【課題】占有スペースが小さく、かつ作動油中に存在する気泡及び作動油中に溶存している気泡核を効率的に除去可能な気泡除去装置を提供する。
【解決手段】作業機械の気泡除去装置１００を、高圧導入口１１を通して高圧の作動油が導入される高圧室１と、低圧導入口２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａを通して低圧の作動油が導入される低圧室２と、これら高圧室１と低圧室２とを仕切る隔壁３と、高圧室１の蓋板１ｂと隔壁３に固定され下端部が低圧室２内に突出された排気管５から構成する。低圧室２内に旋回流Ｒを発生させると共に、隔壁３に設けられた絞り４によってジェット噴流Ｊを発生させ、低圧室２内に噴射する。 （もっと読む）

【課題】 二酸化炭素を吸収した吸収液からの二酸化炭素の回収率を高く維持しつつ、回収した二酸化炭素ガス中の酸素濃度を十分に低減することができる二酸化炭素回収システムを提供する。
【解決手段】 燃焼排ガスと二酸化炭素を吸収する吸収液とを接触させて、燃焼排ガス中の二酸化炭素を吸収液に吸収して除去する二酸化炭素吸収塔２０と、二酸化炭素を吸収したリッチ吸収液に、バブリングガスを吹き込む、超音波振動を付与する、又はリッチ吸収液を加熱するうちの少なくとも１つの溶存酸素を除去する手段と、二酸化炭素吸収塔で二酸化炭素を吸収したリッチ吸収液を旋回流にする、又は撹拌する気泡除去手段３０と、溶存酸素除去手段および前記気泡除去手段によって酸素を除去した吸収液から二酸化炭素を放出して、吸収液を再生するとともに、二酸化炭素ガスを得る再生塔４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスが不要であり、コンパクトで利便性の高い給湯器用スケール成分除去装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱交換器を備える給湯器において、熱交換器に水を供給する水路に給湯器用スケール成分除去装置が配される。本装置には、熱交換器に供給される水を電解処理することによりスケール成分の除去を行う電解装置が備えられるとともに、この電解装置を迂回するバイパス経路、および、電解装置に洗浄水を流す洗浄経路が備えられている。加えて、本装置には、電解槽に備えられる一対の電極の極性を所定時間毎に反転する極性切り替え装置が備えられ、かつ、極性切り替え装置による反転操作に伴って、水が電解装置に供される電解経路を閉とするとともにバイパス経路と洗浄経路とを開とし、所定時間経過後に電解経路を開とするとともにバイパス経路と洗浄経路とを閉とする経路制御装置が備えられている。 （もっと読む）

【課題】被検査物をスムーズに搬送することで検査時間の短縮を図ることができる脱泡装置を提供する。
【解決手段】脱泡装置１は、コンベア１６１により搬送された一升瓶Ｂを受け渡す第１の中継部材１６２と一端が同じ水平位置に配置されていると共に、一升瓶Ｂが退出して受け渡される第２の中継部材１７２と他端が同じ水平位置に配置されたステージ１１に、液供給手段１５により水を吐出することで水層を形成し、この水層に一升瓶Ｂを移動させることで、水槽１４の内側層１４２内に配置された超音波発生手段１３からの超音波を付与する。これにより一升瓶Ｂ内の焼酎を振動させ脱泡する。 （もっと読む）

【課題】レジスト吐出時に、微小気泡を抑制させる塗布装置を提供する。
【解決手段】レジスト供給源３０から供給されたレジスト液をベローズポンプ１４で加圧することによりレジスト液中に含まれる微小気泡をレジスト液に溶解し、さらに、第１の圧力制御ポンプ２４により予め決められた圧力に加圧制御されるコータチャンバー２０内にコータ１８を収容し、この加圧雰囲気下で微小気泡を溶解させた状態を保ったままのレジスト液をコータ１８によりウェハＷに塗布する構成にした。 （もっと読む）

