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Fターム[4D006PC01]の内容

半透膜を用いた分離 (123,001) | 利用分野、用途 (6,199) | 電子工業、半導体工業 (879)

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【課題】ゼオライト膜を用いて含水有機化合物から有機化合物を脱水濃縮するにおいて、有機化合物が有機酸である場合の脱水濃縮にも適用可能な、含水有機化合物の脱水濃縮方法、及びそれに用いる脱水濃縮装置を提供する。
【解決手段】無機多孔質支持体表面に分離膜としてのゼオライト膜を有する分離体が備えられた分離体モジュールに含水有機化合物を供給して該有機化合物を脱水濃縮するに当たり、2以上の異なる種類のゼオライト結晶を含む層を有し、前記2以上の異なる種類のゼオライト結晶のうち少なくとも2以上が、X線回折によるX線パターンにより検出され、且つ、水10重量%とイソプロピルアルコール90重量%の混合液を該混合液の液温75℃、大気圧条件下で浸透気化分離したとき、測定開始から45分後における透過流束Qが1kg/(m・時間)以上で、分離係数αが500以上であるゼオライト膜を用いる。 (もっと読む)


【課題】生物化学的酸素要求量BODが高い高濃度排水においても活性汚泥を円滑に凝集化させ、ろ過効率を十分に向上させることができる排水処理装置を提供する。
【解決手段】活性汚泥混合液を曝気処理する曝気装置2と、この曝気装置2により曝気処理される活性汚泥混合液中の活性汚泥を付着させるパイル担体3と、前記曝気装置2により曝気処理された活性汚泥混合液を処理水と汚泥とに分離する膜ろ過装置4とを備えた排水処理装置1を前提とする。そして、パイル担体3を、繊維集合体からなるシート状の基布31と、この基布31の表裏両面からそれぞれ突出するパイル糸32,32,…とで構成している。 (もっと読む)


【課題】アミン系剥離液使用により蓄積するレジスト樹脂、炭酸アンモニウム塩、溶解金属を連続的に除去し、剥離液の再生装置、方法を提供する。
【解決手段】剥離装置1内で循環する使用済み剥離液2を配管経路3を通じて電解槽4の陽極ドラム5およびカチオン交換膜6間に導入する。一方で電解槽4には陽極ドラム5に対向する陰極7が、カチオン交換膜6を介して設置されており、陰極7は再生済みの剥離液8によって満たされている。陽極と陰極間の電気伝導は陽イオンの移動による電気伝導が可能となっているので電気的には隔離されていない。陽極ドラム5及び陰極には、電気給手段として電源9が接続されている。陰極及び陽極間に直流電流を通電することで、使用済み剥離液に含まれるレジスト樹脂を陽極ドラム5の表面上に電着でき、剥離液中からレジスト樹脂を除去できる。 (もっと読む)


【課題】中空糸膜により原水を膜分離する際に該中空糸膜の表面を広く有効に活用し、水処理効率を向上させることが可能な中空糸膜ユニット、水処理装置、及び水処理方法を提供する。
【解決手段】容器内部に中空糸膜を有し、前記容器の長手方向一端部に原水入口部、他端部に原水出口部が形成されており、前記原水入口部から前記容器内部に加圧されながら供給された原水が前記容器内部を前記原水出口部へと前記中空糸膜の長手方向に沿って流れて前記原水出口部から排出されるように構成され、且つ、前記容器内部を流れる原水が前記中空糸膜によって膜分離され、かかる膜分離によって前記中空糸膜を内側へと透過した透過水が原水の流れ方向と同方向に流れて前記中空糸膜から排出されるように構成された中空糸膜ユニットであって、前記容器内部を流れる原水の前記流れ方向上流側端部の静圧に対する下流側端部の静圧の差が3kPa以下であるように構成されたことを特徴とする中空糸膜ユニット。 (もっと読む)


【課題】リソグラフ投影工程に使用される化学物質の活性に悪影響を与えないパージガスを提供する。
【解決手段】リソグラフ投影装置は、投影システムおよび放射システム中、反射器、および反射要素等の部品の表面近くにパージガスを供給するように構成されたパージガス供給システム100を有する。パージガス供給システム100は、少なくとも1種のパージガスと水分を含むパージガス混合物を発生するように構成されたパージガス混合物発生器120を含む。パージガス混合物発生器は、パージガスに水分を加えるように構成された加湿器150と、パージガス混合物発生器120に接続されパージガス混合物を表面近くに供給するように構成されたパージガス混合物出口130とを有する。 (もっと読む)


