深冷分離 (3,528)

原料気体 (519)
分離、精製物 (601)
原料気体、製品気体等の取扱い (401)
不純物の除去 (241)
寒冷の発生、補償 (700)
分離、精製、固化手段 (743)
装置の製造、付属装置 (141)
運転、調整、制御 (182)