本発明は、板状の複合構造から多数の微小流体装置（１）を製造する方法に関し、この場合、それぞれの装置は、流れチャネルを形成する溝構造（４）を有しており、溝構造の寸法はマイクロメートル範囲にある。架橋する溝構造（４）の選択的なその後の機械的な分離のための線（６）は、互いに接続されており、機械的なマシニングの前に部分的に又は完全に充填媒体（７）で充填される。媒体（７）は、機械的なマシニングによって又は機械的なマシニングの間に使用される補助手段によって溝構造（１）から除去されないように選択される。しかしながら、後で、充填媒体（７）は適切な手段によって溝構造（６）から除去される。これにより、溝構造（４）は、機械的な汚染物によって詰まることが回避される。ノズル装置が設けられた噴霧装置も提案される。
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シャワーヘッド、工業用噴霧ヘッドおよび農業用噴霧ヘッドの少なくとも１つにおいて使用するための噴霧ヘッドまたは噴霧ヘッド用挿入物（１）が提供され、該噴霧ヘッドまたは噴霧ヘッド用挿入物は、複数のノズル群（２）を備えており、各ノズル群（２）が、噴霧ヘッドまたは噴霧ヘッド用挿入物（１）の表面から流体のジェットを噴出させるために適したノズルを少なくとも２つ有しており、該少なくとも２つのノズルは、少なくとも使用時において、加圧下で少なくとも２つの該ノズルから出た流体が、周囲の構造に事実上妨げられることなく衝突および相互作用し、液滴へと分解するような寸法および配向を備えている。

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【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】 回転する基板の所定の表面領域をマスクで覆って薬液を噴霧することにより、薬液を節約し、塗布時間並びに乾燥時間を短縮しようとするスプレー併用スピンコート方法及びスピンコート装置を提供することである。
【解決手段】 水平に保持して回転される基板１の表面の所定領域をマスク３で覆い、上記基板１の上方に配置されたスプレーノズル４により該基板１の表面に薬液を噴霧し、上記基板１の所望領域に薄膜を形成するようにしたものである。これにより、薬液の使用量を減少させ、塗布時間及び乾燥時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 噴射方向の周辺領域への液体微粒子の飛散を防止し、所定領域に均一な液体微粒子の噴霧を可能とする液体微粒子発生用ノズルを提供する。
【解決手段】 ノズル本体部２に高圧気体と液体とを導入し、高速流の気体によって破砕された液体微粒子及び気体の混合気体を噴出する混合気体噴出口５５を先端部に備えた液体微粒子発生用ノズルにおいて、上記ノズル本体部２の先端部に混合気体噴出方向に突出させて筒状の飛散液体捕捉カバー３を設け、該飛散液体捕捉カバー３は、内部が中空３１とされた２重壁構造をなし、その内周壁面３２には前記中空部（３１）に連通した液体捕捉孔３３を形成したものである。これにより、周辺領域への液体の飛散が防止しでき、所定領域に均一な液体噴霧が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 消火用散水ノズルにおいて、消火能力を高め、放射量を小さくして水害の被害を小さくし、ポンプなどの容量を小容量としてコストを低減する。
【解決手段】 消火液または水が圧送される消火用配管１２に消火用散水ノズル１４を接続し、火災時に消火液または水を散水する際に、スリット１４Ｌを備えたノズル部１４Ｇをモータ１８で回転することで、略帯状の散布パターン２４を所定の防護範囲内で移動して走査する。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンクに薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク１０から供給される薬液５を負圧吸引して該薬液５を噴射するノズル１１と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１２とを備え、上記正圧供給手段１２により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル１１への薬液５の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク１０からの薬液５を負圧吸引して噴射するノズル１１を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】応力集中で破損することのないノズルを提供すること。
【解決手段】液圧バルジ成形装置のノズル１において、前記ノズル１をノズル本体１ａとノズル先端部材１ｂとで構成し、前記ノズル先端部材１ｂを前記ノズル本体１ａに段部７を形成させた状態で固定し、前記段部の平坦部８でパイプ状素材３の端面を押圧する構成にする。 （もっと読む）