【課題】高いガス分離能を有し、気相体積比率の高い被処理液にも適用可能な、温泉水用のガス分離装置を提供する。
【解決手段】ガス分離装置１００は、少なくともその下端付近を除く部分が本体タンク１内に配設された、上端が開口した有底略円筒状の内筒２と、内筒２と略同軸に本体タンク１内に配設された外筒７と、被処理液を内筒２内に導く流入管２ｂと、内筒２の軸心に配置された芯棒３と、芯棒３に巻装された螺旋状部材５と、排気口１０と、排水口１１とを具える。ポンプ送液等により流入した被処理液は、内筒２内で旋回上昇流を生じ、遠心力でガス分離される。ガスと分離された一次処理液は、旋回上昇流の遠心力によって内筒２上端から飛散して、外筒７に衝突し更にガス分離される。 （もっと読む）

【課題】脱気装置を設置することなく効果的に消泡でき、被塗装物に均一且つ平滑な塗装面を施すことが可能なフローコータ装置を提供する。
【解決手段】塗装用ヘッド装置１と、この塗装用ヘッド装置１に塗料２を供給する塗料供給路３とを備える。塗装用ヘッド装置１が、塗料供給路３から塗料２が供給される前タンク部４、被塗装物５に塗装するために塗料２をカーテン状の膜として流下させるカーテン形成流下部６を有する塗装用ヘッド部７と、前タンク部４から塗装用ヘッド部７に塗料２を流す傾斜シュート部８を備えて構成される。傾斜シュート部８は、塗料２を膜状にして移動させるための傾斜面９を有し、且つ、傾斜面９が親水性能を有する。 （もっと読む）

【課題】
安価且つ管理が容易で設置スペースの限られた場所にも設置できる消泡装置の提供。
【解決手段】
排水口１から放水方向に向けて形成された放水路３を設け、放水路３は排水口３より下流側に消泡用構造体収容部３ａを有し、消泡用構造体収容部３ａに繊維状材を絡み合わせて形成された通水性素材からなる消泡用構造体４を収容し、排水口１より消泡用構造体４を通して排水されるようにした。 （もっと読む）

【課題】レジスト吐出時に、微小気泡を抑制させる塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト供給源３０から供給されたレジスト液をベローズポンプ１４で加圧することによりレジスト液中に含まれる微小気泡をレジスト液に溶解し、さらに、第１の圧力制御ポンプ２４により予め決められた圧力に加圧制御されるコータチャンバー２０内にコータ１８を収容し、この加圧雰囲気下で微小気泡を溶解させた状態を保ったままのレジスト液をコータ１８によりウェハＷに塗布する構成にした。 （もっと読む）

【課題】 ベント部をフィルタハウジング上端に複数個設けることにより濾過液体の濾過・脱泡を促進させる。
【解決手段】 筒状のフィルタカートリッジ１と、該筒状フィルタカートリッジ１を立設して収納するスリーブ状のシェル２と、該シェルの一端部に液密に固着しあるいは前記シェルと一体化したカバー５と、前記シェルの他端部に液密に固着した液入口ポート４ａと液出口ポート４ｂを形成したヘッド４と、からなり、濾過液体が前記フィルタカートリッジ１の内腔を上昇して濾過・脱泡されるフィルタハウジングＨにおいて、前記カバー５の前記フィルタカートリッジ１の一次側及び二次側に対面した位置にそれぞれベント部１１ａ，１１ｂを設け、及びヘッド４に形成した液出口ポート４ｂから垂直方向に十分離れた位置に立設したスリーブ状のポスト１０の外周にカートリッジシール部６を嵌着し、該カートリッジシール部６上に前記フィルタカートリッジ１を液出口４ｂから十分離して載置する。 （もっと読む）

