【課題】着脱性やメンテナンス性に優れ、梁型のノズル保持機構が無くても撓まない長尺型の処理液吐出ノズルを提供すること。
【解決手段】この処理液吐出ノズル６４に取り付けられるたわみ補正機構７４は、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間点Ｐ_M1，Ｐ_M2で補強面６８ａに突出して設けられる第１および第２の中間ジョイント部７８，８０と、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間ジョイント部７８，８０の間たとえば長手方向の中心点Ｐ_Cで補強面６８ａに突出して設けられる中心ジョイント部７６と、中心ジョイント部７４と第１の中間ジョイント部との間に架け渡される第１の連結棒８０と、中心ジョイント部７８と第２の中間ジョイント部８０との間に架け渡される第２の連結棒８４とを有している。 （もっと読む）

【課題】電子部品の搭載された基板は樹脂系のコーティング剤を塗布することによって基盤遮蔽層を形成し、錆や腐食が生じないように覆われていた。しかし電極の為のホールや端子部分にコーティング剤を塗布すると不良品の発生になった。
【解決手段】ディスプレイ上でコーティング禁止エリアを設定し、制御部によってノズルパスを演算し、効率よく塗布作業するようにプログラミングするとともに、マスキング作業を不要にしたので簡単に塗布作業ができるようになった。 （もっと読む）

【課題】簡便でコンパクトな構成で、腐食性の高い溶融金属や溶融塩等の高温の液体を、比較的小量の一定流量で安定に供給できる液体供給装置を提供する。
【解決手段】流出ノズル１４、１１４の内径Ｄ２が、液溜め部１０、１００、２００に収容された溶融液Ｍを流出ノズルの下端から溶融液の自重により流出自在な大きさに設定され、流出ノズルの管長Ｌが、流出ノズルの下端から流出する金属液の流量が、管長が長くなるに従って非線形に減少する非線形領域に対応した長さに設定され、かつ液溜め容器の液面設定領域Ｓが、液溜め容器の一部である円筒内壁面に画成されて、液面設定領域の内径Ｄ１が、流出ノズルの内径よりも大きく設定される。 （もっと読む）

【課題】
ディスペンサ自体を減圧下にさらすことなく、減圧雰囲気下で液状材料をディスペンスしてボイドを抑制する。
【解決手段】
ステージ２０上に対象物１０が設置された後、ステージ２０上にチャンバ３０が設置される。チャンバ３０は、液状材料５０を格納したキャピラリ３３を有する。チャンバ３０とステージ２０との間に第１の密封空間４０が形成される。また、蓋材６０がチャンバ３０上に設置され、チャンバの吐出部３３に格納された液状材料５０と蓋材６０との間に、第２の密封空間４５が形成される。さらに、第１の密封空間４０を減圧することにより、吐出部３３から対象物１０上に液状材料５０が吐出される。その後、チャンバ３０内は大気に開放され、仮に発生していた場合であってもボイドの縮小が達成される。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄、乾燥残りを抑制し、効果的な洗浄を行うことができる枚葉式洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】枚葉式洗浄装置において、少なくとも、円筒状の凹部及び該凹部の内壁面に沿って液体及び／又は気体を吐出する吐出口を有する旋回流形成部を少なくとも一つ有し、前記被洗浄物の洗浄及び／又は乾燥させる少なくとも片面に前記旋回流形成部が近接するように配設される洗浄テーブルと、前記洗浄テーブルの周辺に配設され、前記洗浄テーブルの旋回流形成部に近接する前記被洗浄物の側面に接触して固定保持する保持体とを具備し、前記旋回流形成部の吐出口から液体及び／又は気体を吐出させ、前記保持体で前記被洗浄物の側面を固定保持し、該吐出させた液体及び／又は気体によって前記被洗浄物の少なくとも片面を洗浄及び／又は乾燥するものである枚葉式洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布した塗布液を光により硬化させてパターンを形成するパターン形成装置において、塗布から光照射までの時間を短くしてアスペクト比の高いパターンを形成することのできる技術を提供する。
【解決手段】塗布ヘッド５のタンク５１の底部壁体内に光ファイバーケーブル５５を埋め込んでおく。基板Ｗを方向Ｄｓに移動させながら、液溜め空間ＳＰ内に貯留された塗布液（導電性ペースト）を加圧して吐出ノズル５２から吐出させて基板Ｗに塗布する。光源ユニット７からの光を光ファイバー５５を介して塗布ヘッド５の下面から塗布液に照射することで塗布液を光硬化させる。吐出口５２１の隣接位置で光照射することで、塗布から光照射までの時間が短く、アスペクト比の高い電極パターンが得られる。 （もっと読む）

