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Fターム[4D006PC01]の内容

半透膜を用いた分離 (123,001) | 利用分野、用途 (6,199) | 電子工業、半導体工業 (879)

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【課題】優れた水素透過性を有する複相型水素透過合金を提供する。
【解決手段】水素透過性を担う相と耐水素脆化性を担う相とで構成された複相型水素透過合金であって、水素透過を担う相が水素透過方向に伸びており、このような水素透過を担う相が水素透過方向の全長に亘って形成されており、厚さが0.01〜1mmであり、水素を取り込む側の面および水素を取り出す側の面にPd膜またはPd合金膜が形成されている。 (もっと読む)


開示された膜分離工程により産業廃水から1つ又は複数の重金属を除去するための方法。具体的には、下記ステップ:すなわち、(a)重金属を含有する産業廃水を容器に収集するステップと、(b)pHを調節して、そのため当該系が当該産業廃水中の当該重金属の水酸化物沈殿を達成するステップと、(c)5から50モルパーセントまでのジチオカルバマートソルト基を含有し、500から10,000ダルトンまでの分子量を有する水溶性二塩化エチレン−アンモニアポリマーの有効量を添加し、当該産業廃水系中の当該重金属と反応させるステップと、(d)浸漬膜を介して当該処理済み産業廃水を通過させるステップであり、当該浸漬膜が限外ろ過膜又は精密ろ過膜であるステップと、(e)自由選択的に当該膜を逆流洗浄し、膜表面から固形物を除去するステップとである。 (もっと読む)


【課題】イオン交換反応に伴う膨張、収縮による片流れやイオン交換膜との接触不良を防止できると共に、高い電圧を必要とせず、電流の利用効率が高い電気式脱イオン水製造装置及びその運転方法を提供すること。
【解決手段】陽極側のアニオン交換膜と陰極側のカチオン交換膜で区画される縦型脱塩室を内包し、該脱塩室内のイオン交換体に被処理水を通過させると共に、該両イオン交換膜を介して被処理水の流れに対して垂直方向に直流電場を作用させて、該両イオン交換膜の外側に流れている濃縮水中に被処理水中のイオンを電気的に排除する電気式脱イオン水製造装置において、該イオン交換体が、モノリス状有機多孔質イオン交換体と粒状イオン交換樹脂の混合イオン交換体である。 (もっと読む)


【課題】シリコンウエハなどの電子材料基板上に付着した有機汚染物などを洗浄液で効果的に除去でき、かつ洗浄液の品質寿命を長く維持できる洗浄システムを提供する。
【解決手段】硫酸溶液を含む洗浄液16によって被洗浄材を洗浄する洗浄槽1と、過硫酸溶液を生成する過硫酸溶液生成手段20と、過硫酸溶液を前記洗浄液に添加する過硫酸添加手段(開閉弁14、過硫酸添加ライン15)とを備える。過硫酸溶液生成手段20は、好適には過硫酸塩溶液を用いた電気透析装置により構成し、洗浄液の液温は80〜200℃に調整し、硫酸濃度を8〜17Mに維持するのが望ましい。洗浄液である硫酸に過硫酸溶液を添加することで高度な洗浄が可能になり、洗浄プロセスのスループットを向上できる。さらに洗浄液ライフも長くできる。 (もっと読む)


【課題】電解質および非電解質を含む溶液から電解質を分離するに際し、効率よく電解質の分離が可能であり、さらに、多価イオンからなる電解質の分離にも効果を有する電解質の分離装置および電解質の分離方法を提供すること。
【解決手段】原液室と透析液室とがイオン透過膜を挟んで配列した透析槽からなり、該透析槽が交流電極を備えていることを特徴とする電解質の分離装置、および該分離装置を使用する電解質の分離方法。 (もっと読む)


【課題】濃縮室及び脱塩室にてスケールの発生を防止し、長期間安定的に運転することのできる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置1は、陰極11と陽極12との間に、複数のアニオン交換膜13とカチオン交換膜14とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成してなり、濃縮室15にバイポーラ膜20を設けて濃縮室15内を陰極側と陽極側とに区画してなり、脱塩室16を被処理水の流れ方向の上流側から第1層16A及び第2層16Bの少なくとも二層に分割してアニオン交換体30Aとカチオン交換体30Bとからなるイオン交換体30を充填し、第1層16Aに充填されるイオン交換体30は、カチオン交換体30Bを50体積%以上含んでおり、第2層16Bに充填されるイオン交換体30は、アニオン交換体30Aを50超〜80体積%含む。 (もっと読む)


