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Fターム[4D075AE30]の内容

流動性材料の適用方法、塗布方法 (146,046) | 連続又は同時塗布 (4,401) | その他 (1)

Fターム[4D075AE30]に分類される特許

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【課題】段差によるパターンの描画不良を低減したパターン形成装置及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】制御装置50は、半導体チップの基準高さと実装高さとの段差ずれを示す段差ずれデータHDと、段差ずれと駆動信号の補正量とを関連づけた駆動信号補正データとに基づいて、半導体チップ毎に駆動信号を関連づけた波形補正データWRDを生成する。そして、実装高さが基準高さでないときには、その波形補正データWRDに基づいて駆動信号COMを補正する信号補正処理を実行し、その段差ずれに応じて液滴の容量を増減させて液滴を吐出する。 (もっと読む)


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