【課題】露光装置へのパーティクルの持ち込みを極力少なくすることができる塗布膜形成装置を提供すること。
【解決手段】レジスト膜の露光前に基板に対してレジスト膜等からなる塗布膜を形成する塗布膜形成装置は、基板Ｗに塗布処理等を行う処理部と、基板を処理部へ搬入する前に少なくとも基板の裏面およびエッジ部を洗浄する塗布前洗浄ユニットと、基板を処理部へ搬入する前に基板Ｗの裏面およびエッジ部の状態を検査する検査ユニットと、洗浄後、検査ユニットで基板の検査を行わせ、その検査結果に基づいて基板の裏面およびエッジ部におけるパーティクルの状態が許容範囲か否かを判断し、許容範囲であった場合に前記処理部への基板の搬入を許容し、許容範囲からはずれた場合に前記塗布前洗浄ユニットで基板の洗浄を行ってから処理部への基板の搬入を許容する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】加熱によってマザーシート４Ｍが常温（２６℃）時に比べてＹ矢印方向及び
反Ｙ矢印方向に沿ってずれた場合、各非描画領域Qa1〜Qa9のビットマップデータに、それ
ぞれそのずれ量に従って「０」（Ｌレベル）のビットマップデータを挿入するようにした
。また、Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に沿ってずれた場合、各非描画領域Qb1〜Qb9のビッ
トマップデータに、それぞれそのずれ量に従って「０」（Ｌレベル）のビットマップデー
タを挿入するようにした。そして、その補正されたビットマップデータに基づいて内部配
線の配線パターンを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下することなく塗布膜からの昇華物の発生を抑制し、ダストの発生による半導体装置の歩留りの低下を抑えることが可能な半導体製造装置および半導体製造方法を提供する。
【解決手段】塗布膜の形成された基板１を所定の温度でベーク処理するためのベークチャンバー２と、ベーク処理された基板１を冷却するための冷却チャンバー３と、ベーク処理された基板１を、ベークチャンバー２から冷却チャンバー３に搬送するための第１の搬送機構３１を備え、冷却チャンバー３は、冷却チャンバー３に搬送された基板１を、冷却チャンバー３内で搬送するための第２の搬送機構３５と、基板を、搬送方向に室温まで降温するための温度制御機構３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ、３４ｅ、３４ｆを備える。 （もっと読む）

【課題】加熱される液滴吐出ヘッドを冷却して液滴の吐出重量の安定性を向上させかつ精
度の高いパターンを短時間に形成するパターン形成方法、パターン形成装置及び回路基板
を提供する。
【解決手段】ステージ２３は、グリーンシート４Ｇを載置する載置台２３ｂと、その載置
台２３ｂの両側に冷却台２３ｃを有している。載置台２３ｂの下面には、ペルチェ素子Ｐ
Ｔがその発熱部ＰＴｂが載置台２３ｂの下面と向き合うように取着されている。ペルチェ
素子ＰＴの吸熱部ＰＴａは、熱伝導板２４を介して冷却台２３ｃの下面に連結固定されて
いる。ペルチェ素子ＰＴは発熱部ＰＴｂからの発熱によって載置台２３ｂを加熱し、加熱
された載置台２３ｂはグリーンシート４Ｇを所定の温度に加熱する、また、ペルチェ素子
ＰＴは、吸熱部ＰＴａの吸熱によって、熱伝導板２４を介して冷却台２３ｃをそれぞれ冷
却する。 （もっと読む）

【課題】基材フィルムを使用しないでハードコート層を形成でき、ハードコート付粘着フィルムの全体厚みの薄膜化が可能な上、ハードコート層中に透明性など光学特性を低下させる滑材などを含ませる必要がなく、生産性に優れたハードコート付粘着フィルムの製造方法およびハードコート付粘着フィルムを提供する。
【解決手段】離型性を有するセパレーター１５の一方の面上に、エネルギー線硬化により常温でのボールタック（ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じた傾斜式ボールタック測定方法、傾斜角度３０度）が１以上となる粘着剤層形成用の樹脂層Ａと、エネルギー線硬化により常温でのボールタックが、０となるハードコート層形成用の樹脂層Ｂを順に多層コーティングした後に、エネルギー線を照射して前記樹脂層Ａ、樹脂層Ｂとを同時に硬化させることにより、ハードコート層１２，１３の一方の面に粘着剤層１４が積層された粘着フィルムを一度に形成する。 （もっと読む）

