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Fターム[4D075BB56]の内容

流動性材料の適用方法、塗布方法 (146,046) | 処理方法 (13,909) | 雰囲気、加圧、減圧、真空 (941)

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【課題】フラッシングによりノズルから吐出される液体の堆積による印刷不良を防止することにある。
【解決手段】本発明に係る液体吐出装置は、液体を吐出するノズルを有するヘッドと、前記ヘッドがフラッシングを行うことにより前記ノズルから吐出された液体を受ける傾斜面を有する第一液体受け部と、前記傾斜面から落下した液体を受け止めて貯留する第二液体受け部と、を備える。これにより、フラッシングによりノズルから吐出された液体を垂れ流すことができるため、当該液体の堆積による印刷不良を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】ウェハ外周部でレジストが薄膜化するのを抑制しつつ、レジストの消費量を低減することが可能な薄膜塗布装置および薄膜塗布方法を提供する。
【解決手段】ウェハW上には、レジストRから気化した溶剤をウェハWの外周部で飽和状態にさせる気化遮蔽プレート5が設けられており、気化遮蔽プレート5とのウェハWと間隔は、レジストRから気化した溶剤がウェハWの外周部で略滞留し飽和状態を形成するように近接して設定する。 (もっと読む)


【課題】高分子流体を吐出するインクジェットプリンタにおいて、生産性を低下させないインクジェットヘッドの清浄化処理を実現することを目的とする。
【解決手段】流体吐出装置において、制御手段が圧力供給手段による吐出手段の清浄化処理実行中に、流体吐出手段による流体吐出処理を実行させることで、圧力を供給することによる流体の移動に流体吐出手段の流体吐出処理が加わることにより、圧力を供給するだけでは清浄化できなかった流体吐出手段の清浄化を実現することができる。 (もっと読む)


【課題】回路形成後にカール、ねじれ、反り等を生ずることが抑制され、しかも、耐熱性、寸法安定性、接着性に優れ、電気的特性等にも優れたフレキシブルプリント配線板用基板の簡便で経済性に優れた製造方法を提供する。
【解決手段】金属箔にポリイミド前駆体樹脂溶液を塗布して樹脂層が形成されたシート状基板を1次乾燥処理して樹脂層の固形分濃度を40〜70質量%とした後、シート状基板の少なくとも樹脂層側にセルロース系の紙もしくは不織布からなる通気性シートを接触させて伴巻きで円筒体に巻取り、通気性の多重層円筒体とした状態で200℃未満の温度で2次乾燥処理を行い、絶縁層中のポリイミド固形分濃度を80質量%以上とし、しかる後、上記通気性を有するシートを取り除いて、200〜400℃の範囲でシート状基板のポリイミド層を熱硬化処理する。 (もっと読む)


【課題】ハードコート層の平滑性を向上させながら、バリの発生を抑制する。
【解決手段】 ワーク表面2Sに、光硬化性樹脂組成物からなる塗剤を塗布するステップK1と、塗膜表面4Sにフィルム5を押し付けてフィルム張合せ体6を形成するステップK2と、フィルム張合せ体6に、高酸素濃度雰囲気Y中でピーク強度の低い第1の紫外線を照射して塗膜4を半硬化させるステップK3と、フィルム張合せ体6からフィルム5を剥がして取り外すステップK4と、ピーク強度の高い第2の紫外線を照射して塗膜4を本硬化させるステップK5とを具える。 (もっと読む)


【課題】回路構成体の接着剤注入領域への接着剤の注入を確実に行うことができるようにする。
【解決手段】接着剤注入領域50Aを有する回路構成体50が収納されたチャンバ10Aをパージして、回路構成体50から接着剤注入領域50Aに放出されたガスをチャンバ10Aから排出する。チャンバ10A内を減圧して、回路構成体50の接着剤注入領域50Aへの接着剤44aの注入を開始させる。 (もっと読む)


【課題】被描画媒体の温度が変化することによって、被描画媒体が伸縮することに起因して、着弾位置精度が損なわれることを抑制することができる描画装置、及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、被描画媒体を保持する保持手段と、液状体を吐出する吐出手段を備え、吐出手段から吐出された液状体を保持手段に保持された被描画媒体に着弾させることによって、液状体を被描画媒体に配置して、液状体からなる画像を描画する描画手段と、被描画媒体に配置された状態の液状体の硬化を促進させる硬化促進手段と、保持手段の温度を調整する温度調整手段と、温度測定手段と、温度測定手段の測定結果に基づいて、温度調整手段を制御する温度制御手段と、を備える。 (もっと読む)


