【課題】第１部材と第２部材とを貼り合わせた貼り合わせ体における中央部とエッジ部の厚さにばらつきがなく、且つエッジ部の厚さが全周に亘って均一である貼り合わせ体を得ることができる貼り合わせ装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷ１を上面に載置して保持する下部チャック１０と、下部チャック１０の上部に対向配置されウエハＷ２を保持する上部チャック１１と、下部チャック１０と上部チャック１１との間に形成される空間Ｓを減圧する吸気機構１８とを有し、上部チャック１１は、剛性を有するエッジ部１１ｂと、当該エッジ部１１ｂと分割され、エッジ部１１ｂに外周部が支持された保持部本体１１ａとを有し、保持部本体１１ａは、所定の圧力、例えば０．７気圧で当該保持部本体１１ａの中心部が撓む弾性体からなる。 （もっと読む）

【課題】高温になる環境において長時間使用した場合でもシール性能が低下することを防止できるシール構造及び接合装置を提供する。
【解決手段】加熱機構を備えた熱盤部４０と、熱盤部４０の側方に位置する枠体部４２と、熱盤部４０と枠体部４２との間に位置して熱盤部４０と枠体部４２との隙間をシールするシール部５２と、を有するシール構造であって、シール部５２は、熱盤部４０又は枠体部４２に形成された溝部４８に配置され、シール部５２には、溝部４８の深さ方向と直角な向きに凹部５４、５６が形成され、シール部５２が熱盤部４０又は枠体部４２に形成された溝部４８に配置された状態で、凹部５４、５６が溝部４８の溝内に位置している。 （もっと読む）

【課題】真空中で接着層に空気の混入を防止しながら、微小な押圧力の調節を可能にして、適度な加圧下で接着剤がはみ出すのを極力抑え良好な厚みの接着層を形成し、素子を基板に真空加熱接合する。
【解決手段】駆動ユニットによって上枠部材12の下端部を下板部材6の周辺部に気密に摺動シールさせて内部に真空隔壁を形成し、加圧剥離フィルムを素子の上面に接触させ大気圧加熱下に軟化させ、真空チェンバー内を真空引きし、さらに下板部材6と中間部材10とを近接する方向に相対移動することによって、加圧剥離フィルムの外周部を下板部材6の基板置台上面と内方枠体13の下面との間に気密に保持した状態とし、真空チェンバー中の加圧剥離フィルム上方空間に大気圧あるいは大気圧より高い圧力をかけて、加圧剥離フィルムを基板及び素子の外表面に密着させて、素子を基板に接合する、真空加熱接合装置。 （もっと読む）

【課題】差圧検出、差圧解消用の駆動力の算出処理、差圧解消用の駆動機構を用いることなく差圧を相殺可能な機構を備えた真空プレス成形装置を提案すること。
【解決手段】真空プレス成形装置１のプレス機構５は、真空成形室２の底板２１に内外の差圧に応じてプレス方向に移動可能な第１受圧板２３を配置し、真空成形室２と同一の内圧に保持される補助真空室２５の天板２７に内外の差圧に応じてプレス方向に移動可能な第２受圧板２９を配置し、これらの受圧面を同一面積とすることにより、内外の差圧に起因してプレス用のエアーシリンダ１１の作動ロッド１４に作用する力を相殺している。これにより、プレス力を精度良く管理することができる。 （もっと読む）

【課題】ベルト片寄り補正をより容易かつ効果的に、さらには僅かなベルト負荷で行うことができるベルト片寄り補正技術を提供する。
【解決手段】下側のプレスプレート（３）および上側のプレスプレート（４）によるプレス段（１）に対して工作物を搬入搬出するためにプレスプレート（３）を周回して走行するコンベアベルト（５）と、コンベアベルト（５）の張力調整を行うテンション機構（６）が配設されたコンベアベルト用プーリ（７、８）とを備え、プーリ（７）はテンション機構（６）によってプレスプレート（３）に対して相対変位するように構成され、コンベアベルト（５）のベルト片寄り補正を実施するために、プーリ（７、８）はプーリ軸心に沿った軸方向変位が可能なように構成されている。 （もっと読む）

