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Fターム[4E068CA05]の内容

レーザ加工 (34,456) | 制御目的 (6,558) | ビーム伝送 (481)

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【課題】一方ではフレキシブルなビーム成形を可能にし、他方では光伝送路を外的な影響に基づく損傷から十分に保護するビームプロファイル調整装置を提供する。
【解決手段】光伝送ケーブル2の、保護被覆7a,7bが設けられた光伝送路1内を案内されているレーザビームのビームプロファイル調整装置20であって、光伝送ケーブル2の、保護被覆により包囲されていない区分9において光伝送路1を変形させる変形装置6と、少なくとも保護被覆により包囲されていない区分9において光伝送路1を包囲するように形成されているハウジング14と、ハウジング14の互いに対向して位置する端部に設けられ、保護被覆の区分7a,7bの一端をそれぞれ固定する2つの収容部4a,4bと、を備え、収容部4a,4bは、光伝送路1を変形装置6に引き込むそれぞれ1つの開口5a,5bを有するようにした。 (もっと読む)


【課題】レーザ耐力が異なる欠陥を1台で修正可能なリペア装置、およびリペア方法を提供する。
【解決手段】本発明の位置決め装置は、載置ステージと、対象物を撮像する撮像部と、差画像データにより欠陥を抽出する第1欠陥抽出部と、レーザ照射範囲を設定するレーザ形状制御部と、レーザ光を照射する光源と、前記レーザ形状制御部が設定した照射範囲にレーザ光を照射する第1光学系と、差画像データと輝度情報により、欠陥を抽出する第2欠陥抽出部と、前記第2欠陥抽出部が抽出した欠陥の一部にスポット照射する第2光学系と、前記光源から照射されたレーザ光の光路を、前記第1光学系と前記第2光学系とに切り替える切替部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】レーザ発振器とビームエキスパンダとの間の面倒な位置調整を伴わずに、レーザ発振器の部品交換を行うことができるレーザ加工装置を提供することができるレーザ加工装置及びレーザ加工システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源ユニット24は、レーザ発振器26の光出射口側の端面に、ビームエキスパンダ27が位置調整された状態で一体に組み付けられることにより構成されている。ガルバノスキャナ36を収容するケーシング33には、ビームエキスパンダ27と相対する箇所に開口33aが設けられている。レーザ光源ユニット24とスキャナユニット25は、ビームエキスパンダ27が開口33aを介してケーシング33内に挿入された状態で、パッキン50を介して接合される。つまり、レーザ光源ユニット24はスキャナユニット25に対してビームエキスパンダ27をケーシングに挿入可能な状態で着脱可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】往路の照射エリアと復路の照射エリアとを合致させる。
【解決手段】シャッター機構(2)が照射オン指令信号を受け取ってから照射オン状態になるまでのオン遷移時間をt1とするとき、照射オフ状態で基板(B)をx方向に移動し、x方向位置検出手段(11)で検出した基板(B)のx方向位置に基づいて、照射エリアの照射開始端にレーザビーム(L)が到達すると推定される時刻よりもt1時間だけ前に照射オン指令信号を出力する。
【効果】シャッター手段によりレーザ照射のオン/オフを行うレーザアニール装置であって、往復走査によりレーザ照射を行う場合でも、往路の照射エリアと復路の照射エリアとを合致させることが出来る。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の伝送用の光ファイバのコアの断面積を小さくする。
【解決手段】レーザ発振器111から出射されたレーザ光は、光ファイバ115により強度分布がほぼ均一になるように整形される。光ファイバ115から出射されたレーザ光は、集光レンズ119により集光されて、光ファイバ120に入射される。光ファイバ120に入射されたレーザ光は、コリメータレンズ121乃至fθレンズ126からなる加工光学系に伝送される。本発明は、例えば、レーザ加工装置に適用できる。 (もっと読む)


