Fターム[4F033GA08]の内容
Fターム[4F033GA08]に分類される特許
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現像ノズル及び現像装置
【課題】現像液の供給循環機構に設けた濾過フィルタFのポアサイズをより高精細なものに切り換えずとも、現像ノズルの詰まりが発生し難い現像ノズルを提供する。
【解決手段】A)上部に上部口、下部に下部口、上部口から下部口に垂直に貫通し、上半中空部81Aとトラップとして機能する下半中空部81Bで構成する垂直中空部81、垂直中空部から、屈曲中空部82、屈曲中空部の下部に屈曲下部口を有する中空アダプター80、B)屈曲中空部内のストレーナー83、C)屈曲下部口の現像ノズル先端部84、D)下部口に接続する開閉バルブ85及び排液管86を少なくとも具備する。
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