【課題】 薬品による洗浄頻度を抑制し得る中空糸膜ユニットを提供することにある。
【解決手段】 中空糸膜によって原水が膜分離されるように構成されてなる中空糸膜ユニットであって、
前記中空糸膜の内径Din(m)、前記中空糸膜により膜分離された水の粘性係数μ(Pa・s)、前記中空糸膜の孔の透過抵抗r0 (Pa・m-2・s)、及び原水が膜分離されて一端側に流される、前記中空糸膜の部分における長手方向の長さL(m)が下記数式1を満たすことを特徴とする中空糸膜ユニットを提供する。
【数1】
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【課題】電子工業用高純度酢酸の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は電子工業用高純度酢酸の製造方法に係り、1.工業用酢酸を高速蒸留し、2.孔径0.05〜0.3μmのろ過膜によって留分に対して膜ろ過を行い、3.精留を行い、4.再び膜ろ過を行うステップを含む。前記設計によって、純度が99.8%まで高く、単一金属イオン含有量が1ppbより小さく、0.5μm以上の固体不純物粒子の含有量が5個/mlより小さい電子工業用高純度酢酸を得ることができ、また、本発明により提供される製造方法はエネルギー消耗が低く、操作が簡単で、安全性が良い。 (もっと読む)


【課題】本発明は超高純度電子級化学試薬生産方法に係り、工業級純度の試薬を原料として、化学前処理、濾過を経て、取得する濾過液を精留する。
【解決手段】精留プロセスで、蒸気を加熱して過熱蒸気を形成し、過熱蒸気が微小孔のある膜を通して不純物固体顆粒を濾過で除去する。蒸気を冷却した後、二級膜濾過を行い、ほこり顆粒を除去する。上記の設計を通じて、本発明の超高純度電子級化学試薬生産方法はSEMI-C12標準に合う超高純度電子級イソプロパノール及びSEMI-C8標準に合う超高純度電子級塩酸の大規模の連続化生産に適する。 (もっと読む)


【課題】微小な孔径を有し、数十nmサイズの微粒子を効率良く捕捉することができ、高流量である結晶性ポリマー微孔性膜及び結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに、濾過用フィルタの提供。
【解決手段】第1の結晶性ポリマーを含む層と、第2の結晶性ポリマーを含む層とが積層され、厚み方向に貫通した複数の孔部が形成された5層以上からなる積層体を有する結晶性ポリマー微孔性膜であって、前記第1の結晶性ポリマーの融点が前記第2の結晶性ポリマーの融点よりも高く、前記積層体における少なくとも第2の結晶性ポリマーを含む層が、平均長軸長さが1μm以下のフィブリルを少なくとも含む微細構造を有し、前記積層体における少なくとも1層が、前記積層体の厚み方向における少なくとも一部において、平均孔径が変化なく一定である複数の孔部を有する結晶性ポリマー微孔性膜である。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、分離膜を支持する際の優れた製膜性と、流体分離素子製造時に優れた加工性を有することに加え、優れた機械的強度を有する不織布からなる分離膜支持体の製造方法、ならびにその分離膜支持体を用いた分離膜および流体分離素子を提供する。
【解決手段】
本発明の上記分離膜支持体の製造方法は、2本以上のフラットロールにより不織布を熱圧着し、フラットロールが金属製ロールと弾性ロールを含む組み合わせからなり、弾性ロールの硬度(Shore D)が70〜99であるもので、2〜5層積層された不織布を熱圧着により一体化することが好ましい態様である。 (もっと読む)


【課題】耐薬品性の高いポリフッ化ビニリデン系樹脂を用い、高い強伸度性能をもち、かつ高い純水透過性能を有する中空糸膜およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ポリフッ化ビニリデン系樹脂と、繊維径が1〜30000nmである有機系繊維状物とを含む中空糸膜。 (もっと読む)


【課題】電気式脱イオン装置の目詰まりの発生や処理水の水質悪化を防止するとともに、電気式脱イオン装置の処理効率の低下や、装置の短命化を防止できる純水製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気式脱イオン装置14により脱イオンを行う純水製造処理と、電気式脱イオン装置14に熱水を供給して殺菌する熱水殺菌処理と、を交互に繰り返して行う純水製造方法であって、純水製造処理時における、電気式脱イオン装置14の濃縮室142内の被処理水の流れ方向を、脱塩室141の被処理水の流れ方向に対して向流方向とし、前記熱水殺菌処理時における、電気式脱イオン装置14の濃縮室142内の被処理水の流れ方向を、脱塩室141内の被処理水の流れ方向に対して並流方向とする、純水製造方法。 (もっと読む)


【課題】損傷や形状変化を防ぎつつ、効率よくポロゲンを除去することのできる熱硬化性樹脂多孔シートの製造方法を提供する。
【解決手段】ポロゲンを含む熱硬化性樹脂シート1からポロゲンを抽出除去する工程において、相対的に低い温度の第1液に熱硬化性樹脂シート1を接触させた後、相対的に高い温度の第2液に熱硬化性樹脂シート1を接触させることによって、ポロゲンの抽出除去を行う。好ましくは、第1液の温度及び第2液の温度は、熱硬化性樹脂シート1のガラス転移温度以下である。 (もっと読む)


