【課題】薄膜形成材料の滞留による膜厚ばらつきを簡単に低減することができ、気流発生装置を不要とした簡単な構造の薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】被成膜体７を保持した状態で回転するホルダ２と、被成膜体７の被成膜面７ａに液状の薄膜形成材料９を供給する材料供給部８と、ホルダ２に立ち上がり状に設けられて被成膜体７の周囲に配置され、ホルダ２の回転と一体回転して被成膜体７の周囲に負圧を生じさせる複数の羽根体３とを備える。 （もっと読む）

【課題】電線の外表面に塗布された着色材の接着力を高めることができる着色電線の製造方法を提供する。
【解決手段】着色電線１０は、芯線２の外周に絶縁性の被覆部３が設けられた電線１の外表面に複数の凹み４による凹凸が形成され、続いてこの外表面に着色材５が塗布されて製造される。 （もっと読む）

【課題】触媒を担持した導電性多孔質構造体の表面に電解質樹脂を効率的に被覆することが可能な電極触媒層の製造方法を提供する。
【解決手段】圧力容器内１で超臨界流体を用いて、触媒を担持した導電性多孔質構造体３の表面に電解質樹脂を被覆させる、電極触媒層の製造方法であって、電解質樹脂を溶解した電解質樹脂溶解溶液及び触媒を担持した導電性多孔質構造体を前記圧力容器内１に配置する準備工程と、電解質樹脂及び臨界温度未満且つ臨界圧力以上の液体状態の溶媒を含む電解質樹脂溶液６に、触媒を担持した導電性多孔質構造体３を曝露する工程と、曝露工程後、導電性多孔質構造体を電解質樹脂溶液に曝露したまま前記溶媒の臨界温度以上に加熱する工程と、加熱工程後、超臨界状態の前記溶媒を状態変化させ、電解質樹脂を導電性多孔質構造体表面に析出させる工程と、を有する製造方法。 （もっと読む）

【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の厚さの均一性を向上する。
【解決手段】筐体１５０と、筐体１５０の内部に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構の基板２００上への成膜量を所定の範囲に収めるように調節する調節手段とを備える。調節手段は、複数の噴霧機構の各々の基板２００上への成膜量を調節する、または、基板２００上への成膜量に関して複数の群に分けられた複数の噴霧機構においてこの複数の群の各々に含まれる噴霧機構毎に基板２００上への成膜量を調節する。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】塗料詰まりを無くすこと。
【解決手段】塗料タンク２を加圧して塗装ガン４まで塗料を圧送して塗装を行い、塗装を終えると塗料の流路に洗浄液と圧縮気体を交互に流して洗浄することとした。
これにより、塗料の供給配管中にポンプを介在させないので、ポンプの塗料詰まりを防ぐことができる。その上、洗浄液だけの洗浄では沈殿物が配管内に残り、圧縮気体だけの洗浄では配管内の塗料が乾いて残る恐れがあるところ、洗浄液と圧縮気体を交互に流すことにより、配管内の沈殿物や乾いた付着物を十分に洗浄し、詰まりを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 ポリオレフィンバンパーに対し水性プライマーを塗装後にプレヒートすることなく次工程の上塗り塗装を行なっても混層せずに仕上り性や耐水性に優れた複層塗膜を形成し得る塗装方法を提供すること。
【解決手段】 塗装ブース入口のコンベア両脇と上部に遠赤外線ヒータを設置して、オレフィンバンパーが通過する際に、１５〜３５℃の塗装ブース温度に対して−３〜＋２０℃の表面温度となるよう加温されたポリオレフィンバンパー面に、変性ポリオレフィンの水性分散体（Ａ）、水性ウレタン樹脂（Ｂ）、水性アクリル樹脂（Ｃ）、ジエステル化合物（Ｄ）及び導電性顔料（Ｅ）を特定の配合割合で含有する水性プライマーを特定の膜厚で塗装し、プレヒートすることなくその塗面に溶剤型着色ベースコート塗料を塗装し、さらにその塗面に溶剤型クリヤーコート塗料を塗装して、これら３層塗膜を同時に焼き付けることからなる塗装方法。 （もっと読む）

【課題】走行するウェブに塗布液を塗布する際に厚塗り部を吸引ノズルで従来よりも効率的に吸引することができるので、吸引圧力を比較的小さくすることができ、走行するウェブがバタつく等の不具合がない。
【解決手段】走行する帯状のウェブ１８に塗布液を塗布する際に、塗布幅方向両端部に形成され、目標塗布膜厚ｄよりも厚い厚塗り部４３を吸引する吸引ノズル１５を備えた塗布装置１０において、吸引ノズル１５の塗布幅方向における吸引面幅Ｄｏ及び吸引口幅Ｄｉは、厚塗り部４３の塗布幅方向の幅をＷ及び高さをＨ、ウェブ１８と吸引面５４との間のクリアランスＬとしたときに、下記の式１及び式２を満足する。
Ｗ≦Ｄｏ…（式１）、Ｗ＊Ｈ／Ｌ≦Ｄｉ＜Ｄｏ−１ｍｍ…（式２） （もっと読む）

