本発明は、幾つかの工程を含む単層化合物、又は多層化合物の製造方法に関し、ここで最初に、液体成分を用いるコーティングによって、一つ又は幾つかの層が搬送材料に適用され、次いで本多層化合物が乾燥され、そして乾燥された単層化合物、又は多層化合物が次いで巻き取られ、ここで最終工程において装置が洗浄される。コーティングされた多層化合物の乾燥中に、空気供給を新しくするために、乾燥オーブン（５）中の空気循環が全体に設定され、そして乾燥オーブンの内部チャンバーが、制御された状態で洗浄することができるように構築される。その結果、そこで製造される製品と接触することができる乾燥オーブン（５）の全ての部品が、ＧＭＰ適合洗浄の目的のために除去される必要がないが、洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】デジタル処理で適用することができる放射線硬化性インクおよび／または上塗り組成物を使用するときの画像の光沢を制御する改良された方法を提供する。
【解決手段】画像の光沢を制御する方法であって、着色した組成物または無色の組成物を、基材の１つ以上の部分に塗布することによって基材上に画像を形成する工程であって、着色した組成物または無色の組成物は、少なくとも１つのゲル化剤、少なくとも１つの硬化性モノマ、少なくとも１つの硬化性ワックスおよび任意選択の少なくとも１つの光開始剤を含み、着色した組成物または無色の組成物は、放射線への暴露によって硬化可能である工程と、着色した組成物または無色の組成物を塗布後に着色した組成物または無色の組成物に放射線を適用し、硬化中に画像の周囲の雰囲気中に存在する酸素の量を制御しながら硬化させる工程と、を含む方法である。 （もっと読む）

【課題】マイクロディスペンシングバルブによる噴霧化を用いた記憶媒体上への潤滑剤塗膜の蒸着装置および方法に関する。
【解決手段】チャンバと、数マイクロ秒未満の最小時間開くことができ、マイクロディスペンシングバルブが開くたびに１マイクロリットル以下の量の液体を定量分配できるマイクロディスペンシングバルブとを備える磁気記録媒体を製造するための処理装置。潤滑剤と、潤滑剤とは異なる溶媒とを含む液体が、マイクロディスペンシングバルブを通して定量分配される。 （もっと読む）

【課題】この発明は、塗装性に悪影響を及ぼすことなく、高い湿度を一定に保つことができ、さらに、塗料の歩留まりを向上することができる塗装方法に関する。
【解決手段】本発明の塗装方法は、被塗装物１が塗装空間２の搬入口３から該塗装空間２内に搬入され、平均粒径が１〜１５μｍのドライフォグＤを噴霧可能な加湿装置４で６５〜９５％に加湿された塗装空間２内で、主溶媒として水が使用され、水と略同等の粘度を有する塗料５を塗装手段６により霧化して前記被塗装物１が塗装され、前記被塗装物１が前記塗装空間２の搬出口７から該塗装空間２外に搬出されるものである。 （もっと読む）

【課題】液柱パイプの内面に付着した液滴による液位センサの誤検出を、有効に防止可能な機能液タンクの管理方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】機能液供給手段から供給された機能液を貯留し、機能液滴吐出ヘッド１３に送液するタンク本体と、タンク本体の上部・下部に連通した液柱パイプ７３の液位を介してタンク本体内の機能液の液位を検出する液位センサ７４ｃと、を備えている。そして、液位センサ７４ｃの検出結果に基づいて、所定の液位範囲を維持するように機能液供給手段を制御し、機能液滴吐出ヘッド１３の非吐出動作時において、機能液供給手段を駆動し、液位範囲を越えて機能液を過剰供給する液位上昇工程Ｓ１を実施し、その後、タンク本体から機能液を流出させ、タンク本体の液位を液位範囲に戻す液位下降工程Ｓ２を実施する。 （もっと読む）