【課題】基板周縁近くの領域でのレジスト膜等の膜厚を均一に維持することが可能な回転塗布方法を提供する。
【解決手段】基板に形成する膜の原料薬液を基板に滴下し、基板を回転することにより膜を形成する方法であって、基板回転保持部に保持される基板の周囲を囲むカップ部を第1のカップ排気量で排気しつつ、所定の回転速度で第1の基板に膜を形成し、カップ部を第2のカップ排気量で排気しつつ、所定の回転速度で第2の基板に膜を形成し、第1のカップ排気量、第1の基板に形成された膜の膜厚、第2のカップ排気量、および第2の基板に形成された膜の膜厚に基づいて、カップ排気量に対する膜の膜厚の変化率を取得し、取得した変化率に基づいてカップ排気量を決定し、決定したカップ排気量にてカップ部を排気しつつ、所定の回転速度で基板を回転することにより、膜を第3の基板上に形成する方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】間欠コーティング時のコーティング液の引きずり現象を防止できる真空チャンバシステム及びコーティング方法を提供する。
【解決手段】本発明は、間欠コーティング時のコーティング液の引きずり現象を防止することによって、コーティングの不良発生率が低減されて製品の品質を向上させることができるコーティング装置の真空チャンバシステム及びこれを用いたコーティング方法に関する。本発明に係るコーティング装置の真空チャンバシステムは、コーティング装置のコーティング液噴出口と連結された真空チャンバと、前記真空チャンバの一領域に連結され、負圧を発生させる負圧発生部と、前記真空チャンバと前記負圧発生部との間に設置されるバッファタンクとを含み、前記真空チャンバと前記バッファタンクとの間には制御部が更に設置され、前記制御部は前記真空チャンバ及び前記バッファタンクのそれぞれに選択的に外気を吸入又は遮断するように作動する。 (もっと読む)


【課題】処理雰囲気を適切に制御しつつ、金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切に形成する。
【解決手段】塗布処理装置の塗布ノズル70には、金属錯体と溶媒を供給する液供給装置71が接続されている。液供給装置71は、内部に金属錯体を貯留する金属供給源100と、内部に溶媒を貯留する溶媒供給源110と、金属供給源100と塗布ノズル70とを接続する金属供給管104と、溶媒供給源110と塗布ノズル70とを接続する溶媒供給管114と、内部に不活性ガスを貯留するガス供給源120と、ガス供給源120と金属供給管104とを接続する第1のガス供給管121と、ガス供給源120と溶媒供給管114とを接続する第2のガス供給管123と、を有している。塗布処理装置の内部を減圧する前に、液供給装置70から塗布ノズル70へ不活性ガスを供給する。 (もっと読む)


【課題】シート状部材の表面上への材料の塗布及び乾燥を効率よく行い、光学フィルム用基材及びフレキシブル基板の表面に高い生産効率で薄膜を形成できる薄膜塗布乾燥装置及び薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜塗布乾燥装置1は、筐体10の内部に、貯留部13内に貯留された液状又はペースト状の材料3の一部に進入して筐体10の内部を第1の空間16と第2の空間17とに区画する隔壁15を有する。搬送部(搬送ローラ14)は、シート状部材2を第1の空間16から貯留部13内の材料3中に浸漬させた後、第2の空間17にてシート状部材2を材料3から取り出すように、シート状部材2を搬送する。第1の空間16内及び第2の空間17内は、夫々第1及び第2の排気部材4により排気され、第2の空間17に取り出されたシート状部材2は、表面に付着した材料3が第2の空間17で乾燥される。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、極めて高いバリア性能をもち、かつ経時安定性に優れたバリア性フィルムを安価に製造するための製造方法を提供すること、およびその方法により製造されたガスバリア性フィルムを用いた、極めて耐久性の高い有機光電変換素子や有機EL素子の様な有機電子デバイスを提供することにある。
【解決手段】樹脂基板の少なくとも一面上に、ポリシラザン骨格を有するシリコン化合物層を設け、該シリコン化合物層を少なくとも波長200nm以下の真空紫外光を照射することにより改質して酸化ケイ素または酸窒化ケイ素からなるガスバリア性層を成膜するガスバリア性フィルムの製造方法に於いて、特定の式1を満足する条件でガスバリア性層を成膜することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。 (もっと読む)


【課題】インクジェット方式の技術を用いた傾斜機能材料の製造方法、装置を提供する。
【解決手段】 Cuナノ粒子を含むCuインクをインクジェットヘッド50Cuから吐出されるCuナノ粒子インクの量と、インクジェットヘッド50Auから吐出されるAuナノ粒子を含むAuインクの量との比率を決定し、決定された比率にしたがってヘッド50Cu、ヘッド50Auからインクを吐出させて1つの層を形成し、基材上に複数の層を積層して積層体を得る積層させ、最下層から最上層へ向かってCuインクの吐出量比率が減少するとともにAuインクの吐出量比率が増加し、かつ、Auインクに対するCuインクの相対的な吐出量比率が小さくなり、Cuインクに対するAuインクの相対的な吐出量比率が大きくなるように、Cuインクにおける各層間の吐出量、Auインクにおける各層間の吐出量、CuインクとAuインクとの各層間の相対的な吐出量比率を決定する。 (もっと読む)


