【課題】塗布膜を形成する方法において、基板外周部の塗布膜の膜厚を制御し、基板の有効領域を拡大することが可能な塗布膜形成方法を提供する。
【解決手段】実施形態の塗布膜形成方法は、基板を回転させる工程（Ｓ１０２）と、回転する基板上に塗布膜形成用の薬液を供給する工程（Ｓ１０４）と、回転する基板上に前記薬液を供給して成膜を行いながら、前記基板の雰囲気温度よりも低い温度の液体を前記基板の裏面側から前記基板の端部に供給する工程（Ｓ１０６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で均一な塗布が可能な薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】塗布対象物１００を吸着保持する吸着テーブル９と、吸着テーブル９に吸着保持された塗布対象物１００の表面にインクジェット式ノズルから塗布材を吐出しながら薄膜形成を行う複数の塗布ヘッド４と、塗布ヘッド４を塗布対象物１００の上方位置で移動させるガントリ３と、を備える薄膜形成装置１であって、ガントリ３に、塗布対象物１００の表面を加熱する熱源装置３１を更に備える。 （もっと読む）

【課題】メニスカスに負担を掛けずに増粘液体を空吐出する。
【解決手段】加圧液室と、前記加圧液室に連通するノズルと、前記加圧液室に圧力を発生させる電気機械変換素子を有する液体吐出ヘッドに、複数の駆動パルスから成る空吐出駆動波形を印加して空吐出動作を行う液体吐出ヘッドの制御方法であって、前記駆動パルスの駆動パルス間隔Ｐ１〜Ｐ５を前記加圧液室の固有振動周期の整数倍にして、前記駆動パルス間隔Ｐ１〜Ｐ５が長い順に所定数連続した駆動パルスで空吐出駆動波形を生成する工程と、生成した駆動波形を前記電気機械変換素子に印加する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】乾燥処理を必要とすることなく、処理時間や処理スペースの短縮化および設備の廃止や簡略化、設備費の低減を図ることのできる被塗布板表面への塗布剤の塗布方法および装置を提供する。
【解決手段】被塗布板の表面に弾性的に押し付けるように塗布部材を保持するホルダー部材と、上記塗布部材に対して上流側に間隔を空けて提部材を設置するとともに、該提部材の上記塗布部材側に傾斜面を設けて、該傾斜面上に塗布剤を供給落下せしめ、該傾斜面および上記塗布部材を調温可能に加熱して、供給された塗布剤の流動性を保ちながら、上記塗布部材により被塗布板の表面に塗布剤をならい加圧して塗布することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜成膜方法および光学素子の製造方法において、被成膜体の外縁部における薄膜形成材料の滞留による膜厚ばらつきを容易に低減することができるようにする。
【解決手段】被成膜体１０上の凸面部１０ａに液状の薄膜形成材料９を供給し、被成膜体１０を回転することにより凸面部１０ａ、コバ平坦面１０ｂ上で薄膜形成材料９を塗り拡げて成膜する薄膜成膜方法であって、被成膜体１０を回転する前に、薄膜形成材料９をコバ平坦面１０ｂの外縁部から、より外方に案内する塗布案内面１０ｃを設けておく方法とする。 （もっと読む）

