【課題】 乾燥ムラやひけ等の発生を防止して基板上に均一な膜厚の塗布膜を形成することができるスリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】 基板１を保持する保持テーブル２０と保持テーブル２０に保持された基板１の表面に相対向するように配置されると共に基板１の表面に向かって所定の塗布溶液２を流出するスリット状のノズル開口３１を有する塗布ヘッド３０とを具備し、保持テーブル２０と塗布ヘッド３０とが水平方向で相対的に移動することで基板１の表面に塗布溶液２が塗布されると共に、塗布溶液２が塗布された基板１の表面に向かって乾燥気体を噴射する噴射手段５０をさらに具備するようにし、噴射手段５０から噴射された乾燥気体によって基板１表面の塗布溶液２を乾燥させ、且つ塗布溶液２を乾燥させた気体を強制排気する。 （もっと読む）

【課題】 薄手の基材に対するヤラレを防止して、薄手の基材であっても安定した薄膜形成を可能とする。
【解決手段】 この薄膜形成装置には、互いの放電面が対向されて放電空間を形成するように配置された一対の電極と、基材を支持する支持体とが備えられている。また、薄膜形成装置には、基材が放電空間内で一対の電極のうち、少なくとも一方の電極に沿うように、支持体を電極に密着させて保持する保持機構と、薄膜形成ガスを含有するガスが高周波電界によって活性化されるように前記放電空間に前記ガスを供給し、活性化された前記ガスで前記基材を晒すことで基材の表面上に薄膜を形成するためのガス供給部とが備えられている。そして、基材及び支持体は、再剥離性を有する粘着剤によって密着している。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出法を用いた薄膜形成工程において、基板をステージに吸着して乾燥処理を行なう場合に生じる乾燥むらの発生を防止する。
【解決手段】 本発明のステージ装置は、基板１１上に配置された液滴を乾燥する際に基板１１を吸着保持するために用いられるステージ装置である。本発明のステージ装置は、基板１１を吸着するための吸着穴４ａが形成された載置台４を備え、吸着穴４ａが基板１１の薄膜形成領域Ｆ以外の領域に配置されている。 （もっと読む）

【課題】
透明性と導電性を兼ね備えたＩＴＯ透明伝導膜を、塗布法、特にインクジェット印刷法により形成するのに適した透明伝導膜形成用塗布液を提供する。
【解決手段】
透明伝導膜形成用塗布液を、ＡｃＡｃＩｎ、錫化合物、セルロース誘導体、アルキルフェノ−ル及び／又はアルケニルフェノール、二塩基酸エステル及び／又は酢酸ベンジル、ジエチレングリコール誘導体を含み、ＡｃＡｃＩｎと錫化合物との合計含有量を１〜３０重量％、セルロース誘導体の含有量を５重量％以下の組成とすることで、インクジェット印刷に適した低粘性の透明伝導膜形成用塗布液を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板に塗布された塗布液の乾燥を基板の塗布された領域内で均一にすることを可能にして、塗布物のムラを防止するとともに、乾燥後の塗布物の形状を効果的に均一にすることのできる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】 溶質と溶媒とを含む塗布液を基板上の所定領域に塗布して溶媒を揮発させ、溶質の固化物を前記基板上に形成するにあたり、前記基板上の所定領域への塗布を終えるまで、前記基板上の塗布された領域近傍の雰囲気を、前記溶媒の揮発を抑制する雰囲気に保持する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板処理が均一に行われる基板処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板処理装置と基板処理方法に関する。本発明による基板処理装置は基板（１００）の板面に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板を移送する移送装置（３０）と、前記基板を前記基板の移送方向と交差する方向で交互的に傾けて移送するように前記移送装置を制御する制御部を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期熱安定性に優れ、低温で塗膜形成可能な防曇塗料及びこれを塗布、乾燥して得られる防曇性成形品を提供する。
【解決手段】 （Ｉ）ポリアルキレングリコール構造を有し、そのオキシアルキレン基くり返し数（鎖長）の平均値が３以上である重合反応性単量体の１種以上、アニオン性重合反応性単量体の１種以上、Ｎ−アルキル（メタ）アクリルアミド単量体の１種以上及び前記三者と共重合可能な単量体の１種以上が重合した重合物と、
（II）全固形分中総量０．５〜５重量％の、アルキルアミン類及び有機金属類の１種以上及び／又は（III）全固形分中総量１〜５重量％の、濡れ性向上剤、粘度調整剤、ｐＨ調整剤、紫外線吸収剤、光安定剤、熱安定剤、可塑剤、防腐剤及び防カビ剤の１種以上とを含有する防曇塗料。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、反射防止膜の塗布膜厚のばらつきが生じることなく反射防止膜材料を塗布することができる反射防止膜の形成方法及びその方法を実施に適用される塗膜形成装置を提供するものである。
【解決手段】 本発明の反射防止膜の形成方法は、基板の段差を有する表面に反射防止膜を形成する反射防止膜の形成方法であって、前記基板の表面上に反射防止膜材料を滴下し、前記基板の回転による遠心力と前記基板表面に垂直な力とによって、前記反射防止膜材料を塗布して反射防止膜を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板上に塗布された金属微粒子塗布層に対して、低温加熱焼結を施して金属微粒子焼結体層を形成する際、利用される加熱処理温度を少なくとも２００℃を超えない範囲として、良好な導電性を示す金属微粒子焼結体を簡便に、高い再現性で作製可能な方法の提供。
【解決手段】 塗布層中に含まれる、表面被覆分子層を備えた金属微粒子から、表面の被覆分子を除去した後、金属微粒子を低温加熱焼結する際、塗布層表面からエネルギー線を照射した後、１５０℃以下の低温で加熱処理を施すことにより、表面の被覆分子の除去を促進し、金属微粒子の焼結自体もかかる低温加熱で速やかに進行し、良好な導電性を示す金属微粒子焼結体が形成される。 （もっと読む）