【課題】 周縁部においても膜厚均一性の高い塗布膜の形成方法および塗布膜形成装置を提供すること。
【解決手段】 塗布液膜の周縁部の上方を覆うようなカバーを設けて、塗布液膜の周縁部において局所的に溶媒蒸気が滞留する空間を作り、この空間の大きさを乾燥中に制御させることによって、塗布液膜周縁部での蒸発速度を調節し、塗布液膜内の濃度分布を均一にすることで周縁部の膜厚不均一を抑制する。 (もっと読む)


【課題】カップリング剤の変質や、被処理物へのミストの付着を防止しつつ、被処理物に対して均一なカップリング剤の被膜を効率よく成膜可能な表面処理装置および表面処理方法を提供すること。
【解決手段】表面処理装置1は、被処理物9を収納し、密閉構造を備える処理容器2と、処理容器2内を減圧する減圧ポンプ(減圧手段)3と、処理容器2内にカップリング剤を含む液状原料を供給する原料供給機構(液状原料供給手段)4とを有している。そして、処理容器2内に被処理物9を収納し、処理容器2内を減圧した後、減圧状態で封じ切りを行う。次いで、原料供給機構4により、処理容器2内に液状原料8を供給する。これにより、供給された液状原料8は気化し、その気化物が処理容器2内に拡散することで、被処理物9の表面にカップリング剤の被膜が形成される。 (もっと読む)


【課題】作業の煩雑化を招くことなく、工数の増加やコストの上昇を抑制しつつ、良好な静電塗装を継続して行うことが可能な非導電性及び弱導電性被塗物の静電塗装方法の提供。
【解決手段】非導電性被塗物20の被塗面21に弱導電性を付与し、フリーイオンをフリーイオン除去電極で捕獲抑制、帯電させた塗料だけを被塗面21に塗布する。 (もっと読む)


【課題】低固形分量で高粘度な塗布組成物を用いて塗工を行った基板であっても、乾燥時に塗膜の白化を起こしにくい乾燥方法を提供する。
【解決手段】乾燥速度と溶解度に差がある2種類以上の溶媒であって、粘度が低い良溶媒と粘度が高い貧溶媒との組み合わせからなる塗布液の乾燥を行う際に、塗布工程では塗布液の粘度を重視するために高粘度溶媒を凝集する直前の濃度まで添加しておき、乾燥工程において溶媒の溶解性を重視するために、良溶媒を塗膜に供給することにより、乾燥工程時に発生する塗膜の白化を抑制する。 (もっと読む)


【課題】安定して高い疎水性を確保できる疎水化処理方法及び疎水化処理装置を提供すること。
【解決手段】 処理容器内にて、ウエハWに、HMDSガスを供給し、前記ウエハの表面に−O(CHよりなる疎水基を生成する疎水化処理において、前記疎水化を促進させる反応促進剤として水蒸気をウエハWに供給する工程と、前記処理容器内に搬入されたウエハWを加熱する工程と、加熱されたウエハWの表面に前記水蒸気が吸着している状態で、当該ウエハWの表面に前記HMDガスを供給する工程と、を実施する。前記水蒸気により、HMDS疎水化処理ガスのケイ素と、基板表面の酸素との反応が促進され、安定して高い疎水性が得られる。 (もっと読む)


【課題】複数の画面が面付けされて製造されるガラス基板上に塗布された塗布膜の溶媒を乾燥する減圧乾燥装置において、画面サイズ変更に伴う基板保持ピンの配置位置変更の作業負荷の低減と停止ロスを抑制できる省スペースな乾燥装置を提供する。
【解決手段】溶媒を含む塗布液が塗布されたガラス基板を乾燥する減圧乾燥装置であって、真空吸引可能なチャンバー内に前記ガラス基板を保持する複数の可動基板受けピンを有し、且つ、前記可動基板受けピンの各々のピン配置位置を所望する位置に自動で変更するピン位置自動変更機構を具備している。 (もっと読む)


【課題】プリント基板製造工程のハンドリング性向上及び歩留りアップによるコスト削減。
【解決手段】銅又は銅合金からなる矩形の箔Aを、接着強度5g/cm〜500g/cmである接着剤Bにより、前記矩形の箔Aの対向する2辺の端部で張り合わせた後、この接着した前記矩形の箔Aの両面に、プリプレグP及び銅箔Cを順に張り合わせて積層体Dとし、次にこの積層体Dの両面に、全面を覆う大きさのドライフィルムレジストFをラミネートし、ラミネート後にドライフィルムレジストFを露光・現像してパターンを形成し、さらにこのパターン部をエッチング及びめっきにより金属パターンGを形成した後、前記接着剤Bによる張り合わせた部分から剥離して、片面に金属パターンGが形成された2枚の積層板H。 (もっと読む)


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