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Fターム[4E068CC00]の内容

レーザ加工 (34,456) | 検知手段 (1,426)

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【課題】ウエーハに形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより、ウエーハを分割予定ラインに沿って効率よく分割することができるウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】ウエーハ20に形成された分割予定ライン201に沿ってパルスレーザー光線を照射し、ウエーハ20を該分割予定ライン201に沿って分割するウエーハのレーザー加工方法であって、パルスレーザー光線の集光スポット径をDとし、隣接する集光スポットとの中心間の間隔をLとした場合、D<L≦4Dの範囲でパルスレーザー光線を照射することにより、ウエーハ20に分割予定ライン201に沿ってレーザー加工孔203を形成するとともに、レーザー加工孔203間に亀裂204を生じせしめる。 (もっと読む)


【課題】 被加工物を支持プレートに吸着させながら被加工物にレーザ光を照射して貫通穴を形成する場合に被加工物を支持プレートに確実に吸着させる。
【解決手段】 被加工物が載置される支持プレート20の、被加工物が支持プレート20上に載置された状態でレーザ照射手段10によってレーザ光が照射される領域に吸引穴21を形成するとともに、この吸引穴21に隣接し、被加工物が支持プレート20上に載置された状態でレーザ照射手段10によってレーザ光が照射されない領域に吸引補助穴22を形成する。 (もっと読む)


【課題】レーザ発振器の出力を安定化できるレーザ発振器の出力補正方法を提供する。
【解決手段】コントローラ15が、ビームスプリッタ8により分光され、パワーモニタ11と高速AD変換ユニット12経由でフィードバックされるレーザ光の波形をレーザショットごとに求める。そして、レーザショットごとにその波形と目標出力波形を比較して相似比(変動量)を求め、その相似比と補正上限値のいずれか小さいほうの値を基に補正された励起電流I0が励起用光源2へ供給されるよう電圧・電流変換器5を制御する。 (もっと読む)


レーザ光を発振するレーザ発振器(11)と、レーザ発振器(11)から出射されたレーザ光を被加工物(100)に照射する加工ヘッド(21)と、レーザ発振器(11)のレーザ光出射口(12)から加工ヘッド(21)までレーザ光を導く光学系を有する光路ダクト(30)と、光路ダクト(30)のレーザ発振器(11)との接続部付近に設けられるパージガス供給口(35)からパージガスを供給するパージガス供給手段(42)と、光路ダクト(30)の加工ヘッド(21)との接続部付近に設けられるパージガス排出口(36)と、を備えるレーザ加工装置において、光路ダクト(30)内にレーザ光の出力に異常をきたす不純ガスの光路ダクト内への混入を検知するガス検知部(50)を備える。
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【課題】
【解決手段】精密エネルギ制御用のレーザによる物質加工方法が提供され、バルクアッテネータは、RFドライバ出力により切り替えられ、RF出力全体を大幅に低くし、パルスごとのレーザエネルギを生成する。アッテネータの値により、実現可能なエネルギの範囲、すなわちpjまたはpjの端数を決定する。1以上のアッテネータおよびスイッチは、複数のエネルギ範囲を実現するために利用できる。バルクアッテネータが切り替えられた後に、レーザエネルギは大幅に減らされ、RFドライバは、SNRが非常によいRFパワーがほぼ最大の状態で再び動作できる。また、DACからの入力電圧は非常に高く、SNRが小さいためにノイズが多いダイナミックレンジの最低位ではない。この方法およびシステムは、高いDAC入力電圧とRFドライバの高いSNRにより、拡大されたダイナミックレンジ、優れた減衰(実行可能な低いエネルギ)、優れた精度、および安定性を提供する。 (もっと読む)


【課題】切断ゾーンを開始する方法を、経済的に実施可能にすること。
【解決手段】切断過程の開始時に、引きつれ割れの開始領域内にレーザビームを用いて、前記構成部品に切断開始個所を形成し、後続の切断過程の経過中、切断開始個所から切断ゾーンを開始する方法において、構成部品に材料を大して切除せずに切断開始個所が形成されるように、レーザビームの強度又はビームプロフィール又は焦点を制御する。 (もっと読む)


【課題】 高価な位置合わせ装置を用いることなく、また機械的な可動部の振動による位置制御の低下をなくすることにより、安価な装置で高い位置決め精度を有し、かつ高い光利用効率で形状加工を行うレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光源11と、
該レーザ光源11から出射されるレーザ光12の位相を変調する空間位相変調手段13と、
所定の加工形状に対応する加工ホログラムデータに、該所定の加工形状の像を加工面の所定の加工位置に再生する位置移動ホログラムデータを付加することにより、合成データを生成し、該合成データを上記空間位相変調手段13へ入力するデータ入力手段16,17と、
上記空間位相変調手段13により位相変調を受けた上記レーザ光12のホログラム像を上記加工面に再生させる結像手段14と、を有するレーザ加工装置。 (もっと読む)


