【課題】装置の大型化の抑制、ノズルの洗浄効率の向上及び処理液の乾燥防止を確実に行えるようにする。
【解決手段】漏斗部６５を有する洗浄室６２と、漏斗部に溶剤を供給する第１の溶剤供給手段７１と、漏斗部の上部側に溶剤を供給する第２の溶剤供給手段７２と、ノズル吸引手段と、ノズルの先端部の周囲に位置する漏斗部の内周面の下端がノズルの先端部よりも上方に位置する洗浄室内の位置と、基板に対して処理液を吐出する位置と、の間でノズルを移動させるノズル移動手段４４，４６と、第１，第２の溶剤供給手段、吸引手段及び移動手段を制御するコントローラ１００と、を具備する。第１の溶剤供給手段から洗浄室内に溶剤を供給し、溶剤の渦流を形成してノズルを洗浄し、第２の溶剤供給手段から洗浄室内に供給し、洗浄室内に溶剤の液溜りを形成し、吸引手段によりノズルを吸引して、ノズルの先端内部に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する。 （もっと読む）