揮発性有機化合物処理装置は、全てのＶＯＣ吸着体を一度に処理するので、放電電流ひいては電源容量を大きくする必要が有り、装置コストが高くなる、放電発生時も放電が発生してない時と同じ量のガスを流しているため、ガス中の窒素と酸素が放電により反応して、大量の有害な窒素酸化物（ＮＯｘと略す）を発生する、という課題がある。
【課題を解決するための手段】この発明に係る揮発性有機化合物処理装置は、処理対象ガスに触れ揮発性有機化合物を吸着する吸着体１Ｃと、吸着体１Ｃを間に挟んで配置された放電を発生させる電極の対１Ａと、処理対象ガスの流れとは逆方向に放電発生後の所定期間に吸着体１Ｃにガスを流すガス返送機構とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】排気通路においてプラズマを生成するプラズマ生成装置において、多くの排気ガスをプラズマに接触させ、排気ガスの処理効率を向上させる。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、電磁波を放射するためのアンテナ２７と、アンテナ２７から放射された電磁波を閉じ込め、電磁波によりプラズマが生成される空間を内部に形成する網状部材４０とを有する処理ユニット２５を複数備えている。プラズマ生成装置２０は、排気通路３０に配置された各処理ユニット２５の内部でプラズマを生成して、各処理ユニット２５を通過する排気ガスをプラズマ処理する。プラズマ生成装置２０の各処理ユニット２５では、排気通路３０における排気ガスの流通方向から見て、網状部材４０が略円形に形成されている。 （もっと読む）

【課題】排気通路においてプラズマを生成するプラズマ生成装置において、プラズマ領域から活性種を拡散させて、活性種の効果が得られる範囲を拡大する。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、排気通路３０に露出し、近接した状態で間隔を隔てて配置された第１電極２３及び第２電極２４を有する電極部２１と、電極部２１に高周波を出力する高周波発生器２２と、第１電極２３と第２電極２４との間に電位差を付与するプラズマ側電源２９とを備えている。プラズマ生成装置２０は、高周波発生器２２が電極部２１へ高周波を出力して電極部２１の近傍にプラズマを生成し、電極部２１の近傍にプラズマが形成されている期間に、プラズマ側電源２９が第１電極２３と第２電極２４との間に電位差を付与する。 （もっと読む）

【課題】運転開始時に、火花放電のような異常放電が生じる虞を回避する。
【解決手段】ダクト１を構成する隔壁の外周面にヒータ１９を設ける。ダクト１を流れる処理対象ガスＧＳの出口側に湿度検出センサ２０を設ける。制御部１８は、運転開始の指示を受けると、湿度検出センサ２０からのダクト１内の湿度の検出値ｈｐｖと閾値ｈｓｔとを比較し、ｈｐｖ＞ｈｓｔであった場合、ｈｐｖ≦ｈｓｔとなるまで、ヒータ１９をＯＮとし、ダクト１内の湿度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】ガス処理を継続して行わせながら、水分量の過多による異常放電を抑制する。
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ（ＧＵ１，ＧＵ２）毎に異常放電を検知する異常放電検知部１９（１９−１，１９−２）を設ける。制御部１８は、異常放電検知部１９によって異常放電の発生が検知された場合、加湿装置１７の加湿量を低下させる。なお、加湿装置１７の加湿量を低下させるとともに、異常放電の発生が検知されたガス処理ユニットＧＵの高電圧源１５が印加する高電圧の値を低下させるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】処理対象ガスの流量（流速）や濃度などの状態量が変動したり、変更された場合でも、ガス処理ユニットのガス処理能力を適切な状態とし、ガス処理能力の過剰、不足によって生じる問題を緩和する。
【解決手段】ダクト１を流れる処理対象ガスＧＳに対して、この処理対象ガスＧＳの状態量を検出する状態量検出センサ１９を設ける。例えば、状態量検出センサ１９が検出する処理対象ガスＧＳの現在の状態量を流量（流速）とした場合、制御部１８は、処理対象ガスＧＳの現在の流量（流速）が増大すると、加湿装置１７の加湿量を増大させ、処理対象ガスＧＳの現在の流量（流速）が減少すると、加湿装置１７の加湿量を減少させる。処理対象ガスＧＳの状態量として濃度を検出するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】各ガス処理ユニットのガス処理能力を平準化し、ガス処理能力の過剰、不足によって生じる問題を緩和する。
【解決手段】下流側に位置するガス処理ユニットＧＵ２の高電圧源１５−２が印加する電圧Ｖ２の値を、上流側に位置するガス処理ユニットＧＵ１の高電圧源１５−１が印加する電圧Ｖ１の値よりも高くする。ガス処理ユニットＧＵ１の消費電力ＰＷ１とガス処理ユニットＧＵ２の消費電力ＰＷ２とが等しくなるように加湿装置１７の加湿量を制御する。これにより、ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のプラズマの発生状況の格差が大幅に解消され、ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のガス処理能力が平準化される。 （もっと読む）