【課題】気体を長期に亘って液体中に安定に保持して殺菌性、嗜好性、生体活性などの機能性が持続する飲料用水を提供する。
【解決手段】飲料用水は、気体がナノサイズの気泡となって該気体の飽和溶解水に存在している。そして、気泡との界面に存在する水分子の水素結合の距離が、常温常圧であるときの水素結合の距離よりも短い。飲料用水に、圧力変化、温度変化、衝撃波及び超音波などの外力を与えて気泡を崩壊させて、飲料用水中の気体を発生させて飲料用水を利用したり、気体を分離して飲料用水を精製したりする。 （もっと読む）

【課題】オゾン水濃度計に供給されるサンプリングされたオゾン水に含まれる極微小な泡を取り去り、オゾン水濃度計の測定精度の向上を図るオゾン水濃度計用脱泡装置を提供する。
【解決手段】オゾン水による機器の殺菌洗浄装置において、該殺菌洗浄装置に供給されるオゾン水の濃度を測定するオゾン水濃度計（２９）を付設し、オゾン水供給経路からオゾン水をサンプリングして、オゾン水濃度計（２９）に供給し測定する構成において、該サンプリングしたオゾン水を、オゾン水濃度計（２９）に供給する経路に、オゾン水濃度計用脱泡装置（Ａ）を設け、該オゾン水濃度計用脱泡装置（Ａ）は、濾紙により構成したフィルタ（５５）をオゾン水が通過する経路に介装した。 （もっと読む）

【課題】投影システムの最終要素と基板の間の空間を充填する液体を有する装置の描画性能を向上させること。
【解決手段】リソグラフィ装置及びデバイス製造方法が、投影レンズの最終要素と基板の間の描画領域の少なくとも一部を充填する、液溜め１３の中に閉じ込められた大きな屈折率の液体を利用する。溶解した大気ガスに由来するか又は液体に曝された装置要素からのガス放出に由来する、液体中で発生する気泡が、露光に干渉して基板上の焼き付け欠陥を招かないように検出されかつ除去される。検出は液体中の超音波減衰の周波数依存を測定することによって実行可能であり、気泡除去は、液体の脱気及び加圧を行い、液体を大気から隔離し、低表面張力の液体を使用し、描画領域を通過する連続的な液流を供給し、さらに超音波定常波形の節を移相することによって実施可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構造によって良好なメンテナンス性を有しながら、確実な消泡効果を発揮する脱泡装置を提供しようとするものである。
【解決手段】脱泡装置が、脱泡処理槽と超音波振動子を備え、且つ、導入先から該脱泡処理槽に液体を導入する液体導入配管と、余分な液体を導入先に戻すリターン配管と、脱泡処理した液体を排出する排出配管に接続されており、且つ、液体導入配管はリターン配管より低い位置に開口しており、且つ、排出配管はリターン配管より低い位置に開口しており、且つ、脱泡処理槽が細孔を有する仕切り板を備え、且つ、仕切り板により液体導入配管とリターン配管の２つの配管と排出配管が仕切られており、且つ、仕切り板が仕切り板によって分割される空間のうち液体導入配管とリターン配管側の空間の高さ方向の断面積が脱泡処理槽の高さが高くなるにつれて小さくなる方向に傾斜していることを特徴とする脱泡装置である。 （もっと読む）

【課題】処理液の無駄をなくすことができると共に、廃液中に溶存するガスを効率的に除去でき、かつ処理液の種類に影響を受けることなく処理の最適化が図れると共に、処理効率の向上が図れるようにする。
【解決手段】気体供給管路６ａを介してＮ２ガス供給源７１に接続される薬液ボトルと、被処理基板に処理液を供給する供給ノズル７０ａとを接続する供給管路７ａ，７ｂにバッファタンク２とフィルタ３を介設する。バッファタンクを大気側に連通可能に形成すると共に、気体供給管路６ｂを介してＮ２ガス供給源７１とバッファタンクとを接続する。フィルタ３に接続するドレイン管路７ｃと、ドレイン管路から分岐され、薬液ボトルとバッファタンクとの間の供給管路に接続する戻り管路８ａとからなる循環管路８を設け、循環管路に設けた可変絞り９によって循環管路中を流れるレジスト液の液圧を低下してレジスト液中に溶存する気体を気泡化して除去する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易に水生生物を処理可能な装置を提供することを目的とする。
【解決手段】減量化処理装置１における処理槽２の内部は、仕切り板４によって２つに区分され、その一方は収容槽１１、他方は消泡槽１２とされている。仕切り板４の下部には、切り欠き部６および消泡槽１２の内部に設置された止め板７によって、水分は通過できるが処理対象である水生生物が通過できない通路５が形成されている。消泡槽１２の内部には、泡捕捉材としてのサランロックフィルタ１３が充填されている。また、消泡槽１２には、エアレーション装置１４が設けられている。このような構成の処理装置１によれば、泡立ちを抑えつつ安価かつ簡易に水生生物を処理可能である。 （もっと読む）