【課題】スリップ事故の発生を防止しまた成形製品の厚みのバラツキを抑えることが可能であり、且つ仕組み工程を止めることなく被加工物の成形を行うことが可能なプレス装置システムを提供する。
【解決手段】プレス装置システムが、熱盤間２１１，２１２，２１３に被加工物Ｐを挟んで加熱プレスする複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃと、複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃに対して被加工物Ｐの搬入及び搬出を行うローダと、複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃ及び前記ローダの制御を行う制御手段とを有し、制御手段は、複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃの１つで被加工物Ｐの加熱プレスを行っている間に、他の加熱プレス装置及び前記ローダを制御して、他の加熱プレス装置に対して被加工物の搬入及び搬出を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ベルト路程ずれの修正が良好に行われるプレス機を提供する。
【解決手段】互いの間隔を変更可能な下側のプレスプレート３と上側のプレスプレート４とから開閉操作される少なくとも１つのプレス段１と、下側のプレスプレート３の周りを回動するとともに加工すべき加工物をプレス段１に対して搬出入するためのコンベアベルト５とを備え、この下側のプレスプレート３が、コンベアベルト５に対して張力の付与と弛緩とを行うテンショナー６とコンベアベルト路程修正手段とを有するプレス機。コンベアベルト路程修正手段がコンベアベルト５をコンベア進行方向に対して交差する方向にずらすためのずらし手段９を含む。ずらし手段９がテンショナー６と同期制御され、コンベアベルト５が弛緩状態でかつ停止状態である場合に路程修正動作を実施する。 （もっと読む）

【課題】安価で長寿命である柔軟なダイアフラムを用いた、板状物品熱圧積層プレス機を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１４を少なくとも１つの板状物品１を収容するために設けられた排気可能な物品側空間と排気または圧力付与あるいはその両方が可能な加圧側空間とに区分ける柔軟なダイアフラム１１と、真空チャンバ１４を通過して延びる、板状物品搬送用搬送ベルト４とを備え、ダイアフラム１１は物品側空間の排気や加圧側空間の圧力付与によってつくり出された真空チャンバ１４内の圧力差によって板状物品１を真空チャンバ１４の下側プレス台２に向かって直接的または間接的に圧接する。ダイアフラム１１は、気密性で、曲がり易く、全面に亘って一様な引っ張り強度を有するともに、これにより準非弾性特性を有する織物またはフィルムであり、さらにこの柔軟なダイアフラム１１は、低摩擦材料によってコーティングされるか、そのような材料から作られる。 （もっと読む）

【課題】板状物品内の気泡形成が防止されるかまたは少なくとも著しく低減させる、板状物品積層プレス機を提案する。
【解決手段】真空チャンバ１４を少なくとも１つの板状物品１を収容するために設けられた排気可能な物品側空間と排気または圧力付与あるいはその両方が可能な加圧側空間１７とに区分ける柔軟なダイアフラム１１と、真空チャンバ１４を通過して延びる、板状物品搬送用搬送ベルト４とを備え、ダイアフラム１１は物品側空間の排気や加圧側空間１７の圧力付与によってつくり出された真空チャンバ１４内の圧力差によって板状物品１を真空チャンバ１４の下側プレス台２に向かって直接的または間接的に圧接する。搬送ベルト４の板状物品１に対向する表面側領域が、搬送ベルト本体内部において、かつ少なくとも部分的に搬送ベルトの表面に沿ってガス流通が可能なように構造化されている。 （もっと読む）

一時的なウェハーボンディングのための改善された装置が一時的なボンダークラスター及びデボンダークラスターを備える。一時的なボンダークラスターは、接着剤層によるボンディング、接着剤層とリリース層との組み合わせによるボンディング及びＵＶ光硬化性接着剤層とレーザー吸収リリース層との組み合わせによるボンディングを含む電子ウェハーボンディング工程を行う一時的なボンダーモジュールを備える。デボンダークラスターは、熱摺動デボンダー、機械的デボンダー及び照射デボンダーを備える。 （もっと読む）