【課題】 水蒸気透過性を有するウレタン防水膜を、１０ｍｍ以上の膜厚で広い施工面積の被施工物表面の全面にわたり確実に均一な膜厚となるように調整して能率的に形成することができる建築物における防水膜施工方法を提供する。
【解決手段】 主剤３とその硬化剤４とを噴出機２１内で予め混合した混合液２２を、圧縮エアの流れに乗せて噴出機２１から噴出させて被施工物表面２３に吹き付け、所定厚みＤの防水膜下地層５１を形成し、透湿性と所定の厚みＤ２を有するたマット状の膜厚設定部材５２を被施工物表面２３上に複数枚載置し、隣接する各２枚の膜厚設定部材５２の間隙に、積層高さが膜厚設定部材５２の厚みＤ２とほぼ同じになるまで混合液２２を吹き付け、膜厚設定部材５２を埋め込む状態に積層した混合液２２の硬化により防水膜下地層５１と一体化したウレタン防水膜５７を形成する。 （もっと読む）

本発明は、研磨組成物及び工場前加工表面カバーの研磨方法であり、この研磨組成物は、効果量の耐摩耗性粒子、レオロジー変性剤、及び溶媒を含む。本発明は、木質床表面及び工場の前加工木質床表面の研磨方法、及び研磨組成物を使用する工場前加工木質床の再仕上げ方法にさらに関する。 （もっと読む）

【課題】 微細な薄膜パターンを精度良く安定して形成できる薄膜パターンの形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜パターンの形成方法は、基板Ｐ上に機能性材料の薄膜パターンを形成する方法であって、基板Ｐ上に受容層材料を含む受容層用インク３２ａ（第１の機能液）を配して受容層パターン３２を形成する受容層形成工程と、前記受容層パターン３２に対し導電性微粒子等を含む導電層用インク（第２の機能液）を配して導電層パターン３３を形成する機能層形成工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】 この発明は給液管を大径化させずに、複数のノズルヘッドに溶液をほぼ均等に供給できる溶液の塗布装置を提供することにある。
【解決手段】 溶液を貯えた給液タンク１２と、この給液タンクに一端が接続され給液タンクに貯えられた溶液が供給される給液管１３と、この給液管にそれぞれ給液バルブ１５を介して並列に接続された複数のノズルヘッド７と、各ノズルヘッドが排液バルブ２１を介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管２３と、上記基板に溶液を塗布するときに上記供給タンクから上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブ２４と、この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブ２６とを具備する。 （もっと読む）

