【課題】均一な噴霧密度を維持しつつ、厚み方向にさらに広い角度で噴霧するのに有用なデフレクタ及びそれを用いた噴霧ノズルを提供する。
【解決手段】噴霧ノズルは、ノズル本体１の軸線方向に延びて形成された主流路２と、この主流路の下流側で流路径が狭まり、かつノズル本体１の先端部で開口する吐出口（噴射孔）４を有する吐出流路３と、前記吐出口４の上流側の主流路２内に配設され、かつ上流からの流体を分流するためのデフレクタ７とを備えており、前記デフレクタの下流面に凹部又は溝部８が形成され、前記デフレクタ７の上流端と吐出流路３との間のノズル本体１の内部側壁には、前記デフレクタ７により分流された流体が衝突可能な衝突壁９が形成されている。 （もっと読む）

【課題】気体を混入した気液流体を貯液槽内で噴出する際に十分な微細気泡を生成して槽内に充満させることが可能な気泡発生装置を提供する。
【解決手段】浴槽などの貯液槽に気液流体を噴出する気液流体噴射手段を流入口と流出口とを有するノズル部材で構成する。このノズル部材には流入口に連なる減圧空洞部を設けこの減圧空洞部内に流入口からの気液噴流を衝突させる衝壁を設ける。そしてこの減圧空洞部に流入口の口径面積と等しいか若しくはこれより大きい口径面積の流出口を配設する。これによって流入口に供給された気液混合流体は減圧空洞部で拡散されるのと同時に衝壁に衝突してその流速が弱められその後流出口から貯液槽に流入されることとなる。従って気液流体は減圧空洞部で拡散され衝壁に衝突する際に微細気泡が生成され次いで吐出口から流速が弱められて流出する際に更に微細気泡が生成され貯液槽内に短時間で微細気泡を充満させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高い効率で基板の処理面の略全表面にオゾン水を噴射させることができるオゾン水噴射ノズルを提供する。
【解決手段】オゾン水を用いて基板表面のレジストを除去する際に使用されるオゾン水噴射ノズルであって、前記基板の処理面の全表面に対応する位置に複数の噴射孔が形成されており、前記噴射孔は、隣接する噴射孔間の距離が１０ｍｍ以下であり、かつ、前記オゾン水の噴射方向に垂直な方向に回転させたときに、前記オゾン水の噴射方向に垂直な任意の平面上で前記噴射孔の中心に対応する点の描く軌跡が重ならないように配置されているオゾン水噴射ノズル。 （もっと読む）