【課題】分散液を用いて、低温プロセスで低抵抗な透明導電膜を製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】透明導電膜の製造方法は、導電性微粒子及び分散剤を含む分散液の膜を基板上に形成する第１工程と、少なくとも大気より低酸素雰囲気で前記膜に含まれる液体成分を低減する第２工程と、膜に紫外光を照射する第３工程と、少なくとも大気より低酸素雰囲気で前記膜を加熱する第４工程と、酸素雰囲気で前記膜を加熱する第５工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】スピンコート法により基材の表面に薄膜を形成する場合に、均一に成膜することができる治具、薄膜形成装置及び薄膜形成方法並びに当該薄膜形成方法により薄膜が形成された光学部材を提供することを目的とする。
【解決手段】表面２１ａの少なくとも一部に塗布液が塗布された基材２１を保持して回転する治具１０を用いて、表面に塗布液の薄膜２２を形成する場合において、治具は、基材の外周部２１ｂを当接させて保持するテーパ面１１を有し、該テーパ面は、外周部との間に、該外周部に到達した塗布液が通過可能な空隙Ｋを形成しており、表面が上側になるようにして外周部をテーパ面に当接させて、基材を治具に保持する基材保持工程と、表面に塗布液を塗布して、基材を保持した治具を回転させ、表面に薄膜を形成する薄膜形成工程と、を有し、薄膜形成工程で、外周部に到達した塗布液が、空隙を通過するようになっている。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、低コストで微細な形状にパターニングされた接合膜を形成することができる吐出液、かかる吐出液を用いた微細な形状にパターニングされた接合膜の形成方法、かかる接合膜の形成方法で形成された接合膜で接合する接合方法、および、かかる接合方法で接合された接合膜を備える接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の吐出液は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、エネルギーが付与されることにより表面付近に他の被着体との接着性を発現する、所定形状にパターニングされた接合膜３を得るのに用いられるものであり、液滴吐出法を用いて、当該吐出液を、前記所定形状に対応して基板（基材）２上に供給した後、乾燥・焼成することにより、前記所定形状にパターニングされた接合膜３を得るためのものであり、前記金属原子の金属錯体と、前記金属錯体を溶解または分散させるための溶媒または分散媒とを含有する （もっと読む）

特に、インク噴射用の本装置はある量のインクを含むための貯蔵器を含む貯蔵器システムを含む。前記インクは少なくとも２つの噴射組立部へ送出され、噴射組立部から基板上に噴射方向に噴射される。貯蔵器システムはインク噴射の方向に沿って、噴射組立部のうちの少なくとも２つに隣接して位置している。また、インク噴射用の方法であって、該方法はインク送出の方向に沿ってインクをある量のインクから少なくとも２つの噴射組立部まで送出することを含み、インクがインク噴射の方向で基板上に噴射され、該インク送出の方向が該インク噴射の方向に平行する方法も含む。
（もっと読む）

【課題】金属アルコキシドとポリジメチルシロキサンを含む原料から調製した塗布液を、スリットコーターを使用して金属箔基材に塗布して形成する絶縁膜の膜厚が、十分な絶縁性を確保できる膜厚であって、膜厚ムラがなく均一に成膜された絶縁膜被覆金属箔の製造方法を提供する。
【解決手段】金属アルコキシドとポリジメチルシロキサンを含む原料から調製した塗布液を、スリットコーターを使用して金属箔基材に塗布し、熱処理して絶縁膜を形成する絶縁膜被覆金属箔の製造方法であって、前記塗布液の粘度が３〜１５mPa・sで、前記塗布液の固形分含有量が２０〜６０質量％であり、前記熱処理の雰囲気が酸素を含有して水蒸気の含有量を０〜２ｍｏｌ％である絶縁膜被覆金属箔の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】簡単な工程で絶縁膜、半導体膜、導電膜等の膜パターンを有する基板を作製する方法を提供する。また、層間絶縁膜、平坦化膜、ゲート絶縁膜等の絶縁膜、配線、電極、端子等の導電膜、半導体膜等の半導体素子の各部位の膜を形成する方法を提供する。また、低コストで、スループットや歩留まりの高い半導体装置の作製方法を提供する。
【解決手段】ガリウムと亜鉛を含む液滴を吐出して、基板上に膜パターンを形成する。または、印刷法により、基板上にガリウムと亜鉛を含む材料を用いて膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】シール剤を配置したい部分に気泡を残存させずにシール剤を配置することにより、シール切れやシール不良等の発生を低減するとともにシール剤配置量を安定化する。
【解決手段】本発明のシール剤配置方法は、シール剤の配置の準備工程として、シリンジ３３内に収容したシール剤３２中の泡を除去する第１工程と、シール剤供給ユニット３８を減圧ポンプ４０に接続して、シリンジ３３内を所定の気圧に減圧する第２工程と、シール剤供給ユニット３８をセットした減圧容器３０の容器部３１内を所定の気圧に減圧した後、シリンジ３３内を所定の減圧気圧に保持した状態から大気開放した状態にしたときに生じる差圧によって、シリンジ３３に接続された配管３５内およびシール剤供給ノズル３６内にシール剤３２を収容する第３工程とを順次行った後、シール剤供給ユニット３８を取り出して、シール剤供給装置に装着して、シール剤３２を前記所定の部分に配置する。 （もっと読む）

電子デバイスの基体上に層を溶液コーティングするための装置および方法。スロットダイコーターが真空補助装置とともに、プライミングステーション、コーティングステーション、およびクリーニングステーションの中で使用されることで、競合技術よりも好都合な性能を有する薄層が製造される。
（もっと読む）

