【課題】イオン交換装置の交換作業中にイオン交換装置やその接続部等に空気中から混入する汚染物質量を著しく少なくすることができるイオン交換装置の交換方法を提供する。
【解決手段】超純水製造装置に設けられたイオン交換装置を交換するイオン交換装置の交換方法において、イオン交換装置付近をビニールシート好ましくは透明ビニールシートなどの囲繞材で囲んで閉スペースとし、この閉スペース内にクリーンエア等の清浄気体を供給してイオン交換装置の交換作業を行う。 （もっと読む）