【課題】中心管の外径寸法にバラツキがあっても、中心管を中央に保持することができ、しかも中心管の挿入を容易に行うことができる膜エレメント用シール材保持部材、及びこれを用いた膜エレメントを提供する。
【解決手段】スパイラル型の膜エレメントの中心管が挿入される中央開口部１９と、膜エレメントの膜端部へ原液を流入させるための周辺開口部１５ａと、環状のシール材を保持する外周部１８とを備える膜エレメント用シール材保持部材において、中央開口部１９は、挿入される中心管の外径より大きい円筒状の内周面１６ａを有すると共に、その内周面１６ａの３箇所以上の位置には、中心管６の挿入側に傾斜面２１ａを有し、内接円より外径の大きい中心管６を内嵌する際に変形可能な突起２１を形成してある。 （もっと読む）

生物付着に対して長期間の耐性を示す複合膜は、多孔質支持体及び外部表面を有する架橋ポリアミド識別層、その外部表面に結合した分岐ポリアルキレンオキシド（ＰＡＯ）ポリマーを含む識別層を含む。分岐ＰＡＯポリマーは、通常、櫛型又はブラシ型分子の構造を有し、次式（Ｉ）：ＲＯ−［（ＣＨＲ′）_n−Ｏ］_m−Ｖ（Ｒは水素又はＣ_1-20脂肪族又は芳香族基であり、Ｖは任意のポリマー重合し得る部位を含む任意の基であり、各Ｒ′は独立に水素又は短鎖アルキル基、ｎは１〜６の整数であり、ｍは１〜約２００の整数である）のＰＡＯマクロモノマーの重合により作製される。α末端基は、重合することも共重合することもできる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 塩阻止率を低下させることなく透過流束を大きくすることができる乾燥複合半透膜の製造方法を提供する。また、該製造方法によって得られる乾燥複合半透膜を提供する。
【解決手段】 多官能アミン成分と多官能酸ハライド成分とを反応させてなるポリアミド系樹脂を含む未乾燥スキン層を多孔性支持体の表面に形成する工程、該未乾燥スキン層を温度３５℃以下かつｐＨ２〜１３の水溶液、温度３５℃以下かつアミノ基含有化合物を含有する水溶液、又は温度３５℃以下かつ界面活性剤を含有する水溶液に１〜６０秒接触させる接触処理工程、及び接触処理工程後に未乾燥スキン層を乾燥する工程を含む乾燥複合半透膜の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ、システムＬＳＩなどの製造工場などで使用される超純水中へのアミンの溶出を効果的に防止し、純度の極めて高い超純水を安定して供給することができる超純水製造用膜分離装置の洗浄装置を提供する。
【解決手段】膜分離装置の給水入口と脱着可能な連結部を有する洗浄水供給配管、膜分離装置の透過水出口と脱着可能な連結部を有する透過水排出配管、膜分離装置の濃縮水出口と脱着可能な連結部を有する濃縮水排出配管を有し、洗浄水供給配管に弁と流量調整手段が、透過水排出配管に弁が、濃縮水排出配管に弁がそれぞれ設けられるとともに、洗浄水供給配管に分岐して弁を有するブロー水配管が接続されてなることを特徴とする超純水製造用膜分離装置の洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】オゾン等の薬品を利用することなく、散気設備を設置しないで費用の増大を抑え、かつ濾過水を用いることのないろ過装置及びろ過装置の膜洗浄方法を提供する。
【解決手段】ろ過装置１０Ａは、供給水３０中の濁質分を濾過して生産水３１と濃縮水３２とに分離する膜１２を有する膜装置１３と、前記供給水３０を前記膜装置１３に送給する供給水ライン３３とを具備してなるろ過装置において、ガスを溶液に過飽和状態に溶解させるガス溶解部３４Ａを有し、前記膜１２の洗浄を行う際に、前記ガス溶解部３４Ａを用いて、前記供給水３０をガスで過飽和状態に溶解し、前記膜装置１３内で微細気泡を発生させ、前記膜１２の洗浄に用いてなる。 （もっと読む）