【課題】
自動車車体外板等の各種工業製品に対して、深み感及び粒子感に優れ、虹色干渉を生じない塗膜を形成可能な塗膜を提供する。
【解決手段】
本発明は、基材上に黒色顔料を含んでなるベースコート塗料（Ａ）を塗装して得られたＬ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるＬ＊が３０以下であって且つ基材を隠蔽する塗膜上に、表面が金属又は金属酸化物で被覆されたガラスフレーク顔料を特定量含んでなる粒子感を発現するベースコート塗料（Ｂ）を塗装することを特徴とする複層塗膜形成方法に関するものである。 （もっと読む）

【課題】機能液の液滴で基板の表面に所望の膜パターンを形成できる膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】膜パターンの形成方法は、基板の表面に、膜パターンの設計データに応じた膜パターン形成領域を設定するとともに、膜パターン形成領域のエッジの内側に、液滴を吐出する第１位置を含む第１領域、及び液滴を吐出しない第２位置を含む第２領域のそれぞれを設定する工程と、膜パターン形成領域のエッジに沿って基板の表面に複数の液滴を吐出する工程と、第１位置に液滴を吐出して、基板の表面に膜パターンを形成する工程と、を含む。第１領域は、互いに離れて複数設定され、第２領域は、第１領域同士の間に、第１領域のそれぞれを囲むように設定される。 （もっと読む）

【課題】吐出量を精度良く制御できる吐出方法を提供すること。
【解決手段】液滴吐出ヘッドのノズルから、機能液を液滴にしてワークに吐出する吐出方法に係る。ノズルから液滴を予備吐出領域に吐出して、ノズルを加熱するステップＳ６の予備吐出工程と、ノズルから液滴を吐出量測定部に吐出するステップＳ８の計測用吐出工程と、吐出量測定部が、液滴吐出ヘッドから吐出された機能液の吐出量を計測するステップＳ７及びステップＳ９の計測工程と、ノズルから吐出する液滴の吐出量を調整するステップＳ１０の吐出量調整工程と、ノズルから液滴をワークに吐出するステップＳ１１の描画工程とを有し、ステップＳ６の予備吐出工程では、ステップＳ１１の描画工程におけるノズルの温度である描画ノズル温度と略同じノズル温度になるまで、液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】焼成前のマザーシート４Ｍの左上隅にマークを配置形成した。そして、マザ
ーシート４Ｍを高温（４６℃）に加熱されたときのマークを、カメラにて撮影するように
した。そして、高温（４６℃）に加熱されたときのマークの画像データと、常温（２６℃
）でのマークの画像データとを比較することによってマザーシート４Ｍの変形度合いを算
出し、その変形度合いに基づいて、高温（４６℃）時におけるグリーンシート４Ｇの変形
度合いを考慮したビットマップデータに補正した。そして、その補正されたビットマップ
データに基づいて内部配線６の配線パターンを形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱しながら基板上に形成されるパターンを目的の位置に精度良く形成す
ることが可能となるパターン形成方法及パターン形成装置を提供する。
【解決手段】ステージ２３を０．５μｍ毎にＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に沿って移動可
能とする。また、吐出タイミング信号を加熱によるマザーシート４Ｍの膨張度合いに基づ
いて補正するようにする。従って、ノズルからの液滴の着弾位置をマザーシート４Ｍの膨
張度合いに基づいて０．５μｍ毎に調整されるので、マザーシート４Ｍが膨張した場合で
あっても、液滴は区画領域の所望の位置に着弾させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上へ精度良く樹脂を塗布することが可能で、かつ、樹脂塗布のサイクルタイムを短縮することが可能な樹脂塗布装置を提供すること。
【解決手段】基板２が搬送される搬送路６と、基板２上へ樹脂を吐出するノズル部２４を有するシリンジ１７と、基板２の位置を検出するために基板２上の所定位置を撮影するカメラ１８と、ノズル部２４の清掃を行う清掃機構９とを備える樹脂塗布装置では、シリンジ１７は、基板２の搬送方向に略直交する前後方向で、カメラ１８よりも前側に配置され、清掃機構９は、搬送路６よりも前側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】加熱される液滴吐出ヘッドを、簡単な構成で冷却でき液滴の吐出重量の安定性を
向上させかつ精度の高いパターンを短時間に形成するパターン形成方法、パターン形成装
置及び回路基板を提供する。
【解決手段】前記基台２１の一側には、冷却機構４０が設けられている。冷却機構４０は
、ベース４１に対して冷却台４２が設けられている。冷却台４２の上面にはペルチェ素子
ＰＴが設けられている。ペルチェ素子ＰＴは、その冷却部が、上方に向くように冷却台４
２の上面に取着されている。ペルチェ素子ＰＴは、冷却台４２とともに上下動して吐出ヘ
ッド３０のノズルプレートに当接するようになっている。そして、ペルチェ素子ＰＴがノ
ズルプレートに当接することによって、吐出ヘッド３０を冷却する。 （もっと読む）