【課題】光ファイバを用いた伝送システムでは、光ファイバの曲げ、捻り、加重などにより、光ファイバ出口からのレーザ開口率が変化してしまう。
【解決手段】レーザ光を伝送するレーザ光伝送装置であって、入射端にレーザ光が入射し出射端からレーザ光が出射される光ファイバと、レーザ光の光源と光ファイバの入射端を光学的に接続し、入射端に前記レーザ光を入射する入射光学系と、入射光学系から入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させる入射角度調整手段と、を備え、入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させることで出射端から出射されるレーザ光の開口率を制御する。 (もっと読む)


【課題】ワークピースの薄膜の一部を除去加工するためにレーザー光を用いるドライエッチング方式により、ワークピースに短時間で微細パターンを形成できるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】薄膜となっている導電膜の一部をレーザー光12により除去加工することでワークピース9に形成される加工パターンは、微細パターンである。レーザー発振器1とワークピース9との間に可変マスク5が配置され、マスク5は、レーザー光をワークピース9へ選択的に到達、不到達させるために作動する多数のセルを備え、これらのセルが制御装置11で個別的制御されることで、レーザー光をワークピース9に到達させるセルパターンが形成され、制御装置11で制御されるワークピース移動装置10によるワークピース9の移動と、制御装置11によるセルパターンの変更とにより、ワークピース9に微細パターンが形成される。 (もっと読む)


【課題】被加工物の位置におけるレーザビームの拡がり角を容易に調整できるレーザ加工装置及びレーザビーム調整方法を得ることを目的とする。
【解決手段】レーザ加工装置10は、レーザ出射部22Aから伝送ファイバー14によって伝送されたレーザビームが出射され、コリメートレンズ24A及び集光レンズ26Aによって、レーザ出射部22Aから出射されたレーザビームが被加工物20へ集光される。そして、レーザ加工装置10は、コリメートレンズ24Aで散乱し、レーザビームの散乱強度が基準範囲内でない場合に、レーザ出射部22A及びコリメートレンズ24Aの少なくとも一方を光軸線方向へ移動させることによって、被加工物20の位置におけるレーザビームの拡がり角を調整する。 (もっと読む)


【課題】レーザ切断加工機の柔軟性及び機能性を高め、加工レーザの輝度及び出力を切り替えることを可能とし、切断速度に応じて、ファイバレーザ切断加工機を使用する素材厚さの範囲及び応用範囲を広げ、生産性の向上も目指す。
【解決手段】レーザエンジン(1)と、レーザエンジン(1)が発振したレーザ光を分配するビーム分配手段(5)と、ビーム分配手段(5)により選択されてレーザ光が入射される一群のプロセスファイバと(4)を備え、ビーム分配手段(5)により選択されたプロセスファイバ(4)を経たレーザ光を加工ヘッドに入射させる。 (もっと読む)


【課題】コリメーションレンズ装置におけるコリメーションレンズの冷却を行うことのできるレーザ加工ヘッドを提供する。
【解決手段】レーザ加工ヘッドハウジング9に取付けたコリメーションハウジング21に、光ファイバー7の出射端側を接続する出射端側支持部材23を備えると共に、当該コリメーションハウジング21に装着したモータM1によって軸方向へ位置調節可能な移動パイプ部材25を備え、この移動パイプ部材25に、光ファイバー7の出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するためのコリメーションレンズ37を保持したレンズホルダ39を備え、前記移動パイプ25内を流れるパージエアーを流通するための気体通路41Cを前記レンズホルダ39に備えると共に、当該レンズホルダ39を通過したパージエアーを排出するためのパージエアー排出手段43Aを、前記コリメーションハウジング21又は前記出射端側支持部材23に備えている。 (もっと読む)


