【課題】逆浸透膜等の分離膜の汚染状態を簡易かつ適切に診断し、汚染状態に応じた膜分離装置の洗浄方法や運転管理を可能とすること。
【解決手段】被処理液側に位置する第１膜面と、この第１膜面の反対側面であって透過液側に位置する第２膜面とを備える逆浸透膜等の分離膜について、第１膜面の表面粗さの変化と、第１膜面に付着した汚染物質の付着量とを指標として、分離膜の汚染状態を診断する。表面粗さの変化と、汚染物質の付着量とは、例えば平面座標にプロットする。診断対象の分離膜についての計測値がプロットされる位置に応じて、分離膜の汚染タイプが診断され、適切な洗浄方法が選択できる。例えば領域Ｚに位置する場合は有機物が主体の汚染と診断され、領域Ｗに位置する場合は有機物と無機物による汚染と診断され、領域Ｙに位置する場合は無機スケールを主体とする汚染と診断される。 （もっと読む）

【解決手段】 レジスト液を孔径が０．０２μｍ以下の高分子材料製フィルターにて９，５００Ｐａ以下の濾過圧で濾過してから基板上に塗布してレジスト膜を成膜する。
【効果】 従来は問題とならなかった微細な欠陥の原因となるレジスト液中の微小異物を確実かつ効率的に除去すると共に、微小気泡の発生を防止して、要求される欠陥量までレジスト膜の欠陥を低減し、レジスト膜を成膜したフォトマスクブランク等のレジスト膜被覆物、更には、レジスト膜を用いて微細加工されたフォトマスク等の被加工物の歩留まりを向上させることができる。また、レジスト膜の欠陥低減の要求を満足しつつレジスト膜の成膜の生産性を最大限に維持して効率よくレジスト膜を成膜することができる （もっと読む）

【課題】バイポーラ膜を用いない新しい方式の電離によって、中性塩から酸／アルカリを生成したり、或いは酸若しくはアルカリを濃縮・再生する装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、陽極と陰極との間にカチオン交換膜とアニオン交換膜とが交互に配列されて複数の室が形成されており、陽極とカチオン交換膜とで陽極室が画定され、これに隣接して、陽極側から、酸室；電離室；アルカリ室；並びに水解室；の順に配列された室の組が一つ若しくは二つ以上繰り返して配置され、最も陰極側の水解室が陰極室として画定されていることを特徴とする電気透析装置に関する。 （もっと読む）

複数の浄化カートリッジと、カートリッジ用のサポートと、マニフォルドとボウルとを含む浄化モジュールが提供される。１つの実施形態では、カートリッジ用のサポートは、部分ねじ山がねじ部片にねじ込まれるとき、マニフォルド上の勾配をもつねじ部片と噛み合う両面上に２つの勾配をもつ部分ねじ山をもつ。サポートは、濾過カートリッジからサポートを通ってマニフォルドへと濾過された流体を導くための流体通路を含む。別の実施形態では、浄化カートリッジと、マニフォルドとボウルとを含む浄化モジュールが提供される。浄化カートリッジは、部分ねじ山が噛み合うねじ部片にねじ込まれるとき、マニフォルド上のねじ部片と噛み合うカートリッジ出口の両面上に２つの勾配をもつ部分ねじ山をもつ。
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【課題】 従来、ＣＭＰ等の機械的加工により発生する排水は、ＣＭＰスラリーに含まれる砥粒が微粒子であるためにコロイド溶液となり、有効な濾過装置がなかった。
【解決手段】 本発明では、コロイド溶液の微粒子を含む排水をタンク５０に導入し、排水を循環させて第１のフィルタ１の表面に吸引により形成されるゲル膜の第２のフィルタ２を用いて濾過する濾過装置を提供する。このときの吸引圧力は極めて微弱にして、第２のフィルタ２の目詰まりを延ばしながら濾過能力を維持している。更に第１のフィルタ１の表面に吸着される第２のフィルタ２のゲル膜は吸引を停止することで容易に離脱でき、タンク５０底部に貯まったゲルの濃縮スラリーを回収可能な濾過装置を実現した。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において行われるウェット洗浄工程に使用される窒素ガス溶解水を、窒素ガスの使用量を低減して、効率的かつ経済的に製造することができる窒素ガス溶解水の製造方法を提供する。
【解決手段】超純水に窒素ガスを溶解して窒素ガス溶解水を製造する方法において、超純水がパラジウム触媒による脱酸素処理を受けた超純水であることを特徴とする窒素ガス溶解水の製造方法。 （もっと読む）

【課題】酸化性被処理水、とくにその中に含有されている酸化剤を、基本的に還元剤の薬注なしに効率よく還元処理するか、添加還元剤の使用量を大幅に低減することが可能な、水処理方法および装置を提供する。
【解決手段】酸化性被処理水を、作用極およびそれに小さい間隔にて対向する対極を有する電気化学的装置に通水して還元処理することを特徴とする水処理方法および装置。 （もっと読む）