【課題】 液体を貯留するタンクから、一対のポンプによる交互の圧送により、液中のガスを発泡して排除した液体を吐出先に安定的に供給する液体供給システムにおいて、省スペースで低コストな液体供給システムを提供する。
【解決手段】 薬液供給システム１は、薬液供給源から薬液を供給する供給口５３と、供給口５３から流入した薬液を一時的に貯留する貯留槽５０Ｔと、貯留槽５０Ｔの下方から薬液を吐出させる吐出口６２と、薬液から発泡された気泡を貯留槽５０Ｔの上方から槽５０Ｔ外に排気する排気口５４とを有する脱気装置５０と、を備え、脱気装置５０は、薬液供給源とべローズポンプ１０との間の薬液吸入第１，第２管路Ｌｉ１，Ｌｉ２に配設され、供給口５３にキャビテーションノズル７０を設けていること、べローズポンプ１０は、脱気装置５０の吐出口６３に接続する薬液吸入第２管路Ｌｉ２に、並列に２つ併設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レジスト、顔料分散液等の液体に混入する送液配管内の気泡やマイクロバブルを迅速に分離、除去し、生産品質の安定性や生産性を向上させることができる脱気容器等を提供する。
【解決手段】液体の脱気を行うための脱気容器１は、筐体３と、筐体３の内部で、筐体３の底面から立設される筒体５と、筐体３の内部の、平面において筒体５の内側で、底面から筒体５よりも高く立設される筒体７と、筒体５と筒体７との間と、筒体７の内側とを、筒体５の高さよりも低い位置で連通させる管路２５等の流路と、軸１７を中心として略水平方向に回転する回転翼１１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】気体を長期に亘って液体中に安定に保持して殺菌性、嗜好性、生体活性などの機能性が持続する飲料用水を提供する。
【解決手段】飲料用水は、気体がナノサイズの気泡となって該気体の飽和溶解水に存在している。そして、気泡との界面に存在する水分子の水素結合の距離が、常温常圧であるときの水素結合の距離よりも短い。飲料用水に、圧力変化、温度変化、衝撃波及び超音波などの外力を与えて気泡を崩壊させて、飲料用水中の気体を発生させて飲料用水を利用したり、気体を分離して飲料用水を精製したりする。 （もっと読む）

【課題】温泉水中に溶け込んだ天然ガスを分離することが可能なガス分離装置の提供。
【解決手段】天然ガスを含有する温泉水が導入される容器１０と、この容器１０内に設けられ、容器１０内に導入される温泉水を衝突させて乱流を発生させる複数の攪拌部材１１とを備えた乱流式気水分離器１を有することにより、温泉水中に溶け込んでいる天然ガスを気泡化させて、容易に分離することができる。 （もっと読む）

【課題】投影システムの最終要素と基板の間の空間を充填する液体を有する装置の描画性能を向上させること。
【解決手段】リソグラフィ装置及びデバイス製造方法が、投影レンズの最終要素と基板の間の描画領域の少なくとも一部を充填する、液溜め１３の中に閉じ込められた大きな屈折率の液体を利用する。溶解した大気ガスに由来するか又は液体に曝された装置要素からのガス放出に由来する、液体中で発生する気泡が、露光に干渉して基板上の焼き付け欠陥を招かないように検出されかつ除去される。検出は液体中の超音波減衰の周波数依存を測定することによって実行可能であり、気泡除去は、液体の脱気及び加圧を行い、液体を大気から隔離し、低表面張力の液体を使用し、描画領域を通過する連続的な液流を供給し、さらに超音波定常波形の節を移相することによって実施可能である。 （もっと読む）

