【課題】本発明の目的は、肉盛部の酸化を抑制し、高品質の肉盛部の作製が可能なパウダ供給ノズルおよび肉盛溶接方法を提供することにある。
【解決手段】施工対象物にレーザを照射するレーザ出射部と、レーザ出射部の外周に設置され、レーザ照射部にパウダを吐出するパウダ供給部を備えたパウダ供給ノズルにおいて、前記パウダ供給部の外周にレーザ照射部の周囲の大気をレーザ照射部外へ誘導する機構を備えたことを特徴とするパウダ供給ノズル。 （もっと読む）

【課題】アシストガスおよびシールドガスの周りを囲む加圧水カーテンを不要にして、加工ヘッドの小型化を図る。
【解決手段】レーザ通過孔２１１の周方向に沿って連続して複数個のスカート２３を配置して、シールドガスが噴射される空洞を形成する。また、スカート２３は、加工ヘッド２に対してレーザ通過孔２１１の軸線方向に移動可能とし、先端部が被加工物に当接するように被加工物に向かって付勢する。これによると、スカート２３が加圧水カーテンと同様の機能を発揮するため、加圧水カーテンノズルを廃止することができる。 （もっと読む）

【課題】 高圧で噴射された液柱によって、粘着シートに溝が形成されたり粘着シートが分断されてしまう恐れのないレーザ加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、該レーザビーム照射手段は、レーザビーム発生手段と、加工ヘッドとを含み、該加工ヘッドは、該レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して、該集光レンズで集光されたレーザビームが導光される液柱を形成する液体噴射手段とを有し、該レーザ加工装置は、被加工物と該加工ヘッドとの間で該液柱を所定のタイミングで遮る液体シャッターを形成するシャッター液を噴出するシャッター液噴出手段を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高圧で噴射された液柱によって、粘着シートに溝が形成されたり粘着シートが分断されてしまう恐れのないレーザ加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、該レーザビーム照射手段は、レーザビーム発生手段と、加工ヘッドとを含み、該加工ヘッドは、該レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して、該集光レンズで集光されたレーザビームが導光される液柱を形成する液体噴射手段とを有し、該レーザ加工装置は、該加工ヘッドと被加工物との間で該液柱の流れを阻害して該液柱が被加工物に衝突する衝撃を緩衝する緩衝部材と、該液柱の流れを阻害する作用位置と退避位置とに該緩衝部材を所定のタイミングで位置付ける位置付け手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アブレーション加工により発生する粉塵がレーザビームの光路を妨げることのない粉塵排出ユニットを備えたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】粉塵排出手段は、上壁と底壁と該上壁と該底壁と連結する側壁とを有し、内部に集塵室を画成し該集光器に連結されたケーシングと、該上壁に形成されたレーザビームの通過を許容する第１の開口と、該底壁に形成されたレーザビームの通過を許容する第２の開口と、該側壁に形成された吸引排気口と、該上壁及び該底壁に接するように該ケーシング内に挿入され、該第２の開口を中央開口と該中央開口の両側の第１及び第２吸引口に分離するＶ形状隔壁と、該第１吸引口を該吸引排出口に接続する該ケーシングと該Ｖ形状隔壁により画成された第１流路と、該第２吸引口を該吸引排出口に接続する該ケーシングと該Ｖ形状隔壁により画成された第２流路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線を照射することによって発生する粉塵による火災を防止することができる粉塵処理機能を備えたレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射する集光器を備えたレーザー光線照射手段と、被加工物を洗浄する洗浄手段を具備するレーザー加工装置であって、レーザー光線照射手段の集光器から照射されるレーザー光線の照射部に向けて開口する粉塵吸引部材と、粉塵吸引部材に一端が接続され他端が洗浄手段に接続された第１のダクトと、洗浄手段に一端が接続された第２のダクトと、第２のダクトの他端に接続された排気手段とを具備する粉塵排出手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の伝搬効率を向上させて、安定した加工品質を確保する。
【解決手段】ワークＷに噴流液体を噴射するノズル３と、ノズル３に噴流液体を供給する液体供給手段６と、を有し、ノズル３から噴射された噴流液柱Ｆ内に導かれたレーザー光Ｌによるレーザー加工装置であって、噴流液体を層流状態でノズル３に供給する層流形成流路８を有し、層流形成流路８は、液体供給手段６から供給された噴流液体をノズルの軸線Ｇ周りに環状に分配する空洞が形成された分配流路８１と、ノズルの軸線Ｇ方向下流側において分配流路８１に連通して設けられ、分配流路８１よりも狭い流路で軸線Ｇ周りに環状の空洞が形成された連絡流路８２と、ノズルの軸線Ｇ方向上流側に隣接して設けられ、噴流液体を貯留してノズル３に供給する液体貯留室８３と、を備え、液体貯留室８３の外周縁部は、環形状の全周にわたって連絡流路８２と連通されている。 （もっと読む）