【課題】高速度でカーテン塗布方式にて塗布、乾燥して粘着剤層を形成することにより、優れた粘着性能を発揮し、しかも粘着シートからラベルへの打抜き加工適性にも優れた粘着シートや再剥離性の粘着シートを提供する。
【解決手段】表面基材、粘着剤層、剥離シートを積層して備える粘着シートであって、ＩＳＯ８７９１−４に準じてクランプ圧１０００ｋＰａ、ソフトタイプのバッキングディスクで測定したパーカープリントサーフ平滑度が２．０〜３．５μｍである剥離シート上に粘着剤塗液をカーテン塗布方式にて塗布、乾燥して粘着剤層を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置構成の自由度が高く、複雑な制御をすることなく液体材料を適正量供給することができる液体材料の充填方法および装置の提供。
【解決手段】基板とその上に保持されたワークとの間隙に毛細管現象を利用して吐出部から吐出した液体材料を充填する方法において、ワークの縁部に吐出部から液体材料を供給する供給工程と、前記供給工程で供給された液体材料が毛細管現象により染み出すことが想定される領域のワークの縁部の画像を撮像手段により撮像する撮像工程と、撮像された画像に基づきワークの縁部における液体材料の存否を検出して基板とワークとの間隙の全域に液体材料が充填されたかを判定する判定工程と、判定不良とされた場合に、前記ワークの縁部に吐出部から液体材料を供給する補充工程とを有すること特徴とする液体材料の充填方法およびその装置。 （もっと読む）

