【課題】デブリ除去のために別途スペースを要することなく且つ簡易に実現できるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供することである。
【解決手段】本発明に係るレーザ加工装置は、被加工材の表面を加工するレーザ光を発する光源と、被加工材を搬送する搬送部と、レーザ光が搬送された被加工材の表面に照射されたことによって、被加工材から飛散した物質を捉えるために、被加工材の表面に液体を供給する液体供給部と、被加工材から飛散して液体の中に捉えられた物質を回収する飛散物回収部とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザピーニング処理において、プラズマ発生時の爆風からミラーを保護し、ミラーの耐久性を高めて、安定したレーザピーニング処理を行えるレーザ加工ヘッドを提供する。
【解決手段】管状部材（コモンレール１）の内面をレーザピーニング処理する際に用いられるレーザ加工装置１０において、レーザ光ＬＢを被処理部に照射するミラー２１を備えたレーザ加工ヘッド１１であって、ミラー２１の外周が円筒体２２で覆われており、円筒体２２は、軸線方向両端部の大径部３１と、大径部３１よりも外径が小さい中間部３２とからなり、中間部３２の側面に管状部材１の軸線方向に延びたスリット３３を有する。 （もっと読む）

【課題】補修作業の工数低減を実現したうえで、水中構造物の欠陥部を完全且つ確実に封止することが可能である水中補修溶接方法を提供する。
【解決手段】水中構造物Ｓに生じた欠陥部Ｘを含む水中構造物Ｓの底面Ｓａを被覆板１０で覆いつつ、この被覆板１０をレーザ溶接により水中構造物Ｓの底面Ｓａに溶接する水中補修溶接方法であって、被覆板１０に母材である水中構造物Ｓと同じ材料で且つ板厚０．５〜４ｍｍの薄板を用い、被覆板１０の周縁部１１から中心側に入り込んだ位置において、水中構造物Ｓの底面Ｓａにおける欠陥部Ｘを井桁状に囲むように、不活性ガスＧを供給しながらレーザ光Ｌを照射して貫通溶接を施す。 （もっと読む）

【課題】被補修面が滑らかであるか否かにかかわらず、溶接部ないしその近傍をドライ雰囲気に保つことができ、良好な水中補修溶接を行うことが可能になるガスシールド体及び水中補修溶接装置を提供する。
【解決手段】水中構造物Ｓをレーザ溶接により水中補修する水中補修溶接装置であって、レーザ発振器２と、レーザ発振器２で発振されたレーザ光Ｌを集光して水中構造物Ｓに照射する集光部５を有するレーザ溶接ヘッド７と、レーザ溶接ヘッド７の先端に位置してレーザ光Ｌと同軸にシールドガスＧを溶接部分に供給するノズル６と、ノズル６に設置されてガス保持空間１３を多数有するシールド体本体１２を具備したガスシールド体１１を備え、シールド体本体１２には、被覆板２０に接触して該被覆板２０上の凹凸を吸収可能に摺動する接触面１４と、ノズル６の先端が一端側に嵌合され且つ他端が接触面１４で開口する貫通孔１５が具備されている。 （もっと読む）

【課題】シールドカバーの外からの水の混入を未然に防止するとともに、シールドカバー内に混入した金属粉塵を含んだ水及びシールドガスを確実かつ容易に排出可能な水中溶接装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、水中に配置されてレーザ光を射出するノズル部１６を先端に備えた水中溶接ヘッド１１と、ノズル部１６の周辺に設けられ、弾性部材からなり、水中溶接ヘッド１１の先端側にシールドガスにより水が排除された空間を形成するためのシールドカバー１８と、シールドカバー１８内から金属粉塵を含んだ水とシールドガスを排出する排出孔が形成され、シールドカバー１８内の圧力上昇により排出孔の大きさが拡大し、その圧力下降により排出孔の大きさが縮小する膨縮バルブ２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】アシストガスおよびシールドガスの周りを囲む加圧水カーテンを不要にして、加工ヘッドの小型化を図る。
【解決手段】レーザ通過孔２１１の周方向に沿って連続して複数個のスカート２３を配置して、シールドガスが噴射される空洞を形成する。また、スカート２３は、加工ヘッド２に対してレーザ通過孔２１１の軸線方向に移動可能とし、先端部が被加工物に当接するように被加工物に向かって付勢する。これによると、スカート２３が加圧水カーテンと同様の機能を発揮するため、加圧水カーテンノズルを廃止することができる。 （もっと読む）