【課題】被加工材に対する開先切断と垂直切断を、効率的かつ安定して行うことができるレーザ加工用ノズル、レーザ加工装置の制御方法、プログラム、制御器及びレーザ加工装置を提供すること。
【解決手段】ノズル孔からレーザビームを照射するとともにアシストガスを噴射しながら被加工材を切断するためのレーザ加工用ノズル１０であって、前記ノズル孔が形成されたノズル本体１１は、先端側がノズル軸線Ｏ１に対して傾斜する傾斜開口部１２を有するとともに先端部分に前記ノズル軸線Ｏ１と直交する平坦部１３が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スパッタによる光学部品損傷の防止、および被溶接材へのスパッタの付着を防止することができるレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】複数の結晶体から構成される発振機１１から放出され、光ファイバ１２により伝送され、光学系１４で集光されたレーザビームを用いて突き合わされた鋼板を溶接する方法であって、光学系と鋼板との間に、レーザビームの照射により形成される溶融池Ｃから飛散するスパッタに向け、横方向から、前記溶融池に直接あたらないように気体を噴射する第１の気体噴射手段１７を配置し、該第１の気体噴射手段の噴射口の下端に沿う延長線Ａ_ｋと溶融池との垂直距離が３ｍｍ以下の範囲となるように溶融池の直上を横切って気体を噴射しながらレーザビームを照射して溶接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いて、対象物の所定箇所をさらに正確にかつ能率よく加工し、修正を行う
【解決手段】基板を載置するステージと、基板を加工する加工部となる局所排気領域と、ステージに向けてガスを噴射することにより該ステージから浮上するためのガス供給部と、ステージに向けて噴射したガス及び局所排気領域から該ステージ側に供給されたガスを排気する排気部とを備えた局所排気装置を有する。
局所排気装置は、局所排気領域に繋がる流路を、薄膜形成用の原料ガスを供給する原料供給部と、エッチングにより局所排気領域内に発生したダストを排出する局所排気部とに切り換えて連通させる切換手段を備える。そして、基板に薄膜を形成する場合には、切換手段により局所排気領域に繋がる流路が原料供給部に連通され、基板をエッチングする場合には、切換手段により局所排気領域に繋がる流路が局所排気部に連通される。 （もっと読む）

【課題】 施工対象物からの反射光によって装置が損傷することを抑制できるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源と、レーザ光を集光するための集光レンズを搭載し、レーザ光を被加工物に照射するためのレーザ照射ヘッドと、レーザ光源からのレーザ光をレーザ照射ヘッドに伝送するためのレーザ光伝送手段と、レーザ光の照射による被加工物の酸化を防止するための酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給装置と、レーザ照射ヘッドと被加工物との間に介在するとともに、被加工物のレーザ光の照射部位の周囲を囲むようにレーザ照射ヘッドに配設され、かつ、レーザ照射ヘッドと被加工物との間の距離の変動に応じて変形可能とされ、金属、セラミックス、カーボンのいずれかからなる遮光体とを具備している。 （もっと読む）

【課題】グリーンシート積層体に分割溝をレーザで形成する際に発生するセラミック成分または金属成分からなる塵埃を極力外部へ排出できる溝加工装置、および該加工装置を用いた高歩留まりの多数個取り配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】主面３に導体層５が形成されたグリーンシート積層体２を載置する載置部１３を有し、且つ平面視で該積層体２を縦横方向に沿って移動させるテーブル１０と、該テーブル１０の主面１１の上方において、軸方向が該テーブル１０の主面１１に対して直交する垂直方向に沿って配置されたレーザ照射ヘッド２０と、該ヘッド２０の先端２０ａ側の周囲に配置され、平面視の軸方向がテーブル２０の移動方向と逆向きで、且つ側面視の軸方向とレーザ照射ヘッド２０の軸方向との間が鋭角θ１であるガス吹き付けノズル２６，２８と、レーザ照射ヘッド２０の周囲において、該ヘッド２０を囲むように配置されたガス吸引口２２と、を含む、グリーンシートの溝加工装置１。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を照射して溶接するに際し、溶接部位の周囲のシールドガス雰囲気に濃淡のむらを生じさせない。
【解決手段】端板２に設けた複数の孔２ａ毎に管１を挿通して該管１の一方の端部１ａと端板２とをレーザ溶接するレーザ加工機に於けるシールドガス雰囲気の広域展開装置Ａであって、端板２に設けた孔２ａ毎に挿通した管１の他方の端部側にシールドガスの供給部材１０を接続し、該供給部材１０から前記管１を通してシールドガスを供給することによって、端板２に設けた孔２ａと管１の一方の端部１ａとの溶接部位３の周囲をシールドガス雰囲気とする。端板２に於ける複数の孔２ａと各孔２ａ毎に挿通され該孔と溶接される管１の端部１ａとが露出した溶接面２ｂを覆うカバー１５を設ける。カバー１５に於ける溶接部位３の上方にシールドガスを排出するための排出口１６を設ける。カバー１５に於ける溶接部位３の上方に透明の蓋体１７を設ける。 （もっと読む）