【課題】被処理水中に硬度成分が含まれていても、スケールを発生させることなく、長期間安定的にかつ安価で効率よく運転可能な電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置は、陰極12と陽極11との間に、複数のアニオン交換膜13とカチオン交換膜14とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、この濃縮室15にバイポーラ膜20を設けて濃縮室15内を陰極側区画室15Aと陽極側区画室15Bとに区画してなる。そして、陰極側区画室15Aの濃縮水の少なくとも一部は、被処理水として脱塩室16に供給されるとともに、陽極側区画室15Bに供給される。 (もっと読む)


【課題】被処理水中に硬度成分が含まれていても、スケールを発生させることなく、長期間安定的にかつ安価で効率的に運転することのできる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置は、陰極12と陽極11との間に、複数のアニオン交換膜13とカチオン交換膜14とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成してなる。この濃縮室15内に一対のアニオン交換膜20B及びカチオン交換膜20Aを設けて区画し、濃縮室15内に陰極側区画室15Aと陽極側区画室15Bを形成し、この濃縮室15内にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合樹脂21を充填する。 (もっと読む)


【課題】被処理水中に硬度成分が含まれていても、スケールを発生させることなく、長期間安定に運転することができる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】陰極12と陽極11との間に、複数のアニオン交換膜13とカチオン交換膜14とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成してなる電気脱イオン装置において、濃縮室15にバイポーラ膜20を設けて濃縮室15内を陰極側区画室15Aと陽極側区画室15Bに区画し、この濃縮室15内にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の混合樹脂を充填する。陰極側区画室15Aに充填される混合樹脂は、上部でアニオン交換樹脂の混合比率が高く、下部でカチオン交換樹脂の混合比率が高くなるように充填されている。また、陽極側区画室15Bの混合樹脂は、上部でカチオン交換樹脂の混合比率が高く、下部でアニオン交換樹脂の混合比率が高くなるように充填されている。 (もっと読む)


【課題】被処理水中に硬度成分が含まれていても、スケールを発生させることなく、長期間安定に運転することができる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】陰極12と陽極11との間に、複数のアニオン交換膜13とカチオン交換膜14とを交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成してなる電気脱イオン装置において、濃縮室15にバイポーラ膜20を設けて濃縮室15内を陰極側区画室15Aと陽極側区画室15Bに区画し、この濃縮室15内にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合樹脂21A,21Bを充填する。陰極側区画室15Aに充填される混合樹脂21Aは、カチオン交換樹脂の混合比率が高いものであり、陽極側区画室15Bに充填される混合樹脂21Bは、アニオン交換樹脂の混合比率が高いものである。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、強度と透水性能を高いレベルでバランス良く具備する中空糸多孔質膜の製造に適した製膜組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】 ポリスルホン、ポリエーテルスルホンから選ばれるポリマー成分10〜40質量%、N-メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミドから選ばれる良溶剤20〜60質量%、グリコール類から選ばれる貧溶剤10〜60質量%、及びポリビニルピロリドン1〜25質量%を含有する製膜溶液及び、その製膜溶液から形成される中空糸多孔質膜。 (もっと読む)


【課題】活性炭処理装置、および、特定の孔径の分離膜を備えた膜分離処理装置を設けることにより、膜分離において高い透過流束を安定して得ることができる効率的なCMP工程排水処理装置を提供する。
【解決手段】このCMP工程排水処理装置は、酸性乃至中性研磨液を用いるCMP(ケミカルメカニカルポリッシング)工程排水を主として含む排水を前処理する活性炭処理装置、および、得られる前処理水を膜分離処理して濃縮水と透過水とに分離する孔径1nm〜1000nmの分離膜(精密濾過膜、限外濾過膜等)を備えた膜分離処理装置を含み、CMP工程排水を濃縮してその容量を減らすための膜分離の際の分離膜の目詰まり頻度を減少させ、高い透過流束を安定して得ることで、装置の小型化とイニシャルコスト及びランニングニストの低下、装置運転の安定化を図る。 (もっと読む)


【課題】設備の利用効率が高く、且つ、迅速な排水処理を可能とする、過硫酸塩及び過酸化水素の処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の具体的態様の一つは、半導体製造工場から排出される排水を浄化処理する方法であって、前記方法は、CMP工程から排出される排水に含まれる過硫酸塩と、半導体洗浄工程から排出される排水に含まれる過酸化水素を同時に処理することを特徴とし、さらに前記方法は、前記CMP工程から排出される排水から該排水中に含まれる懸濁物質を除去すると共に、該懸濁物質が除去された前記CMP工程排水と、前記半導体洗浄工程から排出される排水とを混合し、さらに該混合排水を触媒に接触せしめることにより、該混合排水中に存在する過硫酸塩及び過酸化水素の還元分解を同時に進行させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】循環型オゾン水製造装置内の循環経路中のオゾン水濃度を常に設定した濃度に保ち、設定したオゾン水濃度のオゾン水を洗浄槽に供給することにある。
【解決手段】オゾン溶解槽3内のオゾン水の濃度を測定し、その測定値に基づいて、電解式オゾンガス発生装置1への電解電流制御及び/又はバルブBによる切り替えを行い、オゾン溶解槽3へのオゾンガス供給を制御するとともに、循環タンク2に設けた液面計LSにより、循環タンク2内の液面を管理し、超純水の補給、停止を繰り返すことにより、循環経路中のオゾン水の濃度を一定に保ち、設定したオゾン水濃度のオゾン水を安定して供給を行う循環型オゾン水製造装置及び該装置の運転方法を提供することにある。 (もっと読む)