【課題】石膏ボードの原紙として、板紙の表面に印刷絵柄を施し、その上から、耐磨耗性及び耐テープ剥離性などの表面物性を有する程度の厚みのクリヤー層を形成してなる石膏ボード用原紙を使用した場合であっても、石膏ボードの製造時における乾燥時間を短くすることができる生産効率が良い石膏ボードの製造方法を提供すること。
【解決手段】２枚の石膏ボード用原紙の間に焼石膏スラリーを挟み込み、所定形状に成形し、硬化した後、乾燥させる石膏ボードの製造方法において、上記石膏ボード用原紙の少なくとも１枚が、板紙の表面に印刷絵柄層とクリヤー層とがこの記載の順序により積層されてなり、且つ、上記クリヤー層が、特定の多孔質皮膜形成水分散型組成物から形成されていることを特徴とする石膏ボードの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 浮上搬送中に被処理基板の前端部や後端部がばたつかないようにして基板の浮上高さを正確安定に制御し、塗布膜の膜厚品質を向上させること。
【解決手段】 基板搬送部８４は、基板Ｇを気体圧力の力で空中に浮かせる浮上式ステージ８０の両側に平行に配置された一対のガイドレール１００Ｌ，１００Ｒと、これらのガイドレール上で搬送方向（Ｘ方向）に移動可能に取り付けられた一対のスライダ１０２Ｌ，１０２Ｒと、両ガイドレール１００Ｌ，１００Ｒ上で両スライダスライダ１０２Ｌ，１０２を同時または平行に直進移動させる搬送駆動部と、基板Ｇの四隅を着脱可能に保持するために両スライダ１０２Ｌ，１０２に搭載されている保持部１０６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出法による配線パターン形成方法において、配線パターンの端部あるいは折れ曲がり部におけるマイグレーションの発生を抑止することにより、デンドライトの発生を抑止し、配線間の短絡を抑止する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１と基板１０１とを所定方向に相対的に移動させ、前記液滴吐出ヘッド１に形成された複数の吐出ノズルから、前記基板１０１に対して液状材料を液滴として吐出し、前記基板１０１上に所定の配線パターンを形成する方法において、前記配線パターンの端部を先細り形状にして、または折れ曲がり部を曲線状にして前記配線パターンを形成する工程を有することを特徴とする配線パターン形成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】塗膜外観（発色性）のバラツキが少なく、安定した意匠性を有する積層塗膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】中塗り塗膜を有する被塗物に、メタリックベース塗膜、マイカベース塗膜およびカラークリヤー塗膜を順次形成する積層塗膜の形成方法であって；メタリックベース塗膜が呈する色相、マイカベース塗膜が呈する色相およびカラークリヤー塗膜が呈する色相が、マンセル表色系の色相環の色配置において、同系色または少なくとも隣り合った色相であり；マイカベース塗膜は、メタリックベース塗膜およびマイカベース塗膜からなる塗膜の１５°Ｌ＊値が、メタリックベース塗膜の１５°Ｌ＊値に対して変動幅が−１８〜−３０％になるように塗膜形成された塗膜であり；メタリックベース塗膜、マイカベース塗膜およびカラークリヤー塗膜からなる積層塗膜の１５°Ｌ＊値は、２０〜６０である、積層塗膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】 顔料を多く含む非常に厳しい加工を受け耐レトルト性も要求されるアルミニウム製キャップ塗膜の加工後塗膜密着性を高める。
【解決手段】 厚さ２００ｎｍ以下かつ表面のＣ量が５０ｍｇ／ｍ^２以下かつ最表面から酸化皮膜／アルミ界面までの深さ方向での最大濃度がＭｇ：５ｍａｓｓ％以下、Ｈ：１０ｍａｓｓ％以下のＡｌおよびＯを主成分とする酸化皮膜の上に、重量平均分子量１０００につき１個以上のカルボキシル基を含有するアクリル酸化合物の重合体を５ｍｇ／ｍ^２以上５０００ｍｇ／ｍ^２以下の付着量にて設け、その上に重量平均分子量５００につき１個以上のカルボキシル基を含有し、かつ重量平均分子量が１０００以上１００万以下であるアクリル酸化合物の重合体を５ｍｇ／ｍ^２以上５０００ｍｇ／ｍ^２以下の付着量にて設けた下地上に乾燥重量に対し５ｍａｓｓ％以上の顔料を含有する塗膜を設ける。
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【課題】比重の違う混合材料の混合比を一定に保つことができる、塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】この塗布装置１は、比重の違う混合材料を収納するシリンジ２を備え、また、シリンジ２の内部に収納された混合材料の混合比を一定に保つための混合比調整部材としての、攪拌羽３および攪拌軸４からなる攪拌器と沈降抑制弁とを備える。攪拌器の攪拌効果によって、混合材料のうち比重のより大きい材料が沈降することを抑止できる。また他の混合比調整部材としての、冷却部材７を備える。粘性材料を含む混合材料を用いるときには、冷却部材７が混合材料を冷却させることにより粘性材料の粘度を高めることができるので、混合材料のうち比重のより大きい材料が沈降することを抑止できる。したがって、比重の違う混合材料の混合比を一定に保つことができる。 （もっと読む）