【課題】保護部材の定期的なメンテナンス作業を容易に行うことができるレーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】集光レンズ４２を内部に保持するレンズホルダー５１と、集光レンズ４２によりウェーハＷに集光されるレーザービーム４７の加工点に向けて、エアーを噴射するブローノズル５２とを備え、ブローノズル５２には、集光レンズ４２の加工点側においてレーザービーム４７を透過すると共に、加工点側からの異物から集光レンズ４２を保護する保護部材７５が設けられ、ブローノズル５２がレンズホルダー５１に対して位置決め状態で着脱自在な構成とした。 （もっと読む）

【課題】粉塵や飛沫のある場所でも撮像や検出が可能な光学検出装置を提供する。
【解決手段】気体供給孔１９８,１９９は、圧縮空気源から内部空間１９２へ与圧気体を供給する。気体供給孔１９８,１９９を通して内部空間１９２に供給された気体は、開口１９３からハウジング１９１の外部に噴き出される。開口１９３から気体を噴き出すことで、切削液や削り屑又はその混合物による検出部１９５のレンズあるいは照明部１９７の汚染を防止できる。また、開口１９３がオリフィスの役割をし、気体の流速を増加させ、ワーク上の切削液等を吹き飛ばすことができる。 （もっと読む）

【課題】金属製薄肉パイプの重ね合わせ溶接において溶け込み深さを安定させ溶接品質を向上するレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】金属製の第１パイプ１１と、第１パイプ１１の径外側に嵌合する第２パイプとを溶接するレーザ溶接方法は、不活性ガス注入工程、溶接工程および冷却工程を含む。不活性ガス注入工程では、ガス注入ノズル２１から第１パイプ１１の内側に不活性ガスＧ１を注入するとともに内側の空気Ｇ０を外側へ排出することで溶接時の内壁の酸化を防止する。溶接工程では、第１パイプ１１および第２パイプ１２を中心軸の回りに回転させながらレーザ照射ヘッド５１から第２パイプ１２の外周にレーザ光Ｌを照射し、溶け込み部の先端が第１パイプ１１の板厚内に位置するように金属を溶け込ませる。冷却工程では、不活性ガス注入工程から継続注入される不活性ガスＧ１によって、溶接された箇所を冷却する。 （もっと読む）

【課題】被加工材をレーザ切断する場合に、切断面への切断傷の発生を抑制することで、切断後の表面粗度を小さくすることが可能なレーザ切断方法、レーザ切断用ノズル及びレーザ切断装置を提供すること。
【解決手段】ノズル本体１１に形成されたノズル孔１２を通じて、前記ノズル孔１２の開口部からレーザ光を照射するとともに前記レーザ光を囲繞するアシストガスを噴出するように構成されたレーザ切断用ノズル１０であって、前記ノズル孔１２には、それぞれ同軸円筒状とされた第１の制御流路１２Ａ、第２の制御流路１２Ｂ、第３の制御流路１２Ｃが前記アシストガスの流通方向上流から下流に向かって順に形成され、それぞれの直径を、第１の制御流路：φＡ、第２の制御流路：φＢ、第３の制御流路：φＣとした場合に、
φＡ ＜ φＣ ＜ φＢ であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークに対する往路加工と復路加工とを同じ加工品質で行うこと。
【解決手段】ある実施の形態におけるレーザー加工装置において、レーザー照射機構５は、レーザービームを発振するレーザービーム発振器と、レーザービームを保持機構２に保持されたワークＷに向かって集光する集光レンズ５４１と、噴射口５３１からワークＷに向けて気体を噴射する保護ブローノズル５３とを有し、保護ブローノズル５３は、集光レンズ５４１によって集光されたレーザービームが噴射口５３１を通過してワークＷに照射されるように配設され、保持機構２とレーザー照射機構５とを加工送り方向に沿って相対的に往復移動させながらワークＷにレーザービームを照射することで行う往路加工時と復路加工時とで加工屑のワークＷへの付着が同程度となるように、ワークＷに対するレーザービームの照射位置と噴射口５３１の中心位置とが調整される。 （もっと読む）

【課題】 加工除去物を除去可能であると共に液体によるレーザ光学系の汚染を抑制でき、さらに効率的にレーザ光を照射可能なレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物Ｗにレーザ光Ｌを照射して加工する装置であって、加工対象物Ｗにレーザ光Ｌを照射するレーザ光照射機構２と、加工対象物Ｗの加工表面上にレーザ光Ｌが透明な液体Ｆを、加工表面に沿う層流状態にして流す液体供給機構３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】液柱内を導光されたレーザビームの照射によって発生するデブリが被加工物上に付着することを防止可能なレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物にカバー液を供給して被加工物の上面を該カバー液で覆うカバー液供給手段を具備し、加工ヘッドは、レーザビーム発生手段から発生されたレーザビームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して、該集光レンズで集光されたレーザビームが導光される液柱を形成する液体噴射手段と、該レーザビームが照射される被加工物の加工点への該カバー液の流入を制御するために該液柱を包囲するように配設された外壁と、該液柱と該外壁との間に配設された吸引口と、該吸引口に接続された吸引源とを含む吸引手段とを備え、該カバー液で覆われた被加工物に該レーザビームを照射することで発生する加工屑を、該カバー液とともに該吸引手段で吸引して被加工物上から吸引除去することを特徴とする。 （もっと読む）