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Fターム[4D006PC01]の内容

半透膜を用いた分離 (123,001) | 利用分野、用途 (6,199) | 電子工業、半導体工業 (879)

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【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理するシステムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システム100は、半導体製造装置1から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。この排ガス処理システム100は、半導体製造装置から排出された混合ガスを排気するポンプ部2と、ポンプ部2により排気された混合ガスを圧縮して後段へ送る圧縮機11と、圧縮された混合ガスを集めて収容するガス収容部3と、ガス収容部3から供給された混合ガスの流量を制御する流量制御部4と、水素を選択的に透過させ、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部6と、を備える。これにより、半導体製造装置1から排出された混合ガスの圧力変動を緩和し、安定して排ガス処理システムを運転することができる。 (もっと読む)


【課題】逆浸透膜を用いる純水製造システムにおいて、水回収率を高めて処理水を有効利用できる純水製造システムを提供する。
【解決手段】純水製造システム10は、逆浸透膜を内蔵する逆浸透膜モジュール14,15と、逆浸透膜モジュール15の濃縮水を供給水とするように逆浸透膜モジュール15の後段に設置された、ナノ濾過膜を内蔵するナノ濾過膜モジュール16と、逆浸透膜モジュール14,15の透過水を外部へ供給する第一処理水ライン25と、ナノ濾過膜モジュール16の透過水を逆浸透膜モジュール14に供給水として循環させる循環ライン27と、ナノ濾過膜モジュール16の透過水を外部へ供給する第二処理水ライン26と、循環ライン27へと流れるナノ濾過膜モジュール16の透過水の一部又は全部を第二処理水ライン26へ流すための切替手段21,22,29とを備える。 (もっと読む)


【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置1から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部4と、膜分離部4によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】通気量および強度が高いレベルで両立したポリテトラフルオロエチレン(PTFE)多孔質膜を製造するPTFE多孔質膜の製造方法を提供する。
【解決手段】未焼成のPTFEシートを、PTFEの融点未満の温度において所定の方向へ延伸し、前記延伸したシートを前記融点以上の温度で熱処理した後、前記熱処理後のシートを、前記融点未満の温度において、前記所定の方向に対して直交する方向にさらに延伸する。この方法により得たPTFE多孔質膜は、高い通気量および強度を有する。当該PTFE多孔質膜は、筐体の開口部に固定され、筐体内部への異物の侵入を防ぎながら筐体の通気性を確保する通気部材としての用途に好適である。 (もっと読む)


【課題】有機物濃度及び溶存イオン濃度が低い処理水を安定して得ることができる排水処理方法及び排水処理装置を提供する。
【解決手段】有機物を含む排水を嫌気性生物反応槽1で処理する嫌気性処理工程と、該嫌気性処理工程の嫌気性処理液を正浸透膜2aで透過液と濃縮液とに分離する正浸透膜分離工程と、該正浸透分離工程の透過液を逆浸透膜分離装置5に導入し、逆浸透膜5aで処理水と濃縮水とに分離する逆浸透膜分離工程とを備えた排水処理方法及び装置。 (もっと読む)


【課題】COの発生を間接的に抑えた環境対応型の固液分離システムを提供する。
【解決手段】環境対応型の固液分離システム100は、製造ライン5で使用したクーラント液を回収する原液タンク1と、第1電動ポンプP1から原液が送給管21により送給される遠心分離機2と、遠心分離機2により分離され、分離液が送給される膜ろ過装置3と、膜ろ過装置3により分離したろ過液が貯蔵されるろ過液タンク4と、ろ過液タンク4のろ過液を前記製造ライン5へ送給する第2電動ポンプP2と、製造ライン5から原液タンク1にクーラント液の使用済液を送給する第3電動ポンプP3と、膜ろ過装置3より分離した濃縮液が回収路25により回収される濃縮液タンク6と、濃縮液タンク6に設けられた第4電動ポンプP4と、を有し、送給管21に設けられたバルブ7と、第4電動ポンプP4との間に送給管30を配設し、濃縮液タンク6の濃縮液を遠心分離機2に供給する。 (もっと読む)