【課題】 通気性を有し水蒸気の透過を防止しうる多孔膜であって、複雑な形態や構造ではなく、安価な材料で製造でき製造法が簡易かつ生産性が良好で製造コストを高めず安価に得ることができ、酸素等のガス透過が良好で通気抵抗を高めず、水蒸気の透過阻止能力が高く、柔軟性があり可撓性が良好である水蒸気透過防止多孔膜を提供することを目的とする。
【解決手段】 通気性を有し水蒸気の透過を防止しうる水蒸気透過防止多孔膜であって、ポリオレフィン系樹脂と無機粉体と可塑剤を主体とする原料組成物を溶融混練して製膜した膜から前記可塑剤を除去することで三次元網目構造体に形成された膜全体に無数の連通孔を有する単層の多孔膜であり、前記ポリオレフィン系樹脂が重量平均分子量50万以上であり、前記無機粉体が比表面積100m/g以上の親水性無機粉体であり、前記ポリオレフィン系樹脂が20〜50質量%と前記無機粉体が50〜80質量%を含み、平均細孔径が0.05〜0.2μmで、親水性の多孔膜であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
高い阻止性能と高い液体透過性能を両立した高性能なポリアミド中空糸膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
ポリアミド中空糸膜であって、熱誘起相分離法によって製造するにあたり、凝固浴に使用するポリアミドの融点未満の温度で当該ポリアミドを溶解させることができる溶媒を20質量%以上含有せしめる。この中空糸膜は、外圧透水量が500L/m・atm・h以上であり、且つ0.1μmの粒子の阻止率が90%以上であり高い液体透過性と阻止性能を両立するものである。 (もっと読む)


【課題】安定した通気性を有する防水通気フィルタおよびこの防水通気フィルタの使用を提供する。
【解決手段】防水通気フィルタ1は、複数の貫通孔21が形成された樹脂フィルム2と、樹脂フィルム2の厚さ方向の両面のうちの少なくとも一方の面上に、貫通孔21と対応する位置に開口31を有するように形成された、疎水性および撥油性を有する処理層3と、を備えている。貫通孔21は、0.01μm以上10μm以下の所定のサイズを有し、密度が10〜1×108個/mm2の範囲のうちの特定の帯域に収まるように一様に分布している。 (もっと読む)


【課題】薄膜であっても、防水性に富み、かつ、通気性に優れたフィルタを提供することである。
【解決手段】ポリウレタン多孔質膜を用いて構成されたフィルタ。 (もっと読む)


【課題】微小な孔径を有し、数十nmサイズの微粒子を効率良く捕捉することができ、高流量である結晶性ポリマー微孔性膜及び結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに、濾過用フィルタの提供。
【解決手段】第1の結晶性ポリマーを含む層と、第2の結晶性ポリマーを含む層とが積層され、厚み方向に貫通した複数の孔部が形成された2層以上からなる積層体を有する結晶性ポリマー微孔性膜であって、前記第1の結晶性ポリマーの融点が前記第2の結晶性ポリマーの融点よりも高く、前記積層体における少なくとも第2の結晶性ポリマーを含む層が、平均長軸長さが1μm以下のフィブリルを少なくとも含む微細構造を有し、前記積層体における少なくとも1層が、前記積層体の厚み方向における少なくとも一部において、平均孔径が変化なく一定である複数の孔部を有する結晶性ポリマー微孔性膜である。 (もっと読む)


【課題】外力による伸びが小さく、伸びの異方性が小さいポリテトラフルオロエチレン(PTFE)多孔質膜を提供する。
【解決手段】膜の面内における任意の方向を第一の方向とし、第一の方向に対して直交する、面内における方向を第二の方向としたとき、第一の方向および第二の方向への引張り試験において、強度が20N/mm2以上であり、破断するまでの伸び率が200%以下であり、第一の方向への伸び率に対する第二の方向への伸び率の比が0.5〜2.0である、PTFE多孔質膜とする。 (もっと読む)


【課題】長期間にわたり連続的で、また常に安定なガス飽和ナノバブル水を得ることが可能な飽和ガス含有ナノバブル水の製造方法及飽和ガス含有ナノバブル水の製造装置を提供する。
【解決手段】飽和ガス含有ナノバブル水の製造方法は、純水を脱気して脱気純水を生成する脱気工程Aと、脱気純水に加圧ガスを溶解してガス飽和の飽和ガス溶解純水を生成するガス溶解工程Bと、ガス溶解工程Bを経たガス飽和溶解純水の、圧力を減圧して飽和ガス含有ナノバブル水を生成するナノバブル発生工程Dと、を含み、ガス溶解工程Bにおいて溶解ガスの圧力を制御し、ナノバブル発生工程Dの前にガス溶解純水の比抵抗を減少させる。 (もっと読む)


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