【課題】簡便かつ比較的少ない工程で、これまで得られてきた程度の酸性ガス除去能を有する酸性ガス除去用素材を得るとともに、このような酸性ガス除去用素材を使用した酸性ガスの除去方法を得る。
【解決手段】アルカリ成分を含む栽培環境で育成したサトウキビから得られるサトウキビバガスを、無酸素条件、５００〜６００℃の温度条件で乾留処理し、得られたサトウキビバガス炭を酸性ガスの除去に使用する。 （もっと読む）

【課題】液体還元剤又はその前駆体を貯蔵する還元剤タンクに異種水溶液が補給されることを抑制する。
【解決手段】液体還元剤又はその前駆体を貯蔵する還元剤タンク２４の内部を、補給口２４Ａ付近に取り付けられた隔壁２４Ｂにより、補給口２４Ａと連通する副タンク２４Ｄ、及び、これと液密に区画される主タンク２４Ｃと、に２分割する。また、副タンク２４Ｄに、補給口２４Ａを介して補給された補給液体が液体還元剤又はその前駆体であるか否かを識別する液体識別センサ３４を取り付ける。そして、還元剤添加ＥＣＵ３０は、液体識別センサ３４により補給液体が液体還元剤又はその前駆体であると識別されると、隔壁２４Ｅの底板に取り付けられた開閉部２４Ｅを開通させ、副タンク２４Ｄと主タンク２４Ｃとを連通させる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス頻度を少なくすることができる排気ガス処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る排気ガス処理装置は、半導体製造装置の排気ガスを処理する排気ガス処理装置であって、排気ガスを吸入する配管３０と、配管３０が吸入した排気ガスを熱処理するガス処理部５０と、配管３０の上流側の端部に接続され、内面が排気ガス及び水それぞれに接する水スクラバーユニット２０と、水スクラバーユニット２０の内面又は水スクラバーユニット２０内の水に振動を加える加振機構２２とを具備する。加振機構２２は、例えば超音波発振機である。 （もっと読む）

【課題】 排ガス中のＶＯＣの捕集性が高く、かつマイクロ波によるＶＯＣの分解処理の効率が高いＶＯＣ処理装置およびＶＯＣ処理装置用のカートリッジを提供する。
【解決手段】 排ガスに含まれるＶＯＣを捕集し、高周波の照射によりＶＯＣを分解して処理するＶＯＣ処理装置であって、排ガスまたは非酸化ガスのいずれか一方を導入するガス導入部と、ガス導入部に接続され、導電性を有するフェルト状繊維層とＶＯＣを吸着する吸着材を含み通気性を有する吸着材層とを交互に積層して形成される積層体を、高周波を透過する容器に収納して形成され、ガス導入部により導入される排ガスに含まれるＶＯＣを吸着する吸着部と、高周波を発生させ、発生させた高周波を吸着部まで導き、吸着部に照射する高周波照射部と、吸着部に接続され、吸着部内の処理済ガスを排出するガス排出部と、を備える。 （もっと読む）