【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ省スペースにエネルギ線硬化樹脂層を形成し、硬化させることができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、チャンバ１０と、ステージ１５と、ガス供給部１３と、照射源１４とを具備する。ステージ１５は、チャンバ１０の内部に配置され、基板Ｗを支持するための支持面１５１ａを有する。ガス供給部１３は、チャンバ１０の内部に配置され、支持面１５１ａに向けてエネルギ線硬化樹脂を含む原料ガスを供給する。照射源１４は、チャンバ１０の内部に支持面１５１ａに対向して配置され、エネルギ線硬化樹脂を硬化させるためのエネルギ線を支持面１５１ａに向けて照射する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に含まれる溶媒を凝縮して塗布膜を乾燥させる際に、冷却板と塗布膜の膜面との間隔を均一にし、且つ、搬送風の乱れを少なくすることでムラの発生を抑制することのできる乾燥方法、乾燥装置及び凝縮液の回収方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る乾燥方法は、シート状基材４に形成された塗布膜４ａから蒸発した溶媒を冷却板１で凝縮することで塗布膜４ａを乾燥させる方法である。そして、本乾燥方法は、シート状基材４の搬送方向に沿って複数配置され、且つ、塗布膜４ａの膜面と平行になるように配置された冷却板１に塗布膜４ａから蒸発した溶媒を凝縮して凝縮液とし、その凝縮液を冷却板１間の隙間を塞ぐ多孔質体ブロック２に含浸させる工程を含むものである。なお、冷却板１のそれぞれは、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離が同じである。また、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離は、塗布膜４ａと多孔質体ブロック２との間の距離と同じである。 （もっと読む）

【課題】
液処理モジュール２に載置されたウエハＷに対して処理液ノズル１１から処理液を供給して液処理を行うにあたって、処理液の供給量を安定させ、これによりウエハＷの間における塗布の均一性を図ること。
【解決手段】
ノズル１１がノズルバス１５に待機しているときに一定量だけサックバックバルブ５２によりサックバックを行ってノズル１１の先端部のレジスト液の液面を引き上げる。ノズル１１を液処理モジュール２の上方に移動させた後、ノズル１１を支持するアーム１３に設けられたカメラ１６により、当該ノズル１１の先端部を撮像し、画像データを取得する。この画像データに基づいて、液面レベルを検出し、その検出結果に応じて液面レベルが予め設定した基準レベルになるようにサックバックバルブ５２を制御する。このためレジスト吐出前の液面レベルが一定化し、処理液の吐出量が一定化する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】放射線の照射による架橋法によって、耐摩耗性が顕著に向上し、基材との密着性にも優れた架橋フッ素樹脂層を有する架橋フッ素樹脂複合材料の製造方法を提供すること。
【解決手段】基材上にフッ素樹脂層を形成する工程１；フッ素樹脂層を焼成する工程２；未架橋フッ素樹脂層の温度を、フッ素樹脂の融点より６０℃低い温度から該融点より１℃低い温度までの範囲内の温度に調整する工程３；及び温度調整した未架橋フッ素樹脂層に、酸素濃度１，０００ｐｐｍ以下の雰囲気下、照射線量が５０〜２５０ｋＧｙの範囲内の放射線を照射して、未架橋フッ素樹脂を架橋する工程４；を含む架橋フッ素樹脂複合材料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】風ムラ状のスジやひも状のスジ、面荒れを防止することができる塗布膜付きフィルムの製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】連続走行する帯状支持体１１の表面に塗布液を塗布する、塗布位置と待機位置との間で進退移動させる進退移動機構を有する塗布ヘッド１４と、前記帯状支持体の塗布面裏側を支持するバックアップローラ１３と、からなる塗布装置と、塗布装置直後に設けられるケーシングからなる乾燥装置１６と、からなり、乾燥装置１６には、塗布ヘッド１４から乾燥装置１６までの間のウェブ１１の端面側とウェブ１１の塗布面裏側を覆うケーシングと一体の遮風部分２８と、塗布ヘッド１４から乾燥装置１６までの間のウェブ１１の塗布面側を少なくとも覆う可動式のカバー２４と、塗布ヘッド１４には、塗布ヘッド１４から乾燥装置１６までの間のウェブ１１の端面側を覆う塗布ヘッドに固定された遮風板２６と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】含フッ素シラン化合物系の膜の光学製品に対する形成にあって、ムラ発生が低減され、総じて美観に優れた光学製品とすることが可能となる防汚処理方法ないし装置を提供する。
【解決手段】光学製品の防汚処理方法において、光学製品の基材を、パーフルオロポリエーテル基を有するシラン化合物が含まれる防汚加工液に浸漬する防汚加工工程と、当該防汚加工工程を経た前記基材を、防汚膜と親和性の高い溶剤に浸漬する溶剤浸漬工程と、当該溶剤浸漬工程を経た前記基材上の前記防汚加工液を、室温より高温度で周辺湿度より高湿度である湿熱環境で硬化させ、前記防汚膜を形成する湿熱処理工程と、を備えさせる。 （もっと読む）

【課題】乾燥の速い水性プライマーを使用したとしても、塗装ブツを発生させることのない水性プライマーの吐出制御システムを提供する。
【解決手段】本発明は、水性プライマーを吐出するノズル１２及びノズル１２を開閉させるニードル１３が設けられたスプレーガン５と、スプレーガン５に水性プライマーを供給するポンプ４と、を備えた水性プライマーの吐出制御システム１であって、ニードル１３を引いてノズル１２を開放させた状態でポンプ４をＯＮ／ＯＦＦさせることにより、ノズル１２からの水性プライマーの吐出のＯＮ／ＯＦＦを制御することを特徴とする。 （もっと読む）