【課題】 光ディスクなどの被塗工表面に対し、良好で安定な密着性と耐擦傷性とを示し、透明性にも優れた保護膜を形成可能な非溶剤型の光硬化型樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 ウレタン（メタ）アクリレートオリゴマー、３官能の（メタ）アクリル酸エステルモノマー、光重合開始剤および希釈用モノマーとを含有する非溶剤型光硬化型樹脂組成物において、希釈用モノマーとして、分子内に４つ以上のフッ素原子を有するフッ素系（メタ）アクリル酸エステルモノマー１０〜４０重量％と、１又は２官能の（メタ）アクリル酸エステルモノマー１０〜３０重量％とを使用する。 （もっと読む）

【課題】 所定の処理液を基板に供給して液処理するにあたり、例えば液の揺らぎの有無に基づいて処理液の状態を検出して基板にとって最適な状態の処理液を供給すること
【解決手段】 基板保持部であるスピンチャック２に保持した基板例えばウエハＷの表面に処理液例えば塗布成膜用の塗布液を供給するための塗布液ノズル３に、この塗布液を供給する処理液供給路３１内を通流する処理液に揺らぎが有るか否かを揺らぎ検出手段４により検出する構成とする。この場合、処理液に揺らぎがあるか否かを検出することにより、例えば処理液供給路３１内に介在する処理液の液状態を高い正確性をもって見極めることができる。従って、揺らぎのない処理液を基板に供給するようにすれば、結果として基板にとって最適な状態の処理液を供給することができ、良好な液処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】外周縁部が平坦な塗膜を製造コストを高騰させることなく形成し得る塗膜形成装置を提供する。
【解決手段】基材１１の一面側に樹脂材料Ｒを展延する展延部と、樹脂材料Ｒを硬化させる硬化処理部と、制御部とを備えて基材１１の一面側に塗膜を形成可能に構成され、基材１１における一面の外周縁部に向けてプレス用部材８２を押圧させるプレス部３５を備え、制御部は、展延部に対して樹脂材料Ｒを展延させた後に、硬化処理部に対して樹脂材料Ｒを半硬化させ、次いで、プレス部３５に対して基材１１の外周縁部に向けてプレス用部材８２を押圧させて外周縁部上における半硬化状態の樹脂材料Ｒをプレスするプレス処理を実行させる。 （もっと読む）

【課題】気泡の発生を防止し得る塗膜形成方法を提供する。
【解決手段】一方の面における中央部位１４ａが突出形成された基材１４の一方の面に塗膜をスピンコートする際に、中央部位１４ａの外縁側に形成された円環状の段差部１４ｃの外周側から段差部１４ｃの内周側に亘る円環領域内に外周側から塗液Ｒを滴下した後に、基材１４を高速回転させて滴下した塗液Ｒを一方の面の全域に展延して塗膜を形成する。この塗膜形成方法により、塗液による空気の巻き込みを抑制することができる結果、塗膜内での気泡の発生が防止される。 （もっと読む）

【課題】 ウェハに対するレジスト液の吐出流量を安定させる。
【解決手段】 ガス圧駆動式でダイヤフラム形の圧送ポンプ２２のガス管路４１には，電空レギュレータ４３が設けられる。電空レギュレータ４３と圧送ポンプ２２との間には，ダイヤフラム形のアキュームレータ４４が設けられる。第３の開閉バルブ２６が開放され，レジスト液吐出ノズル７からレジスト液が吐出されると，圧送ポンプ２２の給気室３１内の急激な圧力変動がアキュームレータ４４により緩和され，短時間で収束する。これにより，給気室３１の圧力によって貯留室３０から圧送されるレジスト液の流量も短時間で安定する。この結果，レジスト液吐出ノズル７から吐出されるレジスト液の吐出流量が安定する。 （もっと読む）

【課題】処理溶液の圧力を測定するための圧力センサを含むスピンコーティングシステム、特にその装置を提供する。
【解決手段】基板上に処理溶液をスピンコーティング処理するのに有効な方法及び装置を開示する。この方法及び装置は、処理溶液の圧力、即ち、分配器から処理溶液の開始または終了に関係した圧力を検出するための圧力センサ218を含む。好ましい方法及び装置は、分配ライン215におけるフォトレジスト、現像液、水、溶媒、または洗浄剤の圧力を測定する。また、この方法及び装置は、割り込み動作を含むパラレル制御方法を含む処理制御システムを包含する。
（もっと読む）

【課題】
基材上にディジタル処理画像を形成するための、速くて信頼性があり且つ安価な方法及び組成物を提供する。
【解決手段】
着色剤溶液を用いて基材上に画像を形成するための方法及び組成物を開示する。基材上に画像を形成する方法は、反応性着色剤と放射線吸収剤とを含んで成る着色剤溶液を基材に適用するステップを含む。基材を染色するための組成物は、放射線吸収剤と、放射線への曝露時に色を生成し得る反応性着色剤とを含む。当該着色剤溶液を利用するシステムもまた開示する。 （もっと読む）

本発明は、下端面の中心部にテーパーを有する突出部または溝を備えるキャップと、その中心部に、光ディスクの中心孔に挿まれる中心軸を備え、中心軸の末端部には、テーパー状の溝または突出部を備え、中心軸の溝または突出部は、キャップの突出部または溝と凹凸構造に噛み合うようになっている回転用のターンテーブルと、を備え、ターンテーブルの光ディスクの支持台上には、光ディスクを固定するための真空穴が形成されていることを特徴とする光ディスクスピンコーティング用の装置を提供する。これにより、キャップの装着時に、キャップの位置が光ディスクの中央に正確に合わなくても装着が容易であり、真空を利用することによりキャップの脱着が容易であるため、作業性が著しく改善され、光ディスクの製造工程の効率を向上させうる。
（もっと読む）

