【課題】実装回路基板の防湿を必要とする部位又は表面に、液状防湿絶縁材料を、塗布ムラなく、液飛散なく、かつマスキングすることなしで選択的にコーティングが出来、塗布付着効率を低下させることなく、均一に薄膜形成できる防湿絶縁実装回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】液温２０℃における粘度が８〜１１ｍＰａ・ｓ、且つ導電率が０．５〜４ｍＳ／ｃｍであるアルコール含有又は水性の液状防湿絶縁材料を連続式インクジェット装置で、２０℃〜５０℃に予め加温された実装回路基板に塗布してなるようにした。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成材料の滞留による膜厚ばらつきを簡単に低減することができ、気流発生装置を不要とした簡単な構造の薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】被成膜体７を保持した状態で回転するホルダ２と、被成膜体７の被成膜面７ａに液状の薄膜形成材料９を供給する材料供給部８と、ホルダ２に立ち上がり状に設けられて被成膜体７の周囲に配置され、ホルダ２の回転と一体回転して被成膜体７の周囲に負圧を生じさせる複数の羽根体３とを備える。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】板材の全幅に対する接着剤の塗布量の均等化、接着剤の消費量の節約を図る。
【解決手段】塗布ロール１と、規制ロール２と、左右一対の堰板３とを有し、前記各ロール１・２の上側の対向間隔内に、接着剤の貯留部を設けて成る塗布機構Ａを、板材９の通路の上方又は／及び下方に配設すると共に、塗布ロール１の有効塗布幅を、板材９の最大幅Ｗに比べて相当に広く設定することにより、塗布ロール１の常用区域Ｕを適正な姿勢で通過する際の板材９の左右に、適宜寸法の予備区域Ｔを設けて成るスプレッダに於て、前記接着剤の貯留部へ接着剤５を供給する供給管７を、少なくとも前記貯留部の上方に於ては二本備える共に、該二本の供給管７の各末端７ｂを、前記塗布ロール１の左右の予備区域Ｔに対応する接着剤の貯留部に於ける左右の予備域ｔの上方に夫々臨ませ、二本の供給管７を介して、前記貯留部の左右の予備域ｔへ接着剤５を供給する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 高粘度材料に変揺性を与えることなく形状良好な点字を形成することが可能とする技術の提供。
【解決手段】 吐出装置とワークとを相対移動しながら、ワーク上に液体材料を滴下塗布して点字を形成する点字形成方法であって、前記吐出装置は、ノズル内流路と連通し、液体材料が供給される液室と、ノズル内流路の入口を閉鎖する進出位置および後退位置を有するピストンと、を備え、前記吐出装置のノズルの吐出口から吐出される１〜１０個の液滴により、ワーク上に点字を構成する一の点を形成する点字形成工程を有することを特徴とする点字形成方法および当該方法を実施可能な塗布装置。 （もっと読む）

【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ５０は、ベース１と、主走査軸方向としてのＹ軸方向の走査を行なうＹ軸モーター５と、Ｙ軸モーター５の可動子としてのＹ軸テーブル１０に載置されＹ軸方向と交差する副走査軸方向としてのＸ軸方向の走査を行なうＸ軸モーター１５と、Ｘ軸モーター１５の可動子としてのＸ軸テーブル２０に載置されＹ軸方向やＸ軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター２５およびその可動子としての基板ステージ３０と、Ｙ軸テーブル１０と基板ステージ３０とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェット塗装が施された二つの建築板が壁構造内において互いに嵌合することで接続される場合、位置ずれなどにより建築板の端部が外部に露出しても外観の悪化を招きにくく、しかも資源消費量の増大を抑制することができる建築板を提供する。
【解決手段】本発明では、基材２における厚み方向の第一面５にインクジェット塗装が施されている。前記基材２における前記第一面５と平行な方向の第一端部３と、この第一端部３とは反対側に形成されている第二端部４とが、互いに嵌合し得る形状に形成されている。前記第一端部３に、前記第一面５に臨むと共にこの第一面５と交差する面からなる第二面６が形成され、この第二面６に前記第一面５よりも解像度の低いインクジェット塗装が施されている。 （もっと読む）

【課題】混色が低減されたパターン膜形成部材の製造方法を提供する。
【解決手段】パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら前記基材上に前記液滴を吐出するパスを所定回数行い、前記基板上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基材上に前記パターン膜が形成されるパターン膜形成領域に対して前記吐出ヘッドの移動方向側に、前記パスにおける前記液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域を設定する着弾禁止領域設定工程と、設定された前記着弾禁止領域に応じて、前記液滴を吐出して、前記パターン膜形成領域に前記機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、前記着弾禁止領域設定工程では、前記パスの回数に応じて前記着弾禁止領域の広さを設定する。 （もっと読む）