【課題】気体の排除効率を高めることができるフィルタシステム及びフィルタシステムにおける排気方法を提供する。
【解決手段】入口２３から導入した薬液を第１フィルタ２１に通してろ過処理した後、出口２４から吐出する第１フィルタユニット２０と、第１フィルタユニット２０における第１フィルタ２１通過前の液体中の気体を排除するための第２フィルタユニット３０とを設け、第１フィルタ２１通過前の気体含有液を導入口３３から第２フィルタユニット３０へと導入し、この液体を気体含有通路３４に通過させながら第２フィルタ３１に対し連続的に接触させることにより、液体中の気体を第２フィルタ３１によって効率よく除去する。通路３４を通過した液体は排出口３５から第２フィルタユニット３０外部に排出した後、第１フィルタユニット２０へと再導入する。 （もっと読む）

【課題】コンクリートの流動性を高めるための従来技術の有する問題点に鑑みて提案されたもので、その目的とする処は、コンクリートに流動化材や増粘材を使用することなく、打設作業を軽減させた流動化コンクリートを提供する。
【解決手段】フッ素樹脂パイプに線状スリットを設けた気液混合溶解手段１０３および分級リサイクル手段１０６，１０８を組合せた気液混合溶解装置によって製造した溶存ガスが超微粒子系の気泡粒径（１０μｍ以下）で過飽和溶存濃度の水溶液をコンクリート混練水として利用することによりコンクリート流動性能を向上させる。 （もっと読む）

【課題】排気中の溶剤を回収することにより、排気中の溶剤濃度を低減して排気設備の負担を軽減できる。
【解決手段】処理槽１を囲うチャンバ１１内に溶剤ノズル１７を介して高濃度のイソプロピルアルコールの蒸気が供給される場合であっても、スタティックミキサ６３により排気が純水と混合される。したがって、気体にイソプロピルアルコールの蒸気が含まれていても、純水とともに気液分離部５３に送られるので、イソプロピルアルコールの蒸気は純水とともに排出される。その結果、気液分離部５３からの排気中のイソプロピルアルコールの濃度を低減できる。 （もっと読む）