【課題】圧電・焦電性膜の形成方法及び形成装置を提供する。
【解決手段】圧電・焦電性膜１９を形成する為の電界コーティング及び電界分極において、被コーティング物１８をプラス極に保ち、コーティング噴霧機４先端の電極針７にマイナス１ｋＶ〜９０ｋＶの高電圧を印加して被コーティング物１８とコーティング噴霧機４との間に電界を形成する。次にコーティング噴霧機４の不活性気体噴出ノズル８から不活性気体を被コーティング物１８に向けて噴出し、同時にコーティング噴霧機４の誘電性溶液噴出ノズル６より誘電性物質を溶媒に溶解した溶液を噴射し、この誘電性溶液の液滴に電荷を与え、噴霧機４の電極針７を被コーティング物１８に対向し、移動しながら微粒化噴霧を行う事により被コーティング物１８上に前駆分極膜を形成する。その後、電界を形成し、前駆分極膜をさらに分極させて被コーティング物１８上に圧電・焦電性膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板が汚れるのを抑えること。
【解決手段】基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された前記基板の第一面に噴霧状の液状体を吐出するノズルと、前記基板保持部に保持された前記基板の外周に前記第一面とは反対の第二面又は前記基板の端部へ向けて気体を噴出する気体噴出部と、前記基板保持部に保持された前記基板に対して前記ノズルから前記液状体が吐出されている状態で、前記気体噴出部に前記気体を噴出させる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】モールドを使用せずとも確実に微細なモスアイ構造を形成可能な、モスアイフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材フィルム上にモスアイ層用塗液を塗布する塗布工程と、モスアイ層用塗液を乾燥して、モスアイ構造を形成するモスアイ層形成工程と、モスアイ層を活性エネルギー線の照射により硬化させるモスアイ層硬化工程とを有する。モスアイ層は、活性エネルギー線硬化型樹脂を６０〜９７ｗｔ％、ポリマー成分を１〜３５ｗｔ％、光重合開始剤を１〜１０ｗｔ％含み、且つ活性エネルギー線硬化型樹脂とポリマー成分と光重合開始剤との和が９９〜１００ｗｔ％である。モスアイ層形成工程では、モスアイ層用塗液に対して波長２〜２０μｍのいずれかの波長を含む遠赤外を輻射して乾燥することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＵＶジェルインクを用いた画像形成方法において、ＵＶジェルインクが様々な種類の基質の上で優れた位置決め特性を示すため方法を提供する。
【解決手段】ＵＶ硬化型ジェルインク拡散させる方法及びシステムは、インクにリフローを開始させるドラム温度を設定する工程と、プリントヘッド１０５を用いてＵＶジェルインクを基質１１２に吹き付ける工程と、リフロードラム１０７を用いて基質１１２の裏面に熱を与えてリフローを起こす工程と、硬化画像を作成するためのＵＶ発光源１４５を用いてＵＶジェルインクの画像１１０を硬化させる工程とを含む。インラインセンサを用いて障害及び線広がりのうちの少なくとも一方を測定して、障害及び／又は線広がりを最適化するためにドラム温度、ＵＶ発光源１４５の位置、及び／又はプリント処理速度を変更するかどうかを決定することができる。 （もっと読む）

【課題】下地塗膜の乾燥状態に影響されないインクジェット塗膜を有するとともに、高耐候性能である建築板、及びその塗装方法を提供する。
【解決手段】無機質板の表面に、下地塗膜、インクジェット塗膜、クリアー塗膜が順次形成されており、該インクジェット塗膜は紫外線硬化型インクの硬化物であり、該クリアー塗膜は光安定剤及び／又は紫外線吸収剤を０．１〜１０．０質量％含有する建築板。及び、無機質板の表面に下地塗装を行う工程と、下地塗装が施された無機質板の表面に、紫外線硬化型インクを塗布し、紫外線を照射して該紫外線硬化型インクを硬化するインクジェット塗装を行う工程と、インクジェット塗装が施された無機質板の表面に、光安定剤及び／又は紫外線吸収剤を０．１〜１０．０質量％含有するクリアー塗料を塗布するクリアー塗装を行う工程とからなる建築板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】紙などの基板上に粘性のゲルインクを形成、そのインクの水平化方法を提供する。
【解決手段】相変化ゲルインクの水平化方法を開示する。特に、方法は、超音波照射４０を用いて、相変化ゲルインク３０を非接触的手法で水平化させ、インク薄膜６０を形成する。前記相変化ゲルインクは、室温ではゲル状の稠度であり、基板３５に吐出するための高温時には粘度の低い液体であることを特徴としているインクである。これら独特のインク特性であるために、ゲルインクを水平化するには、超音波の照射時間や超音波の照射強度の最適化条件を把握して、その条件でインクジェット方法で吐出された相変化ゲルインクを水平化することにより、インク薄膜６０を形成した。 （もっと読む）

【課題】鋭利な端部形状を有するウェハーの面に、その端部に面取り加工などの追加加工を施さないで、ウェハーの最外周部までレジストの未塗布部や極めて薄い部分を発生させることなくレジストを塗布することができる、スピンコート法によるレジスト塗布方法を提供する。
【解決手段】通常のレジスト塗布のための回転ステップに続けて、その回転数および回転時間として、回転停止時のウェハー最外周部のレジスト厚を所望値以上に維持できる遠心力を最外周部レジストに発生させるための回転数および回転停止時のウェハー最外周部のレジスト厚を所望値以上に維持できる最外周部レジストの乾燥状態を得るための回転時間であり且つ紐状レジスト汚染を発生させない回転数および回転時間を有する回転ステップを備えている。 （もっと読む）