【解決手段】 液体を噴射する噴射孔１２ａを細長く形成して、被加工物２に向けてライン状に液体を噴射し、
一部のレーザ光Ｌを上記噴射孔から噴射される液体へと透過させ、残部のレーザ光Ｌを反射させる第１ミラー２３と、該第１ミラーに対向する位置に設けられてレーザ光Ｌを第１ミラーに全反射させる第２ミラー２４とを設け、
さらに、上記第１ミラーにおけるレーザ光の透過率を、レーザ光を入射させる側の一端を該第１ミラーにおける他端より低くなるように設定し、
レーザ光を第１ミラーと第２ミラーとの間に入射させるとともに複数回反射させ、上記第１ミラーを透過したレーザ光が上記噴射孔より噴射された液体の内部に導光されてライン状に被加工物に照射されるようにした。
【効果】 広範囲にレーザ光を照射することが可能である。 （もっと読む）

【課題】被加工物を効率良く加工することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レーザー加工装置(1)であって、噴流液柱を噴射するためのノズル(20)と、液体の流れの乱れを減衰させる整流室(30)と、この整流室から流入した液体をノズル入口開口に導く液体加振室(24c)と、レーザーを生成するレーザー発振器(4)と、このレーザー発振器により生成されたレーザーが、噴流液柱により導光されるように、レーザーをノズル入口開口の上方に合焦させる合焦光学系(6)と、この合焦光学系から射出されたレーザーが液体加振室内に入射されるように、ノズル入口開口と向かい合うように配置されたウインドウ(22)と、を有し、液体加振室は、ノズルから被加工物に向けて噴射された噴流液柱が加工点で霧化されやすくなるように、噴流液柱外表面の表面波を大きくすることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明はアブレーションの分野で多くのアスペクトにおいて実質的な利益を提供する。
【解決手段】レーザビームを用いて、そのレーザビームの下方に位置する基板の特定領域を除去する場合に、レーザビーム用のレンズと前記基板との間を囲み、基板側を開口させたモジュール内に空気，ガス又は液体のいずれかを供給し、その供給した空気，ガス又は液体を前記モジュールから排出することで、レーザビームで基板の特定領域を除去することで発生するデブリを外部に排出させる。また、モジュールが頂部に取り付けられたパックの基板と対向した開口箇所の端部で、空気，ガス又は液体をモジュール内に供給することで、特定領域の基板表面に対してできるだけ平行な空気，ガス又は液体の流れを指向させて、モジュールが頂部に取り付けられたパックを基板表面から浮揚させるようにした。 （もっと読む）