このディスクの製造方法は、ディスク基板Ｄを回転させながら皮膜材料ｗを塗布し、それを乾燥させることにより皮膜Ｗをディスク基板Ｄ上に形成する工程と、前記回転中の前記皮膜Ｗの乾燥領域と未乾燥領域との境界の移動を検出する工程と、乾燥後の前記皮膜Ｗの膜厚分布を計測する工程と、前記検出された境界の移動と前記膜厚分布との関係に基づき、前記ディスク基板Ｄの回転数を制御する工程とを具備する。 （もっと読む）

基板処理装置は、基板保持機構（１４）の回転速度に応じて変化する保持力で基板（Ｗ）を保持する基板保持機構（１４）と、基板保持機構（１４）を回転させて基板保持機構（１４）により保持された基板（Ｗ）を回転させる基板回転機構（２２）と、基板保持機構（１４）により保持された基板（Ｗ）の任意の位置に処理液を供給する処理液供給機構（１２，１５，１９）とを備えている。
（もっと読む）

【課題】レンズの曲面の少なくとも１部分を偏光液でコーティングする方法を提供する。
【解決手段】１つの方法は、曲面とレンズ軸を有するレンズを準備する工程と、偏光液が前記曲面の少なくとも１部分の上に流れるように、回転軸を中心として前記レンズを回転させる工程とを備え、前記回転軸は前記レンズ軸からオフセットされている。他の方法も記載されている。装置には、上述の方法のいずれかに従って形成された偏光コーティングを有する眼科用レンズが含まれる。 （もっと読む）

深い溝の付いた基板を対象としたフォトレジストのスプレーコーティング方法である。本発明の１つの実施形によれば、基板表面は４０〜５０度の水接触角を有した下塗り剤で下塗りされる。スプレーノズルは、基板を直径方向に横切る形で、速度を変化させながら移動することで、全体が実質的に同じ厚みのコーティングを実現する。フォトレジストを基板表面にスプレーコーティングする際の角度は、深くエッチングされた窪みや穴の被覆を実現できるような角度とする。フォトレジストを特定の希釈率で溶剤に溶かすことにより、引っ込みを避けつつ、深くエッチングされた窪みや穴の中にもフォトレジストを均一に吹き付けられる、という粘性範囲を実現する。
（もっと読む）

本発明はメモリ用組成物に関し、同組成物と、２つの電極とからなるメモリセルに関する。さらに本発明は、微細電子部品の製造方法及び微細電子部品の製造における本発明の組成物の使用に関する。 （もっと読む）

マイクロエレクトロニックデバイスのような硬化性塗膜基板を効率的で高速に接触平坦化するための改良した装置（２０）および方法を提供し非常に高度な平坦化を達成する。装置（２０）は好ましくは光学的に平面である柔軟シート（８８）および支援の光学的平面体（８２）を持つ平坦化ユニット（２８）、および硬化アセンブリ（３０）を含む。操作においては、平坦化塗膜（７６）を持つ基板（７８）を真空チャンバー（２６）内のシート（８８）および平面体（８２）の下に置く。シート（８８）を隔てて圧力差を設けることによりシートをたわませ塗膜（７６）の中央領域Ｃと接触させ、それからすぐ塗膜（７６）はサポート（１１４）および真空チャック（１２０）を用いてシート（８８）および平面体（８２）と全平坦化接触させ、この時点で塗膜（７６）はアセンブリ（３０）を用いて硬化される。硬化後、シート（８８）を隔てて圧力差をつくり出し、シートを塗膜の周辺部Ｐから、そしてシート（８８）および塗膜（７６）を全面的に逐次分離する。 （もっと読む）

【課題】 均一な膜厚の塗膜を各基材に対して連続かつ安定して形成し得る回転塗布装置を提供する。
【解決手段】 回転塗布によって回転中心の近傍または外周寄りの所定位置に塗液が滴下された基材を回転させることにより塗液を基材に塗布可能に構成された回転部と、回転部の回転数を回転開始時から所定回転数まで漸増制御する制御部とを備えた回転塗布装置であって、制御部は、回転開始時を起点とする時間軸上において予め設定された複数の基準時間毎における回転数が所定の固定回転数に達するように回転部を制御し、かつ入力した補正用データに基づいて基準時間を伸縮制御する（ステップ３４，３６，３８）。 （もっと読む）

【課題】 浸漬方式を採用して優れた耐擦傷性を示すハードコート膜を効率よく形成しうる厚膜化可能なコーティング方法及び厚膜のハードコート付きプラスチックレンズを提供すること。
【解決手段】 浸漬方式によるハードコート膜の形成にあたり、ハードコート液への浸漬時間を４０〜８０秒とすることを特徴とする厚膜化可能なコーティング方法及びこの方法で形成された膜厚３．０μｍ以上のハードコート膜を有することを特徴とするハードコート付きプラスチックレンズ。 （もっと読む）

【課題】 従来の気相法によるプラスチックレンズの着色方法に比べて、レンズの均染性およびレンズの染色速度に優れるプラスチックレンズの着色方法を提供する。
【解決手段】 着色剤吐出手段あるいはスプレー方式、刷毛塗り方式または浸漬方式により、昇華性染料を含む着色剤を吐出または塗布して、昇華性染料を含む着色剤を、着色しようとするレンズ箇所の形状と同一形状以上の大きさに形成し、かつ着色しようとするレンズ箇所の形状に対応する着色層全体に加熱用部材を接触させ、該着色層を加熱することにより、昇華性染料を昇華させて、プラスチックレンズを着色する。 （もっと読む）