【課題】部材間に過不足なく液状樹脂を行き渡らせることができる接合部材の製造方法及び接合部材製造装置を提供すること。
【解決手段】接合部材製造装置１は、塗布面Ｄｆに液状樹脂Ｇを塗布する液状樹脂塗布装置２１と、第１の部材Ｄを保持する第１の保持具１１と、第２の部材Ｐを保持する第２の保持具３１と、液状樹脂Ｇに増粘処理を施す増粘手段４１と、制御装置６０とを備える。制御装置６０の制御により、第１の部材Ｄ、液状樹脂Ｇ、第２の部材Ｐを鉛直方向に配列し、塗布面Ｄｆと接合面Ｐｆとに挟まれた液状樹脂Ｇに対して弾性変形する粘度に部分的に増粘処理を施し、その後に液状樹脂Ｇの上方にある部材Ｄを保持している保持具１１の保持を開放して部材Ｄの自重を液状樹脂Ｇに加えることで、部分的な増粘処理が行われた液状樹脂Ｇを弾性変形させて増粘処理されていない液状樹脂Ｇを両部材Ｄ、Ｐが重なる範囲の全面に過不足なく行き渡らせることができる。 （もっと読む）

【課題】脂肪酸を含有する水溶性加工油を用いて加工が施された亜鉛系めっき鋼材、典型的には亜鉛系めっき鋼板から製造された電縫鋼管、を塗装する場合に見られる塗装後耐食性と塗膜密着性の劣化を防止する。
【解決手段】塗装前に、ｐＨ９.５〜１０.５のアルカリ性液による洗浄と水洗および／またはｐＨ６.０以下の酸性液による洗浄と水洗を実施して、亜鉛系めっき被膜の表層部を除去する処理を行う。この処理により、鋼材のめっき被膜のＳｉＯ₂基準板換算で６０ｎｍ深さまでの表層部に存在するＺｎ、ＣおよびＯが、［Ｏ／Ｚｎ積算平均原子比］≧１.１５×[Ｃ／Ｚｎ積算平均原子比]または［Ｏ／Ｚｎ積算平均原子比］≦０.４０×[Ｃ／Ｚｎ積算平均原子比]を満たす。 （もっと読む）

【課題】所期の特性を有する塗布膜を形成することができる加熱装置、塗布装置及び加熱方法を提供すること。
【解決手段】塗布膜を有する基板が配置される基板位置を前記塗布膜の膜厚方向に挟む第一加熱部及び第二加熱部と、前記基板位置と前記第一加熱部との第一距離、及び、前記基板位置と前記第二加熱部との第二距離、のうち少なくとも一方を調整する距離調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】液体に対し金属膜の表面の濡れ性を改質し、金属表面と液体との接触角を増加させて液体の濡れ広がりを抑制し、信頼性の高い機能膜を低コストで実現すること。
【解決手段】基材１の平板面１ａに金属膜２を形成する（金属膜形成工程）。次いで、金属膜２の表面２ａに機能材料を含有する液体３を付与し、液体３を固化させて機能膜３Ａを形成する（機能膜形成工程）。金属膜形成工程では、平板面１ａに対する成膜入射角αが５°以上１５°以下となる条件で平板面１ａに金属を真空蒸着し、金属膜２を平板面１ａに対して２０°以上４５°以下に傾斜する柱状結晶構造に形成する。 （もっと読む）

【課題】無機系基材に対して十分な付着性を示す水系塗料を提供すること。
【解決手段】（Ｉ）アルコキシシリル基含有合成樹脂エマルション、（ＩＩ）アルコキシシリル基の加水分解・縮合を促進する物質、および（ＩＩＩ）オルガノシリケートおよび／またはその変性物を含有する硬化性組成物を無機系基材へ塗布する塗装方法。
前記硬化性組成物にはさらに（ＩＶ）分子中に反応性官能基と親水性基を有する水溶性および／または水分散性硬化剤、（Ｖ）二級アミノ基含有アルコキシシラン化合物、ケトイミノ基含有アルコキシシラン化合物、一級アミノ基含有アルコキシシラン化合物とエポキシ基含有化合物との反応物の中から選ばれる１または複数の化合物を加えても良い。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の浮上量の変動を抑制することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】第一気体供給経路及び第一吸引経路のうち少なくとも一方の経路の一部分には大気開放が可能な大気開放部が設けられているので、噴出される気体の流量及び吸引される気体の流量のうち少なくとも一方の変化を緩和することが可能となる。これにより、基板の浮上量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に溶液を均一に塗布することができる塗布装置、ならびに塗布対象物への溶液の塗布によって均一な薄膜を形成することができる薄膜製造方法を実現する。
【解決手段】吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物の上に塗布されて、塗布対象物の上に皮膜が形成される。この皮膜が形成される工程において、吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布される前または吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布され始める際に帯電によって吐出部に蓄積されている電気量が低減される。 （もっと読む）