基体、及び該基体の表面にコートした疎水性膜を有する処理物品。この膜は、シリコーン油と溶剤との混合物又は反応生成物を含む疎水性表面処理組成物から得られる。シリコーン油は、アルキルシラン、又はヒドロキシルと縮合反応可能な官能基を有するポリシロキサンである。疎水性表面処理組成物は、外部硬化剤を実質的に含まない。疎水性表面処理組成物は、補助溶剤又は触媒を含有してよい。処理物品の作製法も開示する。
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本発明の対象は、「光沢」または「超光沢」質のアルミニウム合金製帯を利用すること、前記帯の陽極処理およびシーリング段階、そしてポリエステルおよびポリウレタンの混合物から成る透明ワニスを陽極処理済み帯に塗る段階から成る、臨時のキャリアから昇華可能な装飾を転写するための、アルミニウム合金製帯の連続式製造方法にある。陽極処理およびシーリングは、好ましくは１４０〜２００ｎｍの間の厚みのバリヤタイプの密な酸化物層を形成するために、欧州特許第０７４５７０３号明細書の対象となっているＨＥＬＩＡ（登録商標）方法により置換可能である。本発明は同様に、昇華による転写に応用するためにかくして調製されたアルミニウム合金製帯、ならびに臨時のキャリアからの前記転写後の加飾帯または加飾シートをもその対象としている。 （もっと読む）

【課題】
基板上に形成した塗布膜の上方から送風し、塗布膜の中心部から外周部へ気流を制御することにより、乾燥後における膜の平坦性を高め、乾燥時間を短縮する乾燥方法を提供する。
【解決手段】
ステージ１３の上に積載された基板１２に塗布された液体材料の塗布膜１１を、前記塗布膜１１の上面側から送風し、前記塗布膜１１の中心部から外周部へと気流を制御することにより、前記塗布膜１１表面の溶媒蒸気を取り払い、前記塗布膜１１全体の乾燥速度のばらつきを抑える。 （もっと読む）

【課題】欠陥を含まない品質の良いレジストパターンをウエーハに形成する。
【解決手段】液体供給源からパーティクルろ過装置９を経て供給される薬液３を吐出ノズル６より吐出してウェーハの表面に吐出する。このパーティクルろ過装置９と吐出ノズル６との間の管路に、薬液３中に含まれる気泡やパーティクルなどの粒子状物質の量を測定する微粒子測定装置１３を介装する。さらに、配管の開閉を行う電磁制御弁１０の制御電圧値および微粒子測定装置１３の測定値を常時収集するデータ収集ユニット１５と、微粒子測定装置１３の測定結果の演算を行う演算装置１６とを設ける。演算装置１６では、ウェハ１枚あたりに塗布される薬液中に含まれる粒子状物質の数を算出し、その粒子状物質の数を規格値と比較することにより、薄膜塗布装置を停止するか否かの判定を行う。 （もっと読む）

【課題】断熱性壁の屋外側表面に形成された有機系塗料の旧塗膜に適した改装方法を提供する。
【解決手段】熱貫流率５．０Ｗ／（ｍ^２・Ｋ）以下の断熱性壁の屋外側に形成された有機系旧塗膜面に対し、ガラス転移温度−２０〜８０℃、ｐＨ４．０以上１０．０以下の合成樹脂エマルション（Ａ）、及び粒子径１〜２００ｎｍ、ｐＨ５．０以上８．５未満の中性シリカゾル（Ｂ）を必須成分とし、前記合成樹脂エマルション（Ａ）の固形分１００重量部に対し、前記中性シリカゾル（Ｂ）を固形分換算にて０．１〜５０重量部含み、赤外線反射率２０％以上、水蒸気透過度４０ｇ／ｍ^２・２４ｈ以上の塗膜を形成する水性塗料を塗付する。 （もっと読む）

【課題】 １５０度以上の超撥水性と無色透明性を兼ね備え、しかも表面硬度に優れる硬化塗膜の形成が可能な組成物、およびそのような特性を有する成形物、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 １分子中に２個以下のラジカル重合性不飽和二重結合を有する化合物および／または重合性不飽和二重結合を含まない樹脂を、組成物（塗膜形成成分）１００質量部中に３５質量部以下の割合で含有する、全光線透過率が９０％以上、ヘイズ値が１％以下、および水に対する接触角が１５０度以上の硬化物を形成しうる組成物。 （もっと読む）

【課題】
薄い樹脂膜であっても耐久性等の性能と外観品質を同時に満足し得る樹脂膜形成方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
金属ワークの表面に樹脂を塗布し、この樹脂を誘導加熱により加熱溶融させると共に冷却することにより硬化させて樹脂膜を形成する樹脂膜形成方法であって、誘導加熱時に、第１加熱温度まで加熱して当該加熱温度に対応した温度に予め設定した時間保持した後に、第１加熱温度より高い第２加熱温度まで加熱する。また、前記第１加熱温度に対応した温度に保持した後に、第１加熱温度より高く第２加熱温度より低い温度以上に予め設定した時間保持する。 （もっと読む）