【課題】 供給側流路の圧力損失を低減でき、しかも濃度分極の抑制効果が十分なため、運転効率と透過水水質とが良好なスパイラル型分離膜エレメントを提供する。
【解決手段】 分離膜と供給側流路材及び透過側流路材が、有孔の中空状中心管の周りに巻きつけられているスパイラル型分離膜エレメントにおいて、前記供給側流路材は、供給液の流れ方向に平行な縦糸１と供給液流れ方向に交差する横糸２とが、交差角度θ２０〜８０°で繋がっており、縦糸間隔Ｌ１と横糸間隔Ｌ２の比（Ｌ１／Ｌ２）が１．３〜２．０の範囲にあり、かつ前記縦糸間隔Ｌ１が５ｍｍ以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最小限の前処理装置の構成を維持したまま非定常運転時においても電気脱イオン装置のスケール障害を生じることなく、所定のレベルの純水を電気脱イオン装置に供給することのできる純水製造システムを提供する。
【解決手段】純水製造システムは、第１の逆浸透膜モジュール３、第２の逆浸透膜モジュール４、第３の逆浸透膜モジュール５の３個の逆浸透膜モジュールを直列的に接続したモジュール群Ｍと、このモジュール群Ｍの透過水排出ライン６上に設けた電気脱イオン装置７とを備える。第３の逆浸透膜モジュール５の濃縮水排出ライン５Ａに連続するメインライン９は予備的逆浸透膜モジュール１３に接続していて、この予備的逆浸透膜モジュール１３の透過水排出ライン１３Ａは原水槽Ｔに接続されている。 （もっと読む）

【課題】被処理水中の過酸化水素を迅速かつ確実に除去することができ、特に半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において用いられる超純水製造装置における超純水中の過酸化水素の除去に適した過酸化水素の除去方法及び除去装置を提供する。
【解決手段】過酸化水素を含む被処理水を、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた過酸化水素分解触媒に接触させることを特徴とする水中の過酸化水素の除去方法、及び、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた触媒を充填した過酸化水素分解装置と、過酸化水素を含む被処理水を該装置に供給する給水手段と、該触媒と接触した水を該装置から排出する排水手段とを有することを特徴とする過酸化水素の除去装置。 （もっと読む）

【課題】改質された表面を有するポリマー物品の提供。
【解決手段】所望の化学的官能基を有する表面を備えた、膜をはじめとするポリマー物品は、相溶性マトリックスベース成分にブレンドされた枝分かれ成分の表面偏析により作り出され、枝分かれ成分はこの所望の化学的官能基を有する。特に、ポリマーマトリックス中にブレンドされた枝分かれ親水性コポリマーの表面偏析により、親水性表面が作り出される。枝分かれ分子構造を使用することで、親水性化学種の表面への偏析のための熱力学的機構とこの親水性部分の高い表面被覆率を実現するための手段とが得られる。枝分かれ親水性コポリマーは、二種類以上のメタクリレートまたはアクリレートモノマーを含むランダムコポリマーにより定義でき、このモノマーの少なくとも一種類は短い親水性側鎖を特徴とする。枝分かれ親水性コポリマーはアクリレートポリマーマトリックスと相溶性であり、かつ、良く絡み合う。 （もっと読む）

【課題】分離膜を改質し、阻止性能向上を実現するに際し、原水等が酸化性雰囲気である場合にあっても、効果的に分離膜を改質可能な、分離膜の改質方法および装置並びにその方法により改質された分離膜を提供する。
【解決手段】分離膜に、ポリフェノールを含む有機物質および還元剤を含む水を加圧通水し、分離膜の阻止性能を向上、回復させることを特徴とする分離膜の改質方法、および装置並びにその方法により改質された分離膜。 （もっと読む）