【課題】 人為的なミスが原因となってレーザ光源ユニットが破損してしまう事態を適切に回避する。
【解決手段】 レーザ加工装置1は、制御ユニット2の電源が投入されると、レーザ光源ユニット3に設定されているレーザ光源識別情報を読出し、その読出されたレーザ光源識別情報に含まれているレーザ発振器11の制御電圧レベルと、制御ユニット2に記憶されているレーザ光源制御電圧レベルとを比較し、両者が一致しない旨を検出すると、レーザ光源ユニット3への制御電圧の供給を禁止する。制御電圧レベルが適合しないレーザ光源ユニット3と制御ユニット2とが誤って接続された場合であっても、制御ユニット2からレーザ光源ユニット3へ異常な制御電圧が供給されてしまうことを適切に回避できる。 (もっと読む)


【課題】フェムト秒レーザを使用する微細加工において、反射ミラーと移動ステージの組み合わせにより、フェムト秒レーザ光をワークに頻繁且つ均等に分配照射し、ワークへの蓄熱を抑制しながら生産性を高めることが可能となる。
【解決手段】フェムト秒レーザ装置1から照射されたレーザ光Lは、ミラー回転制御用サーボモータ10により角度調整されたミラー9により高精度に反射され、レーザ光Lは図中で左右方向に自在に位置制御が可能となっている。また、この箱体7は、直交3軸の移動ステージ14と一体化しており高精度かつ自在に移動可能となっており、レーザ光はミラーにより頻繁且つ均等に分配され、各ワークに照射される。 (もっと読む)


【課題】レーザ加工機1のビームガイドに対応配置されたハウジング領域17と、レーザ加工部に対応配置されたハウジング領域18とを備えている形式のレーザ加工ヘッド4特にレーザ切断ヘッドを改良して、ビームガイドをレーザ加工領域からできるだけ簡単に構造的に分離することができ、10kW以上のレーザ出力において使用することができるようなものを提供する。
【解決手段】レーザビーム23のための開口絞り25が、2つのハウジング領域17,18間の分離装置として設けられており、ビームガイドに対応配置されたハウジング領域17内に、レーザ加工部に対応配置されたハウジング領域18内と比較してやや高い超過圧力が形成されていて、それによってビームガイドのための掃気ガスが得られるようになっている。 (もっと読む)


【課題】 外乱光による誤検出を生じず、光透過部材に付着した汚れを検出可能な投光装置及び光電スイッチ並びにレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源22からの光を遮らないように配設される静電容量式の検出部45により、光透過部材35の本体ケース11外部側に付着する汚れを検出し、この検出信号を予め記憶された所定の閾値と比較することにより異常状態かどうかを制御部29にて判別し、異常状態と判別したときは異常信号をレーザ発振制御手段23に出力してレーザ光Lの出射を停止させる。 (もっと読む)


レーザ加工ヘッドを遠隔操作する制御装置は、レーザ加工ヘッドとレーザ加工ヘッドから離れた位置にある作動手段を含む。変換手段は、レーザ加工ヘッドと作動手段との間に接続される。変換手段は、作動手段の動作をレーザ加工ヘッドの動作に変換する。変換手段は、レーザ加工ヘッドに連結される第1端部と、作動手段に連結される第2端部とを有するケーブル制御手段を含む。レーザ加工ヘッドは、ロボットアームに滑走可能に連結されている。作動手段は、レーザ加工ヘッドをロボットアームに対して相対的に直線状に動かす。高さセンサ装置は、レーザ加工ヘッドと加工製品との間の測定に基づいて高さ信号を生成する高さセンサを含む。高さセンサ電子回路部は高さセンサから離れた位置にあり、高さ信号を受信する。 (もっと読む)


【課題】 設備を簡素化し、適正位置で部品同士を接続できるレーザ溶接装置を提供する。
【解決手段】溶接する部品各々を保持する部品保持手段13,15と、前記部品の被溶接部分にレーザを照射するレーザ照射手段20と、前記部品保持手段で保持された状態で前記部品に生じている応力を検出する応力検出手段30と、溶接前に前記部品が互いに適正位置に位置決めされたときにおける前記応力検出手段からの応力データである基準応力データと、前記レーザ照射手段により前記部品が溶接された後における前記応力検出手段からの応力データである溶接後応力データとを比較して、溶接後の前記部品に生じている応力状態が前記適正位置での応力状態となるように、修正用レーザを照射させる応力修正手段40とを含むレーザ溶接装置1である。 (もっと読む)


【課題】 加工能率の高いエキシマレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 本装置10は、エキシマレーザ光の発振器11と、発振器から出射されたエキシマレーザ光を所定の形状パターンに規制するマスク14とを備え、マスクによりパターン規制されたエキシマレーザ光により被加工物に加工を施すエキシマレーザ加工装置である。本装置は、被加工物を保持し、かつ、被加工物の被加工面がエキシマレーザ光の照射方向に対して設定角度になるように被加工物を回転させ、被加工面を位置決めする角度調整治具16と、エキシマレーザ光の発振器とマスクとの間に配置され、エキシマレーザ光の照射方向に対する被加工面の設定角度に基づき、エキシマレーザ光の照射方向に対する被加工面の角度とエキシマレーザ光の所要エネルギーとの関係に従って規定した所定の減衰率で、エキシマレーザ光を減衰させる光学的アッテネータ54とを備えている。 (もっと読む)


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