【課題】加熱工程と溶接工程との切り換えに、高精度なレンズの位置調整を必要とすることがなく、再現性良く安定的に溶接施工を行うことのできる水中溶接方法及び水中溶接装置を提供する。
【解決手段】水中にある亀裂を含む被溶接部に対して溶接ヘッドにより溶接を行う水中溶接方法であって、レーザ光のエネルギー密度を低下させる光学素子と、光学素子を移動させレーザ光の光路内及び光路外に位置させるための移動機構と、を具備した装置を使用し、溶接ヘッドを設置する設置工程と、レーザ光の光路内に光学素子を位置させた状態で、レーザ光を被溶接部に照射して加熱し、亀裂内部から水を蒸発させる加熱工程と、レーザ光の光路外に光学素子を位置させた状態で、レーザ光を被溶接部に照射して溶接する溶接工程とを具備している。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて短時間で効率的に残留応力の改善と疲労強度の向上を行うことのできるレーザピーニング方法を提供する。
【解決手段】被施工対象物の表面に液体を通してパルス状のレーザビームを、走査方向（ｘ方向）に移動させながら一定の走査間隔毎に照射し、一定の走査長さを走査した後、走査方向（ｘ方向）と直交するピッチ方向（ｙ方向）に一定のピッチ移動させ、走査方向（ｘ方向）に移動させながら一定の走査間隔毎に前記レーザビームを照射する工程を繰り返して、被施工対象物の表面に圧縮残留応力を付与するレーザピーニング方法であって、被施工対象物の部位にかかる負荷の方向及び大きさに応じて、走査方向（ｘ方向）とピッチ方向（ｙ方向）及びこれらの方向における夫々の単位面積当たりの照射密度を変更することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】材質が異なる部材同士が溶接接合されたその溶接部の補修を行なうに当たり、効率良く、かつ溶け込み不足やアンダーカット、融合不良などが生じにくい高品質な肉盛溶接を行なう。
【解決手段】テンパービード溶接を必要とする第１の部材１とテンパービード溶接を必要としない第２の部材２とを互いに接合した溶接部を補修する溶接部補修方法であって、溶接部の一部を含む部分を削り取って開先部を形成する切削工程と、開先部に多層肉盛溶接を施す肉盛溶接工程と、を有する。肉盛溶接工程は、第１の部材１へのテンパービード多層肉盛溶接工程を含み、当該テンパービード多層肉盛溶接工程による肉盛積層の厚さが、上層部よりも下層部で薄い。 （もっと読む）

【課題】高精度な集光調整が可能なウォータービーム加工装置、および集光調整方法を提供する。
【解決手段】レーザー照射源（１２）を移動させて照射されたレーザーＬの焦光点を調整するＸＹＺ軸移動テーブル２と、開口部３１を通過するレーザーＬ２の光量を調整するアパチャ３と、コリメートレンズ４１および集光レンズ４２からなるレンズユニット４と、噴流液体ＷＲを噴射して噴流液柱ＷＪを形成するノズル６と、を備え、レーザーＬ２を噴流液柱ＷＪ内に導いて加工するウォータービーム加工装置１であって、アパチャ３とレンズユニット４との光軸Ｌ０方向における距離、またはアパチャ３の開口径を調整してコリメートレンズ４１に到達するレーザー径ｄを調整するコリメート径調整機構５を備えた。 （もっと読む）

【課題】中空状の立体構造物（複層構造物）の表層部のみを液体噴流に導かれたレーザ光でレーザ加工して、下層部がレーザ光で損傷することを防止するレーザ加工方法を提供すること。
【解決手段】レーザ加工方法は、被加工部１３を有する表層部１１と、表層部１１に空間１４を介在して配置された下層部１２を有する中空状の立体構造物１を、レーザ加工装置２のジェットノズル２１から噴射された液体噴流Ｂ２内に導かれたレーザ光Ａで加工する方法である。このレーザ加工方法は、空間１４内に液体３を流通させ、空間１４内に入ったレーザ光Ａを伴った液体噴流Ｂ２を液体３によって乱すことによりレーザ光Ａを散乱させる方法である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、繊維強化複合材料等の難加工材料のレーザ除去加工であって、工業的に満足できる加工速度を実現可能な効率のよいレーザ加工方法とそれに用いるレーザ加工装置とを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明は、繊維強化複合材料または機械切削が困難な無機材料よりなる被加工物表面にレーザを照射してレーザ照射部を除去するレーザ除去加工において、レーザ照射によって発生する分解生成物をレーザ照射と同時に除去する除去手段を用いることを特徴とする。除去手段は、流体をレーザ照射部へ０．３〜５．０ＭＰａで噴射するノズルである。 （もっと読む）

