【課題】金属要素同士の目開きを好適に防止しつつ、タブ板の設置作業を簡略に行うことができる接合用治具を提供することを課題とする。
【解決手段】金属要素Ｗ１，Ｗ２同士の突合部ＴＷの端部にタブ板７０を配置して熱加工による接合をする際に使用される接合用治具であって、タブ板７０を支持する支持部１３を有するとともに、当該支持部１３に支持されたタブ板７０を金属要素Ｗ１，Ｗ２へ向けて押圧する押圧手段３０を備え、さらに、金属要素Ｗ１，Ｗ２の端部を突合部ＴＷへ向けて押圧保持する保持手段４０を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 接合対象物の接合面積が増加したときにも接合状態が不均一にならないようにした接合方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 減圧された真空チャンバ１内に配設されたステージ５上に保持された第１及び第２の各ウエハ（接合対象物）１１，１２に対し、接合ヘッド４により所定圧力で加圧を加え、面接触した接合面間に直流電圧を印加するのに併せてＸ軸超音波振動子２及び／又はＺ軸超音波振動子３から超音波振動を印加する。 （もっと読む）