Fターム[4F033GA11]の内容

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Fターム[4F033GA11]に分類される特許

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【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液5を収容して密閉可能とされた薬液タンク10と、この薬液タンク10に薬液供給パイプ7で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク10から供給される薬液5を負圧吸引して該薬液5を噴射するノズル11と、上記薬液タンク10内に形成される負圧空間Sに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段12とを備え、上記正圧供給手段12により薬液タンク10に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル11への薬液5の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク10からの薬液5を負圧吸引して噴射するノズル11を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 (もっと読む)


【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液5を収容して密閉可能とされた薬液タンク10と、この薬液タンクに薬液供給パイプ7で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル11と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Sの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段12と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段13とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 (もっと読む)


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