【課題】フッ酸廃液から再利用可能なフッ酸含有水を効率良く回収することができるフッ酸廃液処理装置およびその方法を提供する。
【解決手段】フッ酸を含有するフッ酸廃液を処理するフッ酸廃液処理装置であって、フッ酸廃液をイオン交換樹脂に接触させてフッ素イオンを前記イオン交換樹脂に吸着させることにより、フッ酸廃液からフッ素イオンが除去された処理水を生成すると共に、前記イオン交換樹脂に吸着されたフッ素イオンにアルカリ液を接触させることによって前記イオン交換樹脂を再生し、フッ素のアルカリ塩を含む中和液を生成するイオン交換装置１０と、イオン交換装置１０で生成された中和液を濃縮することによって濃縮中和液と分離水とを生成する濃縮装置３０と、濃縮装置３０で生成された濃縮中和液を、イオン交換膜を用いてフッ酸含有水、アルカリ含有水および脱塩水に分離する分離装置４０とを備えているフッ酸廃液処理装置。
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【課題】純度や清浄度を高度に維持・管理された流体を各ユースポイントに安定して供給することができる流体供給システム、とくに超臨界流体供給システムを提供する。
【解決手段】流体の常時循環系と、該流体を臨界圧力以上にすることが可能な加圧手段および／または臨界温度以上にすることが可能な加熱手段と、常時循環系から必要に応じてユースポイントに流体を供給する供給系と、を有することを特徴とする流体供給システム。 （もっと読む）

【課題】 エッチング反応によって生じた不純物を効果的に処理するリサイクルシステムを有し、信頼性に優れ、エッチング品質が高く、低コストで、資源の有効利用や環境保全にも貢献する湿式エッチングシステムを提供すること。
【解決手段】 ＬＣＤガラス基板５０などの被処理体をエッチングする湿式エッチングシステムにおいて、エッチング反応で生成した不純物を含むエッチング排液２１を、沈降分離処理、薬剤処理、濾過処理、及び逆浸透膜処理をこの順で行うリサイクルフローによって処理し、不要物を除去若しくは減量したエッチング液をエッチング工程へリサイクルする。沈降分離処理は沈殿槽２中で、薬剤処理は撹拌反応槽３中で、濾過処理はＭＦ膜（精密濾過膜）またはＵＦ膜（限外濾過膜）１０を用いて、逆浸透膜処理は逆浸透膜１１を用いて、それぞれ行う。懸濁液４中のエッチャントは、中和槽５で行う薬剤処理で一部回収する。 （もっと読む）

【課題】 半導体エッチングの際等に問題となる微小なパーティクルの数が少ない高純度リン酸及びその精製方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の高純度リン酸は、Ｈ₃ＰＯ₄の濃度を８５重量％に換算したときのリン酸中の含量として、１００ｎｍ以上の粒径をもつパーティクルの個数が１ｍｌ当たり１００個以下であることを特徴とする。この高純度リン酸は、粘度が３〜３０ｍＰａ・ｓに調節されたリン酸を、クロスフロー方式で循環ろ過し、高純度リン酸を連続的に系外に取り出すと共に、パーティクルの濃縮されたリン酸を循環させることで得られる。 （もっと読む）

機能性アクアポリンを組み込んだ脂質二分子層を含む新規の水膜が開示される。脂質二分子層は親水性または疎水性支持体層を含むサンドィッチ構造体内に配置される。さらに水精製装置／システムが開示され、機能性アクアポリンを含む膜を含む逆浸透濾過装置を含む。水精製方法および膜を調製する方法も開示される。さらに、本発明は、新規の、孔が形成された疎水性重合体膜を提供し、膜には導入されるアクアポリン以外の他の膜貫通タンパク質を有する脂質二分子層を含む。
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【課題】マンガン及び／又は鉄含有水に酸化剤を注入して膜分離処理するための膜分離手段において、膜面に付着した酸化マンガンや酸化鉄を効率的に洗浄除去して膜性能を高く維持する洗浄方法を提供する。
【解決手段】定期的に或いは膜の分離性能が所定値を下回った時点で、膜分離手段の一次側を重亜硫酸塩溶液により洗浄する膜の洗浄方法。重亜硫酸塩であれば、その強い還元力により、膜面の酸化マンガンや酸化鉄を溶解させて効率的に除去することができる。一次側を重亜硫酸塩溶液により洗浄した後に更に酸で洗浄することにより、膜に残留する重亜硫酸塩の還元性を除去する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡便に製造可能であり、更にサブミクロン以下の粒径を、任意に制御し得る多糖類微粒子およびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】酸溶媒に対して多糖類を溶解させた多糖類溶液を、この多糖類溶液１００体積部に対して１００体積部以上とした分散媒としての水等に滴下した後、該多糖類溶液と分散媒との混合溶液から、少なくとも過剰な水素イオンを除去することで、該多糖類を会合・析出させ、これにより、その粒径が２μｍ以下の任意の数値に制御可能となっている。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素を含有する窒素排水の処理効率を向上できると共に、省エネルギーでありコンパクト化とランニングコスト低減を実現できる排水処理装置を提供する。
【解決手段】この排水処理装置は、過酸化水素を含有する窒素排水に対して、調整槽１、脱窒槽３、液中膜１６を有する硝化槽１１で微生物処理を行ってから、さらに、光触媒槽１８で光触媒処理する。この光触媒処理によって、過酸化水素を含有する窒素排水を微生物処理による処理の水質上の限界を越えて高度処理できる。したがって、この排水処理装置によれば、過酸化水素を含有する窒素排水の処理効率を向上でき、従来に比べて、省エネルギーでありコンパクト化とランニングコスト低減を実現できる。 （もっと読む）