【課題】本発明の目的は、液状物に含まれる非常に微細な気泡の除去を効率よく行うことができる脱泡方法を提供することである。
【解決手段】本発明に係る脱泡方法は、気泡を含んだ液状物を脱泡する方法において、前記液状物を入れる減圧容器と、該減圧容器内の圧力を制御する減圧手段と、前記液状物を撹拌する撹拌機構と、を少なくとも備える脱泡装置を用い、（１）前記液状物を前記減圧容器内において減圧下で撹拌する工程と、（２）前記減圧容器内の圧力を大気圧に戻し、さらに撹拌する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】保持部材に保持され連続的に搬送される帯状の基材の上に、少なくとも１層の有機化合物層を形成する有機化合物層形成用塗布液を前計量型塗布方式の塗布装置を使用し非接触で塗布し、薄膜で膜厚の安定した塗布方法の提供。
【解決手段】少なくとも、スリットから連続して塗布液を吐出する前計量型の塗布装置と、乾燥装置とを使用し、保持部材に保持され連続的に搬送される帯状基材の上に、有機化合物層形成用塗布液を前記塗布装置を使用し非接触で塗布する塗布方法において、前記乾燥装置は少なくとも前記塗布の前から、前記保持部材に接触している前記帯状基材の乾燥を開始出来る様に配設され、前記保持部材は振動手段を有し、前記有機化合物層形成用塗布液の塗布は、前記振動手段により前記保持部材を振動させながら行い、且つ、前記乾燥は前記塗布の開始と同時に行うことを特徴とする有機化合物層形成用塗布液の塗布方法。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出された液滴によるドット群を、吐出直後に均一に乾燥させる。
【解決手段】基板３に対して、液滴を吐出するノズル列を有するインクジェットヘッド１を走査することにより、ドット群によるパターンを描画する。各ドットＤを吐出直後に気流によって乾燥させる乾燥手段２は、ドット群に対応するスリット列を有し、ドット群の着弾位置に応じて、各スリットからの吸引流速を変えることで、ドット群の中央部分と端部での乾燥速度のばらつきを抑制する。 （もっと読む）

【課題】微小量のコーティングにおいてノズル間のバラツキの影響を低減し、大面積基板などの塗布対象物に対してもバラツキなく微細なパターンを安定して塗布できる機能膜の製造方法および機能膜の製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の機能膜の製造方法は、機能膜材料を溶かした溶液をノズルヘッド１０のノズル孔１１から塗布対象物としての基板に吐出させて塗布する工程と、基板に塗布した溶液を乾燥させる工程とを有する機能膜の製造方法であって、ノズル孔１１に臨ませて配設された弾性を有する隔壁１５を、隔壁１５におけるノズル孔１１と反対側の面に臨ませて配設した圧力室１６に流体を導入して圧力を作用させ弾性変形させることで、ノズル孔１１からの吐出量を調整しながら塗布する。 （もっと読む）

【課題】周囲の環境を損なうことなく、レジスト膜の膜厚のばらつきが発生することを抑制するレジスト膜乾燥装置を提供する。
【解決手段】レジスト膜乾燥装置は、基板９に塗布された溶媒成分を含むレジスト膜１０を加熱する加熱プレート２を有している。また、レジスト膜乾燥装置は、レジスト膜１０の表面に近接するように、下面がレジスト膜１０の表面に対向する位置に配置された対流抑制板３と、対流抑制板３の下面の外周の外側上方に排気口５ａが形成された外装排気カバー５と、を有している。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドから液状体を吸引するキャップ装置において、固化した液状体の溶質が吸引経路や排出経路に付着することで、吸引特性や液状体の排出が損なわれることを抑制するヘッド保守装置、吐出装置、及びヘッド保守方法を提供する。
【解決手段】ヘッド保守装置は、吐出ノズルを封止する封止室を有するノズル封止手段と、吐出ノズルを封止した封止室の内部の気体又は液体を、封止室に連通する吸引管を介して吸引することで、吐出ノズルを介して吐出ヘッドから液状体を吸引する吸引手段と、封止室内の液状体が外部に流動可能な排液管を有する排出手段と、を備え、封止室は、封止室開口と、底面と、封止室開口の周囲に形成されて吐出ヘッドに当接する封止突起部と、有し、吐出ヘッドから吸引された液状体は、吐出ノズルから落下して底面上に滞留し、吸引管及び排液管は、重力加速度方向において、底面より封止突起部に近い位置で、封止室に開口している。 （もっと読む）

【課題】塗液を塗布してからエッジリンスを行うまでの時間を被処理基板の両主面において一定とすることができる両面塗布装置を提供する。
【解決手段】被処理基板２の厚み方向が水平方向となるように被処理基板２を保持する保持機構３ａと、被処理基板２を周回りに回転させる回転駆動機構と、被処理基板２の両主面２ａに同時に塗液を噴出する塗液用ノズルと、塗液の塗布された被処理基板２の両主面２ａの外縁部に付着した塗液を除去するエッジリンス手段４０とを備え、エッジリンス手段４０は、リンス液の収容された容器４１を備えたものであり、容器４１の上面からリンス液の液面が露出されており、回転している被処理基板２の外縁部がリンス液に浸漬される位置に、容器が移動自在に配置されている両面塗布装置１とする。 （もっと読む）