【課題】 異常発泡による装置の運転停止等がなく安定した連続運転を可能とし、高濃度の混合液であっても希釈することなく処理することができ、長期間腐敗しない安定した、再利用が可能で二次公害もない処理液を作り出す強制発泡型有機物混合液処理装置と処理方法を提供する。
【解決手段】 密封構造の発泡タンク（１）の天井部に液投入口（２９）と混合液供給弁（３０）を設け、発泡タンク（１）の底部より泡発生器（１３）、泡液混練器（１５）、循環ポンプ（１６）を直列に接続し天井部液投入口（２９）へと連結する。また、発泡タンク（１）の下部にばっ気管（７）とばっ気ブロワ（６）を設置し、発泡タンク（１）の上部と密封構造の泡受タンク（１０）の上部を泡液分離器（８）で連結し、泡受タンク（１０）の底部から泡供給弁（１４）を介して泡液混練器（１５）に接続して泡受タンク（１０）の天井部に排気ファン（１９）を連結する。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を用いた場合であっても、支持体に均一で良好な塗膜を形成することができ、気泡痕による品質故障の発生を低減することができる超音波脱泡方法を提供する。
【解決手段】塗布液を支持体に塗布する工程、前記塗布液および支持体を加熱する工程、および超音波振動子を支持体側から作用させて塗布液に超音波を照射する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構造によって良好なメンテナンス性を有しながら、確実な消泡効果を発揮する脱泡装置を提供しようとするものである。
【解決手段】脱泡装置が、脱泡処理槽と超音波振動子を備え、且つ、導入先から該脱泡処理槽に液体を導入する液体導入配管と、余分な液体を導入先に戻すリターン配管と、脱泡処理した液体を排出する排出配管に接続されており、且つ、液体導入配管はリターン配管より低い位置に開口しており、且つ、排出配管はリターン配管より低い位置に開口しており、且つ、脱泡処理槽が細孔を有する仕切り板を備え、且つ、仕切り板により液体導入配管とリターン配管の２つの配管と排出配管が仕切られており、且つ、仕切り板が仕切り板によって分割される空間のうち液体導入配管とリターン配管側の空間の高さ方向の断面積が脱泡処理槽の高さが高くなるにつれて小さくなる方向に傾斜していることを特徴とする脱泡装置である。 （もっと読む）

【課題】少ないエネルギーにより気泡径の充分に小さな微小気泡を効率的に発生させる。
【解決手段】本システムは、液体１が貯溜された貯溜槽２と、導入ライン３を経由して導入した液体１に微小気泡５を注入し、微小気泡注入後の液体１を返送ライン６を経由して貯溜槽２に返送する微小気泡発生装置４と、微小気泡発生装置４に対して微小気泡発生のための気体（エア）を気体供給ライン１３を経由して供給する気体供給手段としてのブロワ１４と、を備えている。微小気泡発生装置４は、密閉容器８と、ブロワ１４からのエアを導入する空洞部が内部に形成されると共に、盤面上に多数の気泡注入孔が形成された円盤部材９と、円盤部材９を回転駆動するモータ手段１１と、を有している。そして、円盤部材９の盤面上に形成された多数の気泡注入孔のピッチ間隔は所定長以上である。 （もっと読む）