【課題】超純水中のＮａ⁺イオン濃度を０．１ｐｐｔ以下に抑制するとともに、ＴＯＣ濃度を低減して、高純度の超純水を安定に効率よく製造する方法、およびその装置を提供する。
【解決手段】一次純水１０を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂とで構成される混床を備えるイオン交換装置３に通して超純水を形成する超純水の製造方法であって、強酸性カチオン交換樹脂の交換容量が１．５〜２．５ｍｅｑ／ｍＬ、強塩基性アニオン交換樹脂の交換容量が０．５〜１．５ｍｅｑ／ｍＬ、強酸性カチオン交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂の総体積に対するカチオン交換樹脂の体積の比率が、４０％以上７０％未満であることを特徴とする超純水の製造方法。 （もっと読む）

【課題】分離膜の劣化を防ぎつつ、性能を安定させて運転を継続することができる分離膜の運転方法および装置を提供する。
【解決手段】分離膜に原水を通水し、透過水と濃縮水とに分離する運転中に、分離膜への原水供給系に、連続的または断続的に、ポリフェノールを含む有機物質を含む水を添加することを特徴とする分離膜の運転方法および装置。 （もっと読む）

【課題】分離膜の劣化を防ぎつつ殺菌剤による処理を可能とし、殺菌処理された分離膜の安定した長期運用を実現することが可能な、分離膜の殺菌方法および装置並びにその方法により処理された分離膜を提供する。
【解決手段】ポリフェノールを含む有機物質を含む水を加圧通水することにより分離膜を殺菌剤耐性処理した後、殺菌剤を含む水を分離膜へ供給して分離膜を殺菌することを特徴とする分離膜の殺菌方法および装置、並びにその方法により処理された分離膜。 （もっと読む）

【課題】温超純水から微粒子のみならず、金属イオン、アニオン成分等の他の不純物をも除去することができ、したがって高純度の温超純水を安定して供給することが可能な超純水システムを提供する。
【解決手段】超純水システムにおいて、超純水を加温して温超純水を製造する超純水加熱装置１４と、超純水加熱装置により製造された温超純水をイオン吸着膜に通水する温超純水浄化装置１８とを設ける。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】 液体が侵入する恐れのある膜を用いることなしに気液分離フィルタ部を形成する。
【解決手段】気液分離チップの気液分離フィルタ部３はシリコン基板１に異方性ドライエッチングにより形成された多数の針状突起物を有するブラックシリコンと称されるものである。シリコン基板１上には接着性フッ素樹脂５によってガラス基板４が接合されて流路６が形成されている。気液分離フィルタ部３と流路６はともに紙面垂直方向に延びている。気液分離フィルタ部３で液相と気相との界面でガス移動が行なわれる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置と操作により、過酸化水素の発生を防止し、効率よくＵＶ処理を行って有機物を分解除去し、高純度の超純水を製造することができる超純水製造方法および装置を提供する。
【解決の手段】 １次純水製造システムＡにおいて製造された１次純水を、２次純水製造システム（サブシステム）Ｂにおいて、サブタンク１１からＵＶ処理装置１３へ供給する際、水素添加装置１２から過酸化水素の発生を抑制する量の水素を添加し、ＵＶ処理装置１３においてＵＶを照射し、一次純水中に含まれる有機物を分解してイオン化し、アニオン交換器１４および混床式交換器１５で有機物が分解して生成するアニオンや、一次純水から持ち込まれる他のアニオンおよびカチオンを除去して超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】 使用する多官能アミンの量を低減させた場合でも、高脱塩率、高透過流束を併せ持ち海水やかん水の脱塩に有用な複合半透膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】 微多孔性支持膜上に多官能アミン水溶液を接触させた後、多官能酸ハロゲン化物を含む、水と非混和性の有機溶媒溶液を接触させ、界面重縮合によって微多孔性支持膜上に架橋ポリアミドを含む分離機能層を形成する複合半透膜の製造方法において、上記多官能アミン水溶液中に中性無機塩を０．５重量％以上添加する複合半透膜の製造方法。 （もっと読む）