【課題】混色が低減されたパターン膜形成部材の製造方法を提供する。
【解決手段】パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら前記基材上に前記液滴を吐出するパスを所定回数行い、前記基材上に前記パターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域に前記液滴の着弾を許可する着弾許可領域を設定する着弾許可領域設定工程と、設定された前記着弾許可領域に前記機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、前記着弾許可領域設定工程では、前記パスの回数に応じて前記着弾許可領域の位置を設定する。 （もっと読む）

【課題】基板の上にラインを形成することと共にこれを固形化させる基板処理装置及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明の基板処理装置１００は、基板Ｓが載置されるステージ１１００と、インクＩを吐出してステージ１１００に載置された基板Ｓに複数のラインを形成する吐出ユニット１２００と、吐出されたインクＩを固形化させる固形化ユニット１４００と、ステージ１１００を移動させるか、又は吐出ユニット１２００と固形化ユニット１４００を移動させる移送ユニット１５００と、を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、コストを低減することが困難であるという課題がある。
【解決手段】紫外光４１の照射を受けることによって硬化する機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３からワークＷに向けて機能液５３を吐出することによって、ワークＷに機能液５３を塗布する塗布工程と、ワークＷに塗布された機能液５３に対して、紫外光４１を含む光を発する光源４３により紫外光４１を照射する照射工程と、前記照射工程の前に、ワークＷの熱特性に応じて光源４３とワークＷとの間の距離を制御する距離制御工程と、を有する、ことを特徴とする描画方法。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構１２の進行方向前側に溶剤供給機構１８を、進行方向後側に気体噴射機構１４を、それぞれ連結して塗布ヘッド１０が構成されている。塗布ヘッド１０を基板Ｗに対して相対移動させながら、溶剤供給機構１８から基板Ｗ上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構１２から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構１４から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 （もっと読む）

【課題】無端状の素地に均一に成膜することのできる成膜装置、及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、駆動源により回転するローラー３に無端ベルト５を巻掛し、ローラー３の回転に従わせ無端ベルト５を走行させる走行手段７と、無端ベルト５にスロット２５を近接させたダイ９と、ダイ９のスロット２５に塗布液３９を供給する供給手段１１と、ローラー３の軸方向にダイ９を移動させる移動手段１３とを備える。ダイ９のスロット２５に供給される塗布液３９が無端ベルト５に塗布される過程で、移動手段１３がダイ９をローラー３の軸方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】従来の描画装置では、コストを軽減することが困難である。
【解決手段】ワークに向けて液状体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対する前記ワークの相対位置を変位させる変位装置と、前記相対位置の変位方向に沿って並ぶ複数の目盛り７５が設けられたリニアスケール７１と、前記相対位置の変位にともなって目盛り７５を検出し、目盛り７５を検出するごとに検出信号を出力するエンコーダー７３と、リニアスケール７１の一端７８ａ側を支持するビス８２と、リニアスケール７１の他端７８ｂ側からリニアスケール７１に張力を付与する引張りばね８３と、リニアスケール７１から独立した状態で、ビス８２から距離Ｄを隔てた位置に設けられ、他端７８ｂ側において、複数の目盛り７５のうちの一部の目盛り７５をエンコーダー７３から隠す隠し部材９１と、を有する、ことを特徴とする描画装置。 （もっと読む）

【課題】速い塗布速度で膜の形成を行うことのできる成膜方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の成膜方法は、基板をステージに載置する工程と、前記ステージに対して一定の間隙を維持して配置され前記ステージに対して相対的に水平に移動可能でかつ表面に膜形成材料を含むインクが供給されるアプリケータと、前記基板との間に前記インクによるメニスカスを形成する工程と、前記メニスカスを形成した状態で前記基板と前記アプリケータとの間に電圧を印加する工程と、前記メニスカスが形成されかつ前記電圧が印加された状態で前記アプリケータを前記ステージに対して相対的に移動させて前記基板上に前記インクの膜を形成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】移動するノズルから吐出される処理液の流量の変動を抑えられる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置２０は、基板２００を略水平に保持する基板保持部３０と、基板２００に対して略平行な主走査方向に沿って延びる主走査機構ガイド部４２と、主走査機構ガイド部４２により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ４４と、を有する主走査機構４０と、スライダ４４により主走査方向に沿って移動可能に支持され、基板２００に塗布液を吐出する吐出部５０と、吐出部５０に接続されるとともに吐出部５０に塗布液を導く可撓性の塗布液配管８０ｂと、塗布液配管８０ｂの途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによるスライダ４４の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能なフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、ガラス基板１０に対して導電材料の液滴を吐出することによって導電膜を形成する。このフラットパネルディスプレイ用導電膜付ガラス基板の製造方法は、所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板１０を単一のシート状に配列するステップと、複数のガラス基板１０の配列状態に応じた所定パターンで導電材料の液滴を吐出するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板１０上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板１０が載置され、少なくとも１８０度回転可能な回転テーブル３２と、基板１０の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の基板周辺領域及び第２の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板１０の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部５０と、基板１０と樹脂膜形成ヘッド部５０を相対的に、第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構４５とを備えた。 （もっと読む）