流体から気泡を除去する容器が提供される。容器は、流体を受け取るための流体入口部と、容器から流体中の気泡を除去するための気泡出口部とを含む。１つ又はそれ以上の超音波変換器は、受け取られた流体を通る１つ又はそれ以上の超音波ビームを伝播して、流体中の気泡を気泡出口部の方向に移動する。流体出口部は、１つ又はそれ以上の超音波ビームが当てられた流体を排出する。導管構造は、１つ又はそれ以上の超音波ビームを容器の第１方向を通って気泡出口部に向かって伝播する。界面は、第１方向とほぼ反対方向への１つ又はそれ以上の超音波ビームの反射を防止する。
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【課題】短時間で高い脱気度の液体を生成可能な脱気装置及び脱気・注気装置を提供する。
【解決手段】液体を貯留するタンクと、このタンク内の液体を下流方向に圧送する圧送手段と、タンクに一端を連通連結するとともに他端を圧送手段の吸引部に連通連結する第１配管と、圧送手段の吐出部に一端を連通連結するとともに他端をタンクに連通連結する第２配管と、この第２配管の途中に設けてスーパーキャビテーションによる空洞を生成する空洞生成手段と、タンク内を減圧する減圧手段とを有する脱気装置及び脱気・注気装置とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構造によって良好なメンテナンス性を有しながら、確実な消泡効果を発揮する脱泡装置を提供するものである。
【解決手段】液体を導入し大きな気泡を除去するための液体導入槽と、超音波振動によって脱泡処理を行う脱泡処理槽を少なくとも有し、液体導入槽には、液体を導入する液体導入配管と、液体を脱泡処理槽に移送する脱泡処理槽移送配管と、余分な液体を導入先に戻す第１のリターン配管が接続されており、脱泡処理槽には、前記脱泡処理槽移送配管と、脱泡処理の完了した液体を排出する排出配管と、余分な液体を導入先に戻す第２のリターン配管が接続されており、第１のリターン配管は、液体導入槽の上部に開口しており、脱泡処理槽移送配管は、第１のリターン配管より低位置に開口しており、第２のリターン配管は、脱泡処理槽の上部に開口しており、排出配管は、脱泡処理槽の下部に開口していることを特徴とする脱泡装置である。 （もっと読む）

【課題】 潜熱回収熱交換器で発生するドレン水のような貧栄養環境にある窒素酸化物含有排水から窒素を分解除去して無毒化し得る処理装置や給湯装置を提供する。
【解決手段】 潜熱回収用の二次熱交換器２で生じたドレン水から脱気槽４での脱気処理により溶存酸素を脱気してドレン水を嫌気的条件にし、このドレン水を処理槽５に導いて脱窒処理及び中和処理を行い、処理後のドレン水を、切換弁８を開にして追い焚き循環路３に排出して外部配管３０を通して浴槽Ｂ内に流し込み、排水口１１から外部に排水させる。処理槽内には、炭酸カルシウム，硫黄にリン酸化合物を添加して造粒し硫黄脱窒菌を付着させた硫黄脱窒ペレットを充填する。脱気槽に導入前にフィルタ部６を通過させ、処理槽に温度調整手段７を設けて脱窒反応促進のためにドレン水を所定の温度条件にする。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子から発振される超音波を利用して、高い分散性を有する懸濁液の製造を実現し得る懸濁液製造装置を提供する。
【解決手段】粉体を混入した溶媒２が貯溜された攪拌槽３を、水４が貯溜された収容槽５内に浸漬すると共に、収容槽５内に配置された超音波振動子７ａ，７ｂから水４を介して攪拌槽３に超音波を照射することにより、攪拌槽３内の粉体を溶媒２中に分散させて懸濁液を製造する懸濁液製造装置１であって、超音波振動子７ａ，７ｂを収容槽５内の複数箇所に攪拌槽３から離間した状態で配置して、複数の超音波振動子７ａ，７ｂから攪拌槽３に対して２以上の異なる周波数の超音波を照射するように構成した。 （もっと読む）

【課題】有機機能層を備えてなる基板をより安価な装置で保管できる方法、運搬方法および保管装置を提供する。
【解決手段】有機機能層を備えてなる基板を不活性液体中に保管することを特徴とし、好ましくは前記不活性液体が、（イ）化学的に不活性であり、有機機能層を構成する化合物と化学反応を起こさず、（ロ）常温にて液体であり、かつ（ハ）常温において５０００Ｐa以上の蒸気圧を持つ基板の保管方法。該保管方法を適用する運搬方法。有機機能層を備えてなる基板を収納可能でありかつ密閉可能なチャンバー１０１と、チャンバー１０１に収納された不活性液体１０２と、チャンバー１０１に不活性液体１０２を出し入れするための手段１０３，１０４とを具備する基板保管装置。 （もっと読む）