電気脱イオン(EDI)装置及び方法は、内部を通過する液体からイオンを除去するためのイオン削減室を備え、抵抗成分をイオン削減室の出口領域付近で連結して、イオン削減室の出口領域の電気抵抗を入口領域に対して増加する。抵抗成分を希釈室及び/又は濃縮室に接するイオン選択性膜に連結することができる。別の実施形態では、抵抗成分をイオン削減室内のイオン交換媒体粒子自体間に連結することができる。いずれの実施形態でも、イオン削減室の出口領域の電気抵抗を入口領域に対して増加し、その結果電流を出口領域から入口領域に向けてシフトし、こうしてEDI装置の全体的脱イオン性能を高める。 (もっと読む)


【課題】接続部材と螺合する固定手段によるカシメ構造を用いることなく、脱気エレメントと接続部材との接続、および/または、真空(減圧)チャンバーと接続部材との接合を実現した脱気装置を提供する。
【解決手段】被脱気液体が流通する流通口を有する減圧チャンバーと、減圧チャンバー内に収容され、被脱気液体が通過する脱気エレメントと、流通口において減圧チャンバーと接合された管状の接続部材とを備えた脱気装置であって、脱気エレメントは、被脱気液体が内部を通過する気体透過性チューブと、気体透過性チューブの端部を被覆する管状の接合片とを備え、接続部材と接合片との熱融着により、脱気エレメントが減圧チャンバーに固定された構造を有する脱気装置とする。 (もっと読む)


【課題】フォトレジスト及びテトラアルキルアンモニウムイオンを主として含有するフォトレジスト現像廃液の簡単且つ効率的な再生処理方法を提供する。
【解決手段】フォトレジスト及びテトラアルキルアンモニウムイオンを主として含有するフォトレジスト現像廃液を処理するに当たって、水素イオン形(H形)の陽イオン交換樹脂、または陰イオン交換樹脂及び/又はH形の陽イオン交換樹脂と接触させて不純物を吸着除去し、得られる処理液を電気透析及び電解の少なくとも一方の方法で処理して濃縮分離して、再利用できる高純度の水酸化テトラアルキルアンモニウムの溶液を再生回収する。 (もっと読む)


【課題】気体溶解モジュールにおいて、気体室に溜まる凝縮水を長期間にわたって安定的
に排出でき、凝縮水排出に伴うトラブルの発生がなく、所望濃度の気体溶解水を製造する
ことができる。
【解決手段】気体透過膜によって水室と気体室とに区画し、水室に被処理水を、気体室に
被処理水に溶解させる気体を供給する気体溶解モジュールであって、凝縮水排出管の一端
を該気体室に連通させ、他端を機械的駆動部がない減圧装置、例えば、アスピレーターに
連結させて気体室に溜まる凝縮水を排出する。 (もっと読む)


【課題】様々な界面活性剤を含有する排水に対して適用でき、しかも連続運転性の良好な排水回収システム等を提供する。
【解決手段】界面活性剤を含有する排水をNF膜に通水するNF膜通水装置113と、NF膜を通水した排水を活性炭で処理する活性炭塔117と、活性炭で処理した排水を原水として通水し、電子デバイス製造設備10へ供給する供給水を製造する純水製造装置120とを含む排水回収システム100。 (もっと読む)


【課題】少なくとも鉱酸イオンとフッ素イオンとを含む排水から鉱酸イオンを分離し、鉱酸イオンの含有率を低減し、リサイクル可能なフッ化カルシウムを回収するのに適したフッ素イオン濃縮水を得ることができる排水処理方法を提供する。
【解決手段】排水処理システムは、第1の電気透析装置1と、第2の電気透析装置2と、フッ素再資源化装置3とを備えている。少なくとも鉱酸イオンとフッ素イオンとを含む排水MFWを第1の電気透析装置1に供給し、排水MFWから鉱酸イオンを分離して、鉱酸イオン濃縮水Mとフッ素含有水FWとを生成する。フッ素含有水FWを第2の電気透析装置2に供給し、フッ素含有水FWからフッ素イオンを分離して、フッ素イオン濃縮水Fと処理水Wとを生成する。フッ素再資源化装置3は、フッ素イオン濃縮水Fからフッ化カルシウムを回収する。 (もっと読む)


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