【課題】供給管からの反応ガスを吹出方向と交差する方向に均一に分布させて吹き出す表面処理用ノズル装置を提供する。
【解決手段】ノズル本体１０の耐反応ガス材料製の部材１２内に導入流路２０を形成し、その両端に反応ガスの供給管３をそれぞれ連ねる。複数の分岐流路２１を導入通路２０から吹出方向の先端側に延ばし拡散室２２に連ねる。拡散室２２内に整流板３０を設け、拡散室２２を整流板３０より基端側の室部２３と先端側の室部２５とに仕切る。整流板３０の両側の連通路２４にて室部２３，２５を連通する。好ましくは、支持部材４０にて整流板３０を支持し、室部２３内にスペーサ５０を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板表面に生成される膜の厚さを均一にし、製作コストを抑えることができるようにする。
【解決手段】ミストが筐体２内に供給されると、一部のミストは一方の湾曲面２ａに沿って滑らかに流下して原料ガス排出口５の直上領域に到達し、一部のミストは他方の湾曲面２ａに沿って滑らかに流下して原料ガス排出口５の直上領域に到達する。そして、両者は、原料ガス排出口５の直上領域において互いに衝突して混合する。これにより、原料ガス排出口５の直上領域において、原料ガス排出口５の長手方向にわたってミストの濃度が均一になる。その後、原料ガス排出口５の長手方向にわたって濃度が均一なミストが、原料ガス排出口５から噴出する。 （もっと読む）

【課題】噴霧器の噴霧圧力を増大できる噴霧器用乱流発生部材を提供する。
【解決手段】本発明の噴霧器用乱流発生部材１は、各種噴霧器の内部に配置される。噴霧器用乱流発生部材１は、少なくとも２種類の形状または大きさの異なる液体通路１１３，１１４を有する本体１１を含む。複数の液体通路１１３，１１４は、本体１１の両端面を貫通する直線通路である。液体通路１１３，１１４により、噴霧器の内部において、少なくとも２種類の流れ（ｍｕｌｔｉ−ｓｔｒｅａｍｓ）が混合されることにより、従来の流体を回転させるコアを有する噴霧器よりも噴霧圧力が増大される。 （もっと読む）

【課題】高い微粒化能力を安価な設備費用で安定的に実現可能な微粒化装置および微粒化装置に適用可能な溶液吐出装置ならびに溶液吐出方法を提供する。
【解決手段】溶液５を加圧状態で貯留する加圧容器４内に加圧用エアを供給して溶液５を加圧する溶液加圧部と、加圧用エアの第２の圧力Ｐ２を溶液５が吐出されるジェットノズル９の駆動用エアの第１の圧力Ｐ１に応じて調整する第２レギュレータＰＳ２と、加圧された溶液５をジェットノズル９に供給する溶液供給配管７と、加圧容器４内に供給される加圧用エアの質量流量を調整するマスフローコントローラＭＦＣとを備え、第２の圧力Ｐ２の値に基づいてマスフローコントローラＭＦＣを制御して、溶液５の吐出量を第１の圧力Ｐ１に応じて制御する。これにより、複雑・高コストの設備を必要とすることなく溶液５の吐出量を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】インクの流れを安定化させる。
【解決手段】ノズルプレートＮｐは、押さえリング９１によって上から押さえられる。その押さえリング９１の上にフィルタ８４がセットされ、さらに押さえリング９２によってフィルタ８４がヘッドシリンダ８１内に固定される。ノズルプレートＮｐは、インク供給側からみて、長方形のノズルＮｚを有している。ノズルＮｚが長方形であるため、インクは、その断面が長方形となって吐出され、表面張力により、次第に、断面形状が変化する。この際、インクが旋回してインクの流れが安定化し、液柱Ｌｐが維持される。 （もっと読む）