【課題】気体の過飽和溶解水の製造は、従来より加圧溶解方法があり常圧に戻すと過飽和を維持するのが難しい。また、気泡粒径が大きいほど未溶解ガスが大気放出されガスの消費量も多くなり装置も大型化する。
オゾンは、上記の問題がありオゾンの有用な効果を長期にわたり維持するための方策が求められている。
本発明の目的は、ナノ領域のオゾン気泡を含む水溶液の特徴を活かした利用方法を提供する。
【解決手段】先に本出願人が提案した、フッ素樹脂パイプに線状スリットを設けた気液混合溶解手段および分級リサイクル手段を組組合せた気液混合溶解装置によって、溶存オゾンおよび飽和濃度の３倍以上過飽和溶存酸素の水溶液製造を可能にした。本水溶液は優れた殺菌効果があること、またナノ領域の気泡を含んでおり大気へのオゾン放出が微小であり水中での上昇速度が緩慢であることを利用した殺菌・水処理・廃水処理・下水道管腐食防止を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】自転公転式の混練脱泡装置を利用して、精度の高い混練脱泡処理を効率よく実現することを可能にする、被混練脱泡材料が収容される容器、及び、混練脱泡方法を提供する。
【解決手段】容器１００は、容器ホルダ３０を自転及び公転させることが可能に構成された混練脱泡装置１の容器ホルダに保持されて、容器ホルダの自転及び公転に伴って自転及び公転する、内部に被混練脱泡材料Ｍが収容される容器であって、容器ホルダ３０に保持されて自転及び公転する、底面１１２及び側面１１４を含む容器本体１１０と、容器本体の内部空間１４０の所定の領域（第１の領域１４２）を囲繞するように構成された、容器本体の側面１１４と対向する囲繞壁部１２０とを含む。囲繞壁部１２０の少なくとも一部はろ過膜によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板、例えばフォトマスク基板、フォトマスクブランク、フォトマスクあるいはそれらの製造中間体等を洗浄した場合に、微小異物（パーティクル）の発生を極めて少なくすることができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄液中の異物を除去する異物除去工程を含み、異物を除去した洗浄液を被洗浄基板に供給して洗浄する洗浄方法であって、少なくとも、前記洗浄液をフィルタで濾過して洗浄液中の異物を除去する前記異物除去工程において、併せて洗浄液中の気泡を除去し、前記気泡の除去および異物の除去を行った洗浄液を被洗浄基板に供給して洗浄することを特徴とする洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】焼却施設から不可避的に生成され排出ガス中に混入するダイオキシン類（ＤＸＮ類）や多環芳香族化合物（ＰＡＨ）などの有害有機物質を、簡素な設備構成で効果的に除去分解可能な有害有機物質含有排ガスの処理装置を提供する。
【解決手段】産業廃棄物焼却炉などの焼却施設から排出される排ガス２６中に含有される有害有機物質を除去する有害有機物質含有排ガスの処理装置において、上記有害有機物質の吸収能を有する洗浄液６と上記排ガス２６とを接触せしめて有害有機物質を洗浄液６中に吸収溶解させる洗浄塔４と、この洗浄塔４から抜き出された上記有害有機物質を吸収溶解させた洗浄液６を上記洗浄液貯槽５から部分的に抜き出し、抜き出した洗浄液６に放射線を照射することにより洗浄液６中の有害有機物質を分解する有害物分解機構７と、を備えることを特徴とする有害有機物質含有排ガスの処理装置である。 （もっと読む）

【課題】フィルターエレメント表面を特有の反応性官能基で化学的に改質するフィルターエレメントの改質方法を提供するものである。
【解決手段】本発明に係るフィルターエレメントの改質方法は、燃料やオイルなどの液体を濾過して、その液体中に含まれる泡や気泡を微小化、低減するフィルターエレメントの改質方法であって、フィルターエレメント本体を、そのフィルターエレメント本体を構成する繊維と反応する１つ以上の反応性官能基を有する改質薬剤の溶液に浸漬して改質薬剤を繊維に含浸させ、しかる後、そのフィルターエレメント本体に、乾燥処理、及び加熱、光、電子線による化学反応処理を施し、繊維表面に上記改質薬剤を化学的に結合させて固定化するものである。 （もっと読む）

【目的】ボイラ給水を供給するための貯水タンクへ補給水を供給するに当り、補給水の軟水化および脱酸素処理の確実性を高める。
【構成】貯水タンク４０へ補給水を供給する注水路５１に設けた軟水化装置５３において、ナトリウム型陽イオン交換樹脂が充填された樹脂ユニット群から一つの樹脂ユニットを選択し、選択した樹脂ユニットを用いて補給水から硬度分を除去する。また、硬度分が除去された補給水を脱酸素装置５６に所定流量Ｘで通過させて補給水に含まれる溶存酸素を除去し、その補給水を貯水タンク４０へ供給して貯留する。軟水化装置５３と脱酸素装置５６との間において、補給水の硬度分濃度および水温をそれぞれ硬度分センサ５７および水温センサ５８で測定し、測定した硬度分濃度が所定濃度を超えたときは樹脂ユニットを他の樹脂ユニットに切替え、また、測定した水温が所定温度未満のときは所定流量Ｘ未満で補給水を脱酸素装置５６に通過させる。 （もっと読む）