【課題】シーム溶接等の作業を高真空環境にて処理するための高真空環境維持方法が構築されておらず 近年の新たなる各種部品製造方法 断熱機能として高真空環境における処理方法の必要性を生じている。
今後に於いて、 空気中環境では、発火現象を来す場合 高真空の環境に設定後 発火防止するガスを導入して発火現象を起こさない部品生産へも有効でないかと考えられる。
【解決の手段】高真空室１と大気側２の隔壁構造において 高真空と大気側の中間に低真空室５エリアを設け 各シール部の真空差を小さくして 真空差を段階的調整可能とする隔壁構造とした。 （もっと読む）

【課題】ロードロック室内の塵等の異物を除去すると同時に気体の断熱膨張による温度低下を防止することができる真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空排気装置は、試料上に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム装置と、荷電粒子ビームに照射される試料を保持する真空排気された試料室と、試料を保管する大気圧下にある試料保管室と、試料室及び試料保管室に接続可能な試料ロードロック室と、を有する荷電粒子ビーム装置において、試料ロードロック室に設けられる。真空排気装置は、一方の側から試料ロードロック室内を真空排気する真空排気ポンプと、他方の側から試料ロードロック室内に気体をリークさせる気体リーク装置と、該気体を加熱又は冷却する温度調節装置と、を有する。 （もっと読む）

【課題】
製造コストの上昇を抑制しつつ溶接室内の空気の排出作業を迅速的且つ効率的に行わせ、サイクルタイムを削減することができる電子ビーム溶接装置を提供する。
【解決手段】
ワークＷを密閉状態にて収容しつつ当該ワークＷの所定部位に対して電子ビーム溶接が可能な溶接室１と、該溶接室１内の空気を外部に排出可能な真空ポンプ２と、予め所定気圧まで低下されるとともに溶接室１と連通されることにより溶接室１との間の圧力差が等しくなる真空中和を生じさせて当該溶接室１内の空気を導入し得る予備室４とを具備した電子ビーム溶接装置において、真空ポンプ３により所定時間溶接室１内の空気を外部に排出して目標圧近傍まで気圧を低下させた後、予備室４と溶接室１とを連通させて真空中和させるものである。 （もっと読む）