【課題】安定したプレス条件で被加工物のプレスを行うことのできる真空プレス装置及び真空プレス方法を提供する。
【解決手段】真空プレス装置が、定盤上に配置された被加工物が弾性を有するリリースシートに覆われるようにリリースシートを定盤に向けて押圧してリリースシートを定盤に密着させることによって定盤とリリースシートの間に密閉された第１の空間を形成する枠体と、第１の空間を真空引きするための真空ポンプと、定盤に対して枠体を相対的に移動させる駆動手段と、定盤と枠体との間の領域にリリースシートを搬入すると共に被加工物のプレス成形後にこの領域からリリースシートを搬出するリリースシート搬送手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複雑な立体形状を有する金型であっても、密着性のよいフォトマスクが容易に作成でき、しかも繰り返し露光を可能とする再現性の高い位置決め精度を有する露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱間プレス成形用金型の表面に成膜したレジスト膜に、露光により所定のパターンを転写する真空圧空成形露光装置であって、レジスト膜が表面に成膜された成形用金型を気密に収容する気密容器と、前記成形用金型を載置する台座と、所定のパターンが形成されたシートを加熱して軟化する加熱機構と、軟化したシートを金型に被せた際にシート下面を台座に吸着させる吸引部と、前記吸引部に接続された吸引機構と、軟化したシートを前記成形用金型に吸着させた状態で当該シートにおける前記パターンをレジスト膜に露光する露光機構と、前記気密容器内を加圧する気体を供給する気体供給部と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ精密な加熱加圧製品を生産することが可能なホットプレスを提供する。
【解決手段】圧力容器１２が上半体１２Ｕと下半体１２Ｌと中間環状封止体１７とクラッチリング１４とを有し、上半体１２Ｕと下半体１２Ｌと中間環状封止体１７とが封止係合する。熱板２０が上熱板２０Ｕと下熱板２０Ｌとから成る。被加工ワーク５０が上熱板の中央部分２１Ｕと下熱板の中央部分２１Ｌとの間に配置され、圧力を減少する装置及び圧力を増大する装置が上熱板及び下熱板へ起動媒体を作用することによりワーク５０を圧力容器１２内において加熱加圧加工するホットプレスである。 （もっと読む）

【課題】テストを行うことなく、被加工物が破損しないような圧力制御を行うことのできるプレス装置を提供することである。
【解決手段】上下一対の熱盤の一方に取り付けられた油圧シリンダと、油圧シリンダに作動油を供給するポンプと、ポンプを駆動するサーボモータと、ポンプの回転回数に基づいて一方の熱盤の他方の熱盤に対する変位を検出する変位検出手段と、サーボモータを制御して第１の荷重又は該第１の荷重よりも大きい第２の荷重が被加工物に加わるように油圧シリンダに送られる作動油の流量を調整する荷重調整手段とを有し、荷重調整手段は、被加工物の加圧を開始した当初は第１の荷重が該被加工物に加わり、変位検出手段が検出した変位が所定の閾値を超えた後に、被加工物に前記第２の荷重が加わるよう、前記サーボモータを制御する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内におけるプレス加工において、真空チャンバを小形し真空到達時間を短縮させ、更には高精度の圧力制御を行う精密プレス装置、及びそれにおけるプレス荷重制御方法を提供する。
【解決手段】真空にされるチャンバ１６を小形化するために、圧力センサをチャンバ１６外に設置し、チャンバ１６の筒状形状を利用して筒状のプランジャ７が出没可能なシリンダ室１７を形成する。チャンバ１６内の負圧２２に起因して受圧部２と加圧部１とを互いに引き寄せる力が発生するが、逆方向からシリンダ室１７内に同等となる流体の圧力１９を入れて筒状のプランジャ７を押し出して筒状プランジャ７に加圧力２０を発生させることで、この引き寄せる力はプランジャ７からの加圧力２０によってキャンセルされる。プレスステージで転写される基板等への荷重を駆動部による駆動力に基づいて高い精度で制御することができる。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内を高い真空度に維持可能な真空プレス装置。
【解決手段】真空チャンバ開口に搬送手段が設けられており、搬送手段が、開口を有し且つシートを把持可能でありこの開口と真空チャンバ開口とが気密的に連結されるように真空チャンバに取り付けられる第１グリッパと、開口を有し且つシートを把持可能であり第１グリッパよりも遠位側に配置され搬送方向に進退可能な第２グリッパと、その中をシートが通過可能となっており第１及び第２グリッパの開口同士を気密的に連結しさらに搬送方向に沿って伸縮可能な第１の連結管とを有し、第１グリッパの開口を閉じた状態で第２グリッパの開口を開けて第２グリッパを反搬送方向に移動させ、第２グリッパの開口を閉じて第１の連結管を真空引きし、次いで第１グリッパの開口を開けて第２グリッパを搬送方向に移動させてシートの搬送を行う。 （もっと読む）