薄膜を通って第１流体から第２流体に気体の通過をもたらす接触器１０であって、
第１流体の第１流路内部に配置された少なくとも１つのバッフル３０と共に、第１流体用の第１入口１８および第１出口２０と、第２流体用の少なくとも１つの第２出口２２とを備えるハウジング１２の内部に配置された円筒プリ−ツ形薄膜カートリッジ２４をもつ接触器１０。
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分離膜を試験するための処理原液の流路は最も単純な直線型（いわゆるインラインタイプ）であり、構成が最も簡単でありながら、濾過しようとする分離膜が流路に対してほぼ垂直に装着されるので、濾過効率がよく、この分離膜の膜性能を試験するための膜の着脱容易にかつ迅速に交換することができるフィルタ装置を提供することを課題とする。 一方の側に吐出口１３を他方の側に分離膜を載置する開口部２を有するボウル１と、原液を濾過する前記分離膜と、この分離膜を前記ボウル１に固定する、原液又は濾液を通過させる開孔を有するフィルタプレート５と、このフィルタプレート５を一側から押圧して濾過液の漏れを防止する凸状押圧部２３を一方の側に有し他方の側に原液の供給口１５を有するヘッド３と、前記ヘッド３を前記ボウル１に対して前記押圧状態に締着する手段、例えば前記ヘッド３と前記ボウル１に設けた互いに螺合する雌雄ねじ１９、２１又は別個のロッキングナット３３、とを有する簡易型フィルタ装置。
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【課題】少量のｐＨ調整剤で排水のリサイクル、再利用が図れる排水のリサイクル処理方法及び処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】排水中から粒子を分離する濾過器１と、その濾過した排水を濃縮水と透過水に分離する膜分離装置３と、前記膜分離装置３で分離した透過水をリサイクルするための再利用管４からなり、前記膜分離装置３の上流側で処理する排水のｐＨを検知するｐＨ検知手段６と、その検知したｐＨに基づいて処理する排水のｐＨを６以下あるいは８以上に調整するｐＨ調整手段５を設けた排水リサイクル処理装置。 （もっと読む）

【課題】 安定した逆洗効果を得ることができ、また維持管理が容易でランニングコストも安価な清澄水の膜ろ過運転方法を提供すること。
【解決手段】 マンガン、鉄などのイオン状金属成分を含まない清澄水の膜ろ過運転方法であって、ろ過時には前記清澄水を凝集処理することなく膜ろ過処理する。一方、逆洗時にはろ過膜の１次側より酸またはアルカリを供給して、ろ過膜表面に捕集した濁質と反応させた後に、ろ過膜の２次側より加圧水あるいは加圧空気を供給して前記濁質をろ過膜より剥離・除去するようにした。 （もっと読む）

本発明は流体または液体媒質からエンドトキシンおよびバクテリアＤＮＡまたはＤＮＡ断片を含むサイトカイン誘導物質（ＣＩＳ）を保持できる限外濾過膜を対象とする。さらに本発明はこの限外濾過膜を高品質かつ効率的かつ時間を節約した手順で製造する方法、および流体または液体から物質を保持するこの膜の使用を対象とする。本発明の限外濾過膜は骨格内に硫黄を含有する疎水性ポリマーと、親水性、非荷電のポリビニルピロリドンのホモポリマーと、カチオン電荷を含むポリマーとを有するポリマーブレンドからなる。この限外濾過膜を製造する方法は、骨格内に硫黄を含有する疎水性ポリマーと、親水性、非荷電のポリビニルピロリドンのホモポリマーと、カチオン電荷を含むポリマーとを溶媒に溶解してポリマー溶液を形成し、形成したポリマー溶液に拡散誘起相分離を受けさせて限外濾過膜を調製し、限外濾過膜を洗浄し、引き続いて乾燥することを含む。 （もっと読む）