【課題】吐出ノズルに気泡が溜まることを防止又は軽減することが可能な、吐出ノズル、吐出装置、塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】吐出ノズル３は、液体を吐出するための吐出口１１０を有するプレート１００と、その一の端部においてプレート１００と密接し、液体をプレート１００へ導くシリンダ２００と、シリンダ２００の外周面に接する気泡溜め部３００と、気泡溜め部３００から気泡を排出するための気泡排出手段と、を備え、シリンダ２００には、シリンダ２００の内部と気泡溜め部３００とを連通させるための少なくとも１つ以上の第１の貫通孔２１０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】均一な液滴の形成により、トナーの生産効率を向上し、更に流動性や帯電特性の変動の幅が極めて少ないトナーを安定的に得ることができるノズルプレートの提供、このノズルプレートを用いたトナーの製造方法およびトナー製造装置の提供。
【解決手段】樹脂及び着色剤を含むトナー組成物を分散ないし溶解させたトナー材料液を貯留する液貯留部に設けられる、ノズルが形成されたノズルプレートであって、前記ノズルプレートは、前記ノズルが設けられた前記液貯留部及び前記複数の液貯留部に前記トナー材料液を送液または前記トナー材料液中のガス抜きをするための流路がシリコンまたはシリコンとその酸化物の層を有する複合体を用いて一体に形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細な隔壁間の凹部に塗液を塗布する場合においても、塗液の隔壁上部への付着、混色、塗布ムラ等の塗布欠点を発生させず、高品位に塗布することが容易な塗液の塗布装置および塗布方法ならびにプラズマディスプレイパネルの製造装置および製造方法を提供することにある。
【解決手段】表面に隔壁が形成されている基板を固定するテーブルと、前記テーブルに対向して設けられ、基板の隔壁間の凹部に所定量の塗液を塗布する口金と、前記テーブルと前記口金とを３次元的に相対移動させる移動手段とを備えた塗液の塗布装置であって、前記口金の吐出孔の形状は、塗布幅方向よりも塗布方向に長い形状であり、塗布幅方向の長さをW、塗布方向の長さをLとした時、１．１≦Ｌ／Ｗ≦１．７の条件を満たすことを特徴とする塗液の塗布装置とする。 （もっと読む）

【課題】液体流路の形状を適切なものにすることによって、噴射口からの洗浄液の噴射速度を高め、洗浄性能を向上させる。
【解決手段】ほぼ円筒状のノズルケース１２内に、セラミック製のノズルチップ１３を嵌合固定して洗浄用ノズル１１を構成する。ノズルチップ１３の中心に軸方向に延びて、先端側のストレート部１４ａと、基端側の縮径部１４ｂとからなる液体流路１４を設ける。ノズルチップ１３の先端部にＶ溝１６を形成し、その中央部に洗浄液を噴射する噴射口１７を開口させる。ストレート部１４ａの直径寸法Ｄ１と、ストレート部１４ａの軸方向の長さ寸法Ｌ１との比（Ｌ１／Ｄ１）を、７．８以上、１５以下の範囲内とする。縮径部１４ｂの軸方向に沿う断面形状を、緩やかなＲ形状とする。Ｖ溝１６の切込み角度θを、４０°以上、６５°以下の範囲内とする。 （もっと読む）