【課題】 待機時間に真空室内への埃やゴミ等の侵入を減少させることのできるプレス成形システムおよびその制御方法を提供する。
【解決手段】 真空室２内で成形を行うプレス装置３が複数配設され、移載装置４，５により前記プレス装置３に対して成形品Ｐの搬入・搬出を行うプレス成形システム１において、プレス装置３の真空室２の扉１２を開いて真空室２内から成形完了した成形品Ｐの搬出を行った後に前記扉２を閉鎖し、空の状態で待機させ、次の成形品Ｐを前記プレス装置３の真空室２内に搬入する前に前記扉１２を開く。 （もっと読む）

【課題】
従来のプレス機型の一括転写型ホットエンボス装置により、マイクロ・ナノオーダの微小パターンを転写しようとしたとき、型と被加工材の平行の狂いが原因で成形不良を起こすことがあり、アライメント調整が問題となる。また、転写の範囲が大面積化するにつれて、機械剛性の問題による装置のたわみも同様に問題となる。
【解決手段】
高圧チャンバ（１）と低圧チャンバ（２）の圧力差によって駆動されるダイヤフラム（３）によって構成されたダイヤフラム差圧駆動機構（４）を用い、ダイヤフラムで型（５）と被加工材（６）をともに加熱用プレート（７）との間で押圧することで、型表面の微細パターンを被加工材表面に転写する。ダイヤフラムは流体圧によって均等に駆動されるため、型のアライメントの狂いや装置の撓みにダイヤフラムの変形が追随することができ、装置の機械剛性の影響も受けにくい。 （もっと読む）

【課題】膜交換時間を短縮化させる構成によりプレス作業の休止時間の短縮を可能とする積層プレス技術を提供する。
【解決手段】閉状態において周回シール６を用いて真空チャンバ７を作り出している下側プレス台１と上側プレス台１と、加工物を収容するために設けられた排気可能な製品側ハーフチャンバ９と圧力形成可能な加圧側ハーフチャンバ１０とに真空チャンバを区分する柔軟な膜８とを備えている。製品側ハーフチャンバと加圧側ハーフチャンバとの圧力差によって加工物が真空チャンバの下側面に圧接されるように構成された膜が膜フレーム２に取り付けられ、この膜フレーム２が上側プレス台に着脱式に装着可能で、個別に取り扱い可能である。膜を取り付けている膜フレームを交換フレームとして使用可能状態で用意している膜フレームマガジンが備えられている。 （もっと読む）

【課題】真空環境下で使用されかつ発熱体を内蔵する熱定盤を比較的容易に製作することが可能な上に、カートリッジヒーターやシーズヒーター等を用いることなく、真空環境下で使用する熱定盤を、所要の温度に速やかに加熱することができる加熱型加圧装置の熱定盤の加熱方法を提供する。
【解決手段】熱定盤６，７に形成された貫通孔９に近赤外線ヒーター１０を貫装し、この近赤外線ヒーターのハロゲンランプから放射される近赤外線を貫通孔の内面に照射して熱定盤を加熱することを特徴とする。 （もっと読む）