【課題】装置を構成する光学部品等に液体が付着せず、光学部品の汚損損傷が少なく、長期にわたってレーザーアブレーション操作を連続的に安定的して継続できる液相レーザーアブレーション装置及び方法を提供する。
【解決手段】被微細化成分を配置した液体を貯留する容器と、上記液体を介して上記被微細化成分に照射するレーザー光を発振するためのレーザー発振装置と、上記液体の液面に対するレーザー光の入射角度を変更自在に構成した反射ミラーと、上記レーザー発振装置から発振されたレーザー光を集光する集光レンズと、上記容器の上面を覆う蓋体と、上記蓋体又は上記容器の側面で上記液体の液面上方に設けられたレーザー光導入口とを備えたことを特徴とする液相レーザーアブレーション装置である。 （もっと読む）

【課題】ウェハのレーザー加工時において、該ウェハの裏面に貼付されたフィルム越しにレーザー光を照射しても、ウェハの内部に安定した改質層が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜の形成されたウェハ１３の表面に対向する該ウェハ１３の裏面に透明なエキスパンドテープ１５を貼付し、該ウェハ１３の表面を下向きにして液槽１２の所定の位置へ搬送する。その後、液槽１２に液体１１を充填し、ウェハ１３を液体１１の液面で支持する。さらに、レーザーヘッド４０及びコンデンスレンズ２４を含むレーザー照射部を、制御部５０の制御によってＸＹＺθ方向へ駆動させ、ウェハ１３に対してエキスパンドテープ１５越しにレーザー光Ｐを照射して、該ウェハ１３の内部又は表面の改質を行う。ウェハ１３の内部又は表面の改質後に液槽１２から液体１１を排出し、改質層の形成されたウェハ１３の領域で分割離間してチップを生成する。 （もっと読む）

【課題】溶接構造物の溶接止端部や成形加工部品の塑性変形領域に圧縮残留応力を効率的に導入し、繰り返し荷重が作用する環境で従来よりも疲労特性を向上させるためのレーザピーニング処理方法を提供する。
【解決手段】パルスレーザビームを集光した後、レーザ媒質を介して被処理材の表面に照射し、該表面の照射スポット近傍に圧縮残留応力を形成するレーザピーニング処理方法において、前記照射スポットが、予め想定された繰り返し荷重の付加方向（Ｙ方向）に対して垂直な方向（Ｘ方向）において、隣り合う照射スポット同士の重畳率が面積％で９２〜9９％となるように、前記パルスレーザビームを走査させることを特徴とするレーザピーニング処理方法。 （もっと読む）

【課題】ウエーハ等の被加工物の外周縁をオーバーランしてレーザー光線が粘着テープに照射されたり、被加工物に完全切断溝が形成されてレーザー光線が粘着テープに照射されても、被加工物が貼着された粘着テープに貫通穴を形成することがないレーザー加工方法。
【解決手段】被加工物を保持する保持テーブルと、保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、保持テーブルと該レーザー光線照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを具備するレーザー加工方法であって、被加工物を環状のフレームに貼着する被加工物貼着工程と、保持テーブルの保持面に水の層を形成して水の層上に粘着テープを介して被加工物を支持するとともに、環状のフレームを固定する被加工物支持工程と、レーザー光線照射手段からレーザー光線を照射しつつ加工送りし、保持テーブルに支持された被加工物にレーザー加工を施すレーザー加工工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板上の薄膜をレーザによりスクライブ加工する場合に、大型の集塵機、大量の洗浄液を必要とせず、正確に微細なスクライブ加工を行うレーザ加工方法および装置を提供することを目的とすること。
【解決手段】レーザ光の光軸１０３を加工対象物表面に対し概略垂直に配置し、レーザ光の照射点の領域より大きい液柱状の洗浄液をノズルから噴射して加工を行うレーザ加工方法において、レーザ光の光軸１０３が、ノズル１１３の噴出口１１５の開口中心に対して、加工の進行方向Ｌと反対側の方向に偏心している。あるいは加工の進行方向Ｌに直交する方向の位置に偏心している。 （もっと読む）