【課題】被処理物が大型化してもノズル装置の重量増大を抑え、かつ処理の均一性を確保する。
【解決手段】ノズル装置３の溝形成部材１１の主面に複数の溝形成部１３ｆを第１方向に分割して設定する。各溝形成部１３ｆにツリー溝部４１と開口溝部４２を含む溝４０を形成する。開口溝部４２を溝形成部材１１の先端面に開口させる。隣接する開口溝部４２どうしを連通部４９を介して連通させる。 （もっと読む）

【課題】可撓性シートの誤判定を減少して、外観検査での歩留まり率を向上させるようにした可撓性シートの外観検査装置を提供する。
【解決手段】可撓性シート２０を上流側ガイドローラ２１と下流側ガイドローラ２２との間でテンションを付与した状態で搬送しながら、両ガイドローラ２１，２２の間で可撓性シート２０の外観を検査する可撓性シートの外観検査装置である。可撓性シート２０の両側端部２０ａの凹凸を検出する凹凸検出センサー２５と、可撓性シート２０の両側端部２０ａを表裏両面から空気力で押圧することで、両側端部２０ａを非接触状態で支持する空気力支持機構２４とを備えている。凹凸検出センサー２５で検出された凹凸の程度に応じて、微小振動を抑制する方向に空気力支持機構２４の空気力を制御する制御ユニット２６を備えている。 （もっと読む）

【課題】 高融点で過冷却温度領域がせまい金属を含む多種類の金属についてアモルファス皮膜の形成ができることに加え、設備的にコンパクトで酸化物の生成が少ないといった利点を有する、アモルファス皮膜の形成装置および形成方法を提供する。
【解決手段】 アモルファス皮膜形成装置１は、材料粒子を含む火炎Ｆを母材Ｍに向けて溶射ガン１０より噴射させ、当該材料粒子を火炎Ｆによって溶融させたうえ、材料粒子および火炎Ｆを母材Ｍに達する前から冷却ガスＧにて冷却する。装置１において、溶射ガン１０による火炎Ｆの噴射経路のうち材料粒子を溶融させる領域に、火炎Ｆと外気とを隔てる筒状体２０を設け、その筒状体２０と一体的に上記冷却ガスの流路を形成した。 （もっと読む）

本発明は、半導体シリコン基板のＰ型表面にｐ−ｎ接合層を形成するとき、特殊に考案されたスプレー装置でリン酸水溶液を常温および大気圧の条件で極微粒化させてシリコン表面に均一に塗布し、リン酸膜を０．２ｍｍ〜０．８ｍｍの厚さで形成させた後熱拡散することで、半導体シリコン基板のＰ型表面にｐ−ｎ接合層が形成されるようにする方法に関するものである。また、本発明による半導体ｐ−ｎ接合層を形成するためのリン酸水溶液塗布装置は、シリコン基板１を固定させるプレート２と、前記プレート２をステージ３に運ぶ移送装置１０と、前記ステージ３の鉛直上部に位置し一定角度（θ）を維持した状態で互いに向かい合うように配置された一対の液体噴霧用ヘッド２０と、を備え、前記ヘッド２０がスキャン装置４に搭載されて一定区間を往復動作しながらシリコン基板１の表面にリン酸水溶液をスプレーするように構成される。 （もっと読む）

【課題】内面の断面形状が略楕円形に形成された処理液供給ノズルを、簡単かつ安価に製造することができる処理液供給ノズルの製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱ステップでは、チューブ２０の端部２１が加熱され（図Ａ参照。）、チューブ２０の端部２１が軟化する。挿入ステップでは、軟化したチューブ２０の端部２１の内部に、整形用治具２２が挿入される（図Ｂ参照。）。整形用治具２２の挿入により、チューブ２０の端部２１が、整形用治具２２の挿入により、チューブ２０のうち整形部２７の両側の側辺側辺２７Ａ，２７Ｂと当接する部分は拡げられ、それ以外の部分がチューブ２０の弾性力により狭められる。冷却ステップでは、チューブ２０の端部２１にスプレー状の冷却剤が吹き付けられて（図Ｃ参照。）、チューブ２０の端部２１が急冷される。 （もっと読む）