【課題】コア部材を周方向に分割して成形することにより、コア部材全体を一体的に成形する従来の製造法では得ることのできない開口形態を有するフィルタ装置のコア部材を提供する。
【解決手段】周方向に分割された複数の分割体をそれぞれ射出成形した後、該複数の分割体を周方向に連結することにより、フィルタ装置の円筒状のコア部材を形成する。コア部材のコア壁を貫通する液体通路を、通路断面が半径方向内側へと拡大するか、及び/又は、液体が水平面内半径方向から外れる方向に通るように形成する。前記液体通路は、例えば、通路断面が半径方向内側へと軸方向に拡大するように形成され得、あるいは、液体を水平面内半径方向から軸方向に外れる方向に通すように形成され得る。 (もっと読む)


【課題】常に所定の処理流量が得られるような運転を行うことができる水質改質システムを提供することを目的とする。
【解決手段】機器への給水の水質を改質する水質改質システムであって、給水中の不純物を逆浸透膜により除去する逆浸透膜部と、給水を前記逆浸透膜部へ供給するポンプと、前記ポンプの回転数を出力周波数に応じて可変させるインバータと、前記逆浸透膜部への給水,前記逆浸透膜部からの透過水,または前記逆浸透膜部からの濃縮水の水温を検知する温度センサと、前記インバータへ指令信号を出力する制御部と、を備え、前記制御部は、前記逆浸透膜部を通過する給水の平均透過流束と、前記温度センサの検出値とに基づいてポンプ運転圧力を算出し、このポンプ運転圧力に基づいてポンプ運転周波数を算出し、このポンプ運転周波数に対応した指令信号を前記インバータへ出力することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】キャリアテープにかける張力を大きくしなくてもキャリアテープから通気フィルタを良好に剥離させることのできるフィルタ担持体を提供する。
【解決手段】フィルタ担持体1は、所定方向に延びるキャリアテープ2と、キャリアテープ2に前記所定方向に並んだ状態で担持された複数の通気フィルタ3を備えている。キャリアテープ2は、粘着力により通気フィルタ3を担持している。このキャリアテープ2の粘着力は、キャリアテープ2が加熱されたときに略0まで低下する。 (もっと読む)


【課題】銅とガリウムを含む処理液からガリウムを回収する方法を提供する。
【解決手段】細孔支持材に設けられる液膜を提供するステップと、抽出液を含む有機溶液に分散される水相逆抽出液を含む分散逆抽出液を提供するステップと、銅とガリウムを含む処理液のPH値を3.5より大きくならないように調節し、または初期濃度が10Nまたはそれより大きい酸を含むように濃縮酸を処理液に添加して、調節するステップと、銅とガリウムを含む処理液104を細孔支持材に設けられる液膜の一方で処理し、細孔支持材に設けられる液膜の他方で分散逆抽出液102を用いることによって、選択的に銅とガリウムを含む処理液104中のガリウムを除去するステップと、一部または全部の分散逆抽出液102を有機相と水相逆抽出液に分離させるステップと、を含み、分離された水相逆抽出液に濃縮されたガリウム溶液が含まれるガリウムの回収方法。 (もっと読む)


【課題】耐水性、耐酸性、耐アルカリ性、及びイオン吸着能に優れ、親水性が高く、濾過寿命が長く、透過流量に優れた結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】非対称孔構造を有する結晶性ポリマーからなるフィルムの露出表面の少なくとも一部が、架橋剤と架橋されてなる多価アミンで被覆されている結晶性ポリマー微孔性膜である。 (もっと読む)


【課題】原子力発電所や火力発電所の復水脱塩装置の再生時に排出されるモノエタノールアミン含有希塩酸性液等の非イオン性又はカチオン性の水溶性化合物を含有する酸性液を効率的かつ経済的に処理する。
【解決手段】アニオン交換膜21によって原水室22とアルカリ溶液室23とに隔てられた中和透析装置2の原水室22に、非イオン性又はカチオン性の水溶性化合物を含有する酸性液を通水すると共に、アルカリ溶液室23に該酸性液よりも浸透圧の高い濃厚アルカリ溶液を通水して該酸性液を中和、脱塩および減容化する。アニオン交換膜21および濃厚アルカリ溶液を用いた中和透析処理で、酸性液の中和および脱塩と減容化を行うことができ、得られた中和脱塩減容化処理液を容易に液中燃焼処理することができる。 (もっと読む)