【課題】処理対象のガス成分を含むガスに対して電圧を与えて大気圧中でプラズマ発生させるとき、ガスを効率よく処理するプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置は、電力が給電される棒状電極と、内部空間を備え、前記棒状電極が前記内部空間内に設けられる金属製の筒状筐体と、を有する。前記棒状電極の第１の端部には、前記筒状筐体の一方の端部の第１の端面に対向し、前記第１の端部を保護するように電極側誘電体バリア層が設けられ、前記筒状筐体の前記第１の端面には前記ガスを供給する供給口が設けられ、前記筒状筐体の前記第１の端面には前記供給口の周りを覆うように筐体側誘電体バリア層が設けられる。前記棒状電極の前記第１の端部における周上エッジ部分を、前記筒状筐体の前記第１の端面上に前記長手方向に平行に投影したとき、前記周上エッジ部分は前記筐体側誘電体バリア層上あるいは前記供給口上の領域に投影される。 （もっと読む）

【課題】窒素酸化物ガス等の分解すべきガスをプラズマ生成領域に効率よく流入、流出させて、ガスを効率よく分解するガス分解装置およびガス分解方法を提供する。
【解決手段】分解すべきガスが一方向に流れるダクトと、前記ダクト内に、前記ガスの流れ方向に沿うように並列配置された複数の細管と、を有する装置を用いて、ガス分解を行う際、前記ダクトに前記ガスを流す。このとき、前記複数の細管のそれぞれの内壁の、前記ガスの流れ方向の異なる位置に設けられた一対の電極間に交流電圧を印加してプラズマを生成する。このプラズマの生成により、前記ガスの流れの下流方向に前記ガスを吸引する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成を低電圧で安定して行うことのできるプラズマ生成装置、およびこのプラズマ生成装置を用いた表面処理装置、表示装置、流体改質装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、第１絶縁被覆線１を経糸（縦糸）、第２絶縁被覆線２を緯糸（横糸）として平織（経糸２本、緯糸２本を最小単位として、経糸と緯糸とを交互に上下に交差させる織り方）で織り合せた平織構造（ファブリック構造）からなるプラズマ生成部８を備える。第１絶縁被覆線１と第２絶縁被覆線２間に交流電圧（電源３）を印加することで、第１絶縁被覆線１と第２絶縁被覆線２間に生じる微小な隙間においてプラズマＰを生成する。 （もっと読む）

【課題】特定の生成物や副次生成物の生成量を低減可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置、さらには、特定の生成物が生成するように制御可能とされた被処理物の処理方法及び処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被処理物の処理方法は、温度変化することにより成分状態が変化する気体を含む被処理物が活性化状態にある時に、前記被処理物が特定の成分に変化させられる温度領域以下に前記被処理物を急冷することによって、前記特定の成分が存在する温度領域の保持時間を短くして前記被処理物の成分状態を変化させる処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
揮発性有機ガス等の有害ガスを含むガスを、プラズマと触媒とを併用して、低温で浄化する方法および装置を提供する。
【解決手段】
触媒微粒子を担持したシートまたは繊維構造体からなるフィルターをプラズマ反応器に装填することにより、低い印加電圧でプラズマの発生が可能となり、触媒微粒子とプラズマとの相乗作用により、有害ガス等を含むガス中の有害ガス等を効率よく分解することを可能とした。具体的には、浄化方法は、触媒微粒子が担持された、シートまたは繊維構造体からなるフィルターが装填され、電圧の印加によりプラズマを発生する低温プラズマ反応層内に、揮発性有機ガス等の有害ガスを含む空気を通過させて、揮発性有機ガス等の有害ガスを分解することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除害の副産物であるＨＦが水に溶けることによって、アノード電極が腐食され、電極の寿命が短くなることを防止したガス処理装置及びガス処理システムを提供する。
【解決手段】水供給管６１より分岐された中性のＨ₂Ｏは給水孔５９ａ、給水孔５９ｂ、給水孔５９ｃを通りアノード電極２５内部に形成された中央通水溝５７ａ、内側環状通水溝５７ｂ及び外側環状通水溝５７ｃに対し供給される。中央通水溝５７ａ、内側環状通水溝５７ｂ及び外側環状通水溝５７ｃのそれぞれの容積を超えた分のＨ₂Ｏがアノード電極２５の上面より溢れ出る。このとき、内側貯留槽４２に水没されているアノード電極２５の上面には中性のＨ₂Ｏのバリアが形成される。従って、アノード電極２５の上面付近ではＨＦの濃度が薄まり、アノード電極２５がＨＦに晒され難くなる。 （もっと読む）

【課題】電極の長寿命化を図りつつプラズマ中でのガスの酸化を促進することの可能な除害装置及び除害システムを提供する。
【解決手段】給水管３１より給水されたＨ₂Ｏに対しバブル発生装置３３より多数の細かい粒状の気泡３５が混入される。Ｈ₂Ｏはパイプ２３を堰として溢れ、その後、パイプ２３の内側を伝ってほぼ均一に自然落下する。このとき、気泡３５はカソード電極２７の位置する付近ではＨ₂Ｏから外に飛散し難く、一方、パイプ２３の内側を伝って流れるＨ₂Ｏに含まれている空気又はＯ₂は、内側貯留槽４２に至るまでの過程で徐々に外部に飛散する。このとき、プラズマの周囲にプラズマの流れと並行した水膜４１が形成されているため、広範囲に亙ってＯ₂と接触され、ＰＦＣガスが酸化される。 （もっと読む）