【課題】コリメーションレンズ装置、曲率可変ミラーを備えた構成であって、コンパクト化を図ることのできるレーザ加工ヘッドを提供する。
【解決手段】光ファイバー7の出射端から出射されたレーザ光を平行光線化するためのコリメーションレンズ装置19と、上記平行光線化されたレーザ光のビーム径を調節するための曲率可変ミラー45と、この曲率可変ミラー45によって反射されたレーザ光を集光レンズ方向へ屈曲するための第1ベンドミラー51Aとを備えたレーザ加工ヘッドであって、前記コリメーションレンズ装置19、このコリメーションレンズ装置19で平行光線化されたレーザ光を前記曲率可変ミラー45へ反射する第2ベンドミラー47A及び前記曲率可変ミラー45を同一平面内に配置して備え、前記コリメーションレンズ装置19と前記曲率可変ミラー45とを近接して備えると共に、前記第2ベンドミラー47Aを、前記コリメーションレンズ装置19、前記屈曲可変ミラー45よりも前記第1ベンドミラー51Aに近接して配置してある。 (もっと読む)


【課題】アモルファスシリコンのアニーリングに高調波のYAGレーザ光を使用した場合においても、安定して大きな結晶粒径のポリシリコンが得られるYAGレーザアニーリング装置及びYAGレーザ光によるアニーリング方法を提供する。
【解決手段】YAGレーザアニーリング装置1は、レーザ光源2からP偏光又はS偏光のYAGレーザ光を出射する。レーザ光の光路上には、偏光ビームスプリッタ3と、λ/4板4と、部分透過ミラー5と、レーザ光の位相を遅らせる位相遅延部6とがこの順に配置されている。そして、レーザ光源2から出射した1パルスのレーザ光を部分透過ミラー5及び位相遅延部6により複数個のパルスに分割して、アニーリング用のレーザ光として順次取り出し、レーザ光の照射時間を延長するとともに、アモルファスシリコンを徐々に冷却し、結晶粒径を拡大する。 (もっと読む)


【課題】ロールフィルムの切断精度を向上させたレーザ切断装置を提供する。
【解決手段】フレーム110に固定されたレーザービーム供給源122と、レーザービーム供給源と分離されて移動可能にフレームに設けられ、レーザービーム供給源から供給されるレーザービームを受光可能な受光部127、及びロールフィルムFにレーザービームを照射可能なレーザーノズル129を備えるヘッドモジュール125と、レーザービーム供給源とヘッドモジュールの受光部との間に配置されるようにフレームに設けられたビーム視準部材180とを備える。 (もっと読む)


【課題】被加工物表面へのレーザー光の照射幅の変動を許容範囲内に維持し、かつ、被加工物表面に対して一定の照射角度でレーザー光を照射することができる抜型製造用レーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】本発明の抜型製造用レーザー加工装置は、レーザー発振器から出射されるレーザー光を被加工物の表面から所定距離を隔てて設けられたレーザー照射部の集光レンズに導くことにより、集光レンズで集光されたレーザー光がその焦点からずれた位置において所定幅で被加工物に照射され、被加工物に所定幅の溝を形成するよう構成され、集光レンズを被加工物の表面に対して所定距離を隔てて平行な2次元方向に移動させる位置制御部と、レーザー発振器から集光レンズまでレーザー光を導く導光手段と、を備える。導光手段は、集光レンズの位置にかかわらず、レーザー光が所定幅から所定の範囲内の幅で被加工物に照射されるようにして、かつ、レーザー光を実質的に一定の入射角で集光レンズに導く。 (もっと読む)


【課題】装置の大型化や加工効率の悪化を招くことなく、加工に最適な波長帯域の異なる複数の材質に的確に対応可能なレーザー加工装置及びレーザー出射モジュールを提供する。
【解決手段】レーザー光を出射するレーザー発振器1と、レーザー発振器1より入射したレーザー光をワーク12上に集光させる収束レンズ11と、ワーク12上におけるレーザー光の集光位置を変更する光走査部8と、を備えるレーザー加工装置において、レーザー発振器1から光走査部8に至るレーザー光の光路として、波長を変更することなくレーザー光を伝播させる第1の光路4と、レーザー光の波長を変換する波長変換器6の設けられた第2の光路5と、を有するとともに、レーザー発振器1の出射したレーザー光が通る光路として上記2つの光路のいずれか1つを選択する光路切換器2を備えるようにした。 (もっと読む)