【課題】フッ素およびケイ素を含む排水を処理してフッ化カルシウムを回収するにあたり、従来よりも薬品コストを低く抑えることができる排水処理技術(特に前処理技術)を提供すること。
【解決手段】フッ素およびケイ素を含む排水をpH調整槽1に供給し水酸化ナトリウム(NaOH)を添加してケイ酸ナトリウムを析出させ、析出したケイ酸ナトリウムを固液分離手段2により除く。固液分離したあとのフッ化ナトリウム(NaF)を含む分離液を、バイポーラ膜21を具備してなる電気透析装置5に供給して当該分離液をフッ化水素を含む酸性溶液と水酸化ナトリウムを含むアルカリ性溶液とに分離する。 (もっと読む)


【課題】規定された電極間距離を安定して得ることができるとともに、脱塩室に充填されるイオン交換体を容易に交換することが可能な電気式脱イオン水製造装置を提供する。
【解決手段】電極間にイオン交換体が充填される脱塩室10が形成される電気式脱イオン水製造装置7である。
そして、本体11の両端が開放されるとともに電極間の距離を規定する連結部12が形成された脱塩室用容器1と、本体の内空部11aの形状に合わせて成形されたモノリスイオン交換体3と、連結部と所定の位置で連結される電極側連結部22が形成された電極室用キャップ2A,2Bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】機材料分離膜による分離、濃縮において、実用上十分な処理量と分離性能を両立する多孔質支持体−ゼオライト膜複合体の製造方法を提供する。
【解決手段】Si元素源、Al元素源、アルカリ源および有機テンプレートを含む水性反応混合物を用いて、水熱合成により、CHA型ゼオライトを有するゼオライト膜を多孔質支持体上に形成することにより多孔質支持体―ゼオライト膜複合体を製造する方法であって、アルカリ源が、少なくともカリウムを含むものであることを特徴とする多孔質支持体―ゼオライト膜複合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】20%以上の高含水率の含水有機化合物への耐久性があり、高透過流束、高選択率、好ましくは耐酸性を持つ耐熱性、耐薬品性に優れたゼオライト膜を用いた膜分離手段を含む分離方法および分離装置を提供する。
【解決手段】含水率20質量%以上の含水有機化合物を、ゼオライト膜を有する膜分離手段へ導入し、含水有機化合物から水を分離する方法であって、ゼオライト膜が、SiO/Alモル比が5以上であり、骨格構造として酸素6〜10員環構造を有し、フレームワーク密度が10以上17以下であるゼオライトを含むことを特徴とする分離方法および該分離方法などを行うための装置。 (もっと読む)


【課題】DTC官能基を含有する新しい水溶性ポリマー、および研磨固体を含む半導体廃水から金属イオンを沈殿させると同時にマイクロフィルター運転を向上させる方法を提供する。
【解決手段】ジチオカルバミン酸塩官能基を含有する有効量の水溶性ポリマーを排水に添加することにより、研磨固体を含む半導体廃水からの可溶性重金属イオンの沈殿と同時にマイクロフィルター運転の向上が達成される。 (もっと読む)


【課題】耐水性、耐酸性、耐アルカリ性、及びイオン吸着能に優れ、親水性が高く、濾過寿命が長く、透過流量に優れた結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】本発明の非対称孔構造を有する結晶性ポリマー微孔性膜は、結晶性ポリマーからなるフィルムの露出表面の少なくとも一部が、架橋剤で架橋されてなるフッ素系アルコールで被覆されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】浸透性が非常に高いため、細孔内部まで水を浸透可能であり、顕著に親水性を向上することができ、さらに、耐水性、耐酸性、耐アルカリ性、及び耐薬品性に優れ、濾過寿命が長く、透過流量に優れた結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】結晶性ポリマー微孔性膜は、非対称孔構造を有する結晶性ポリマー微孔性膜であって、前記結晶性ポリマー微孔性膜の露出表面の少なくとも一部が、第一の架橋剤により架橋させてなる界面活性剤で被覆されている。 (もっと読む)


【課題】非対称孔構造を有する結晶性ポリマー微孔性膜をカートリッジ化後に表面改質することにより、空孔率を確保でき、耐水性、耐酸性、耐薬品性、及び耐アルカリ性に優れ、親水性が高く、濾過寿命が長く、透過流量に優れた濾過用フィルタ及び濾過用フィルタの製造方法の提供。
【解決手段】第1の面における平均孔径が、第2の面における平均孔径よりも大きく、かつ前記第1の面から前記第2の面に向かって平均孔径が連続的に変化する複数の孔部を有する結晶性ポリマー微孔性膜を有する濾過用フィルタであって、カートリッジ化後の前記結晶性ポリマー性微孔膜の少なくとも一部が、表面改質されている濾過用フィルタである。 (もっと読む)


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