【課題】レーザ光の出力異常の原因を容易かつ迅速に特定する。
【解決手段】ステップS2において、レーザ加工装置のレーザ光の光路上の複数の部品の所定の位置であって、レーザ光が入射される位置、レーザ光が通過する位置、レーザ光が出射される位置、および、光路上の他の部品と接続される位置のうちの少なくとも1箇所の近傍の温度の監視を開始する。ステップS4において、レーザ光の出力の監視を開始する。ステップS6において、レーザ光の出力の異常が検出された場合、ステップS10において、各測定箇所の温度を記録部に記録するように制御する。本発明は、例えば、各種の加工を行うレーザ加工装置に適用できる。 (もっと読む)


【課題】レーザビームを用いる被加工物の高ダイナミック3次元加工システムを提供する。
【解決手段】ロボットフレーム(1)および関節アーム(2)を有する座屈アームロボットと、関節アーム(2)の一端に接続され、かつビーム軸(10)を有するレーザビーム(11)が関節アーム(2)の第1軸の方向において関節アーム(2)内に結合されるようにする光ファイバケーブル(5)とを備える。光ファイバケーブル(5)は、コリメートレンズ系(13)および少なくとも2つのアライメントミラー(12.1、12.2)を備えるアライメントユニット(6)を介して、関節アーム(2)の固定端に間接的に接続され、ミラーの各々は、少なくとも1つの回転軸を中心に回転しかつ少なくとも1つの並進軸に沿って移動することができ、回転軸および並進軸は互いに直角に配置され、それによりレーザビーム(11)のビーム軸(10)を光軸(4)と一致させることができる。 (もっと読む)


【課題】より有効にレーザ光を利用しながら、より電気絶縁性に優れたエッジデリーションを行う。
【解決手段】SHGレーザ発振器113は、パルス発生器111から供給される出射指令信号に同期してSHGパルスを出射し、基本波レーザ発振器114は、遅延回路112により遅延された出射指令信号に同期して基本波パルスを出射する。SHGパルスおよび基本波パルスは、角形光ファイバ120を通過し、2波長コリメータレンズ121および2波長結像レンズ122により、スリット123の入射面において矩形の開口部を含むように結像された後、スリット123を通過し、2波長結像レンズ124および2波長fθレンズ126により、薄膜太陽電池パネル102の加工面に入射し結像される。本発明は、例えば、エッジデリーションを行うレーザ加工装置に適用できる。 (もっと読む)


【課題】ビーム空間内の温度状態に依存した、レーザビームのパラメータの制御を最適化すること
【解決手段】温度検出装置が、複数の測定装置を前記ビーム空間に沿って有することで、温度検出装置は、ビーム空間内のガス内の温度状態をビーム空間横断面にわたって検出し、複数の測定装置は、ビーム空間内のガスの温度を、レーザビームのビーム伝播方向に沿って、レーザビームからの種々異なる半径方向間隔で測定するレーザ装置。 (もっと読む)


【課題】加工中においてもレーザー光の光軸位置を測定でき、レーザー光による加工を安定して行うことが可能なレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光を照射してワークに加工を施すレーザー加工装置10であって、レーザー光を発振するレーザー発振器11と、レーザー光を反射してレーザ光の進行方向を変更するミラー部材21、22、23、24と、レーザー光のビーム径を調整するレンズ部材15、17と、レーザー光の進行方向を変更するレーザー光制御部30と、レーザー光が通過するレーザー経路の周囲に配設された複数の温度センサからなる測温ユニット40と、測温ユニット40に備えられた複数の温度センサの測定値から、レーザー経路におけるレーザー光の光軸位置を検出する光軸位置検出手段51と、を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


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