【課題】有底の凹部の底部までレジスト液を塗布する。
【解決手段】本発明は、有底のビアホール５１が表面に形成されたウエハ５０に向けてレジスト液を噴射してレジスト膜６０を成膜するスプレーノズル１４であって、レジスト液を供給するレジスト液供給路２３Ａが軸心に沿って貫通して設けられた主軸２３と、この主軸２３を回転自在に支持する軸受け２５と、主軸２３の先端に取り付けられ、回転することでレジスト液を霧化させるエアカップ１９とを備え、主軸２３と軸受け２５は、非金属製とされている構成としたところに特徴を有する。このような構成によると、回転霧化式のスプレーノズル１４によってレジスト液をウエハ５０に向けて噴射しているため、ビアホール５１の底部までレジスト液を塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体微細化装置とそれを用いたサウナ装置に関するもので、水の微細化効率を向上することを目的とする。
【解決手段】吸込口４と排気口５を結ぶ風路に設けた熱交換器７およびファンモータ８と、このファンモータ８と排気口５間に設けた液体微細化手段９とを備え、液体微細化手段９の回転手段１３は、回転軸１９と、この回転軸１９の軸方向に回転軸１９を中心として回動する回転板２０ａ〜２０ｃと、この回転板２０ａ〜２０ｃと接する面が角を持たないなだらかな面で構成された略円筒形状の揚水管２２と、回転板２０ａ〜２０ｃの外周に配置した複数の破砕部２３を設け、破砕部２３は、回転軸１９に向けて突出する回転板２０ａ，２０ｂ、２０ｃの回転方向に対向する面が回転板の接線方向に対して略直交する衝突面を構成した。 （もっと読む）

【課題】回転する塗料噴霧部材の外周縁部から噴霧される塗料（塗粒）の微細化を図る。
【解決手段】塗装装置１０は、エアモータ１２によって高速回転する中空の回転軸１４と、回転軸１４の先端に設けられた回転霧化頭１６と、回転軸１４の内部に挿通された管部材１８とを有する。管部材１８の小径部２４には、外管形成部材２８が外嵌される。この外管形成部材２８の先端部は、回転霧化頭１６に形成された収容孔４６に挿入される。また、外管形成部材２８には、その中心から収容孔４６の内壁に向かうようにして、複数個の塗料吐出孔３８が放射状に形成される。すなわち、塗料吐出孔３８の開口は、収容孔４６の内壁に対向する。好ましくは、この内壁における塗料吐出孔３８の開口に対向する部位に、環状凹部４８が形成される。 （もっと読む）

【課題】塗料噴霧部材及び塗料供給手段を容易に洗浄する。
【解決手段】塗装装置１０は、エアモータ１２によって高速回転する中空の回転軸１４と、回転軸１４の先端に設けられた回転霧化頭１６と、回転軸１４の内部に挿通された管部材１８とを有する。管部材１８の小径部２４には、外管形成部材２８が外嵌される。この外管形成部材２８の先端部は、回転霧化頭１６に形成された収容孔４６に挿入される。外管形成部材２８の先端部の外周壁と、収容孔４６の内壁との間は所定間隔で離間しており、従って、環状のクリアランス（塗料流通用間隙５２）が形成される。外管形成部材２８の外周壁に形成された複数個の塗料吐出孔３８の開口（塗料供給口）は、収容孔４６の内壁に対向する。 （もっと読む）

【課題】 従来は、ファンとモータを設けケーシングの前部に送風空間を設けた筒体と、筒体の内方に、衝突板と回転板を設け、回転板に、近接し給水管で構成し、衝突板で生成された水粒子を、筒体の前方に誘導し、送風空間を流れる風で、遠方に拡散する構造である。発明は、衝突板と回転板との間には、間隙を形成する構造でないことから、水粒子を送風空間に導くことに改良の余地がある。
【解決手段】 本発明は、
ファンとファンモータを有したケーシングの前部に、送風空間を形成して支持した筒体と、筒体に、前部開放、かつ後部閉塞した一方開放の空間を形成して多数の細孔を設けた衝突体と、衝突体に送風隙間を形成して支持した回転板と、回転板に近接した給水管となる遠心散水装置で、衝突体で生成した水粒子を、送風隙間の風で、ケーシングの開口に導き、送風空間の風で、ケーシングの開口前方に拡散する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】回転霧化式塗装装置において塗料の微粒化能力を向上する。
【解決手段】回転霧化式塗装装置１０の回転霧化頭１１は、塗料の塗布時にワークに対向する第１塗料案内面４０と、第１塗料案内面４０と外周縁部４８を共有し該第１塗料案内面４０の反対側を臨む第２塗料案内面４２と、第１塗料案内面４０に塗料を供給可能な複数の第１供給孔４４と、第２塗料案内面４２に塗料を供給可能な複数の第２供給孔４６と、を有する。第１塗料案内面４０及び第２塗料案内面４２の外周縁部４８の近傍部には、複数の第１溝６２及び第２溝６８が周方向に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体微細化装置とそれを用いたサウナ装置に関するもので、液体微細化装置を後付で容易に設置することができることを目的とする。
【解決手段】吸込口４と排気口５を有する本体ケース６と、この本体ケース６内の吸込口４と排気口５を結ぶ風路に設けた加熱手段としての熱交換器７および送風手段としてのファンモータ８と、このファンモータ８と前記排気口５間の風路内に設けた液体微細化手段９と、この液体微細化手段９と熱交換器７およびファンモータ８を制御する制御手段を備え、液体微細化手段９は、液体を移送させるポンプ３５と、ポンプ３５と接続し上方の回転板２０ａに前記液体を供給する給水管１４と、前記液体が保管されている本体ケース６内に設けた液体保管容器３６から前記液体をポンプ３５へ供給するポンプ給水管３７とを設けたことを特徴とする液体微細化装置。 （もっと読む）

【課題】分解及び合体を繰り返しても塗料の通過経路が変形・損傷することがなく、安定して塗料を霧化することが可能な回転霧化頭を提供する。
【解決手段】本発明の回転霧化頭２０は、塗料部屋２７を内側に備えたインナーハウジング５０と、それを前方から受容可能な中央組付孔４１を有したアウターハウジング４０とに分割され、さらに、インナーハウジング５０が、前部と後部にインナーハウジング５１，６０に分割されている。そして、前部と後部のインナーハウジング５１，６０が回転係合突部５７と回転係合凹部６３とにより一体回転可能に結合され、中央組付孔４１の後方から挿入した工具９０にて後部インナーハウジング６０を一方か他方に回転させると、前部インナーハウジング５１とアウターハウジング４０とが中央組付孔４１内で螺合結合又は螺合解除されて、回転霧化頭２０を合体及び分解することができる。 （もっと読む）

【課題】従来より容易に塗料部屋内の全体を清掃することが可能な回転霧化頭を提供する。
【解決手段】本発明の回転霧化頭２０は、塗料部屋２７を内側に備えたインナーハウジング５０と、そのインナーハウジング５０を前方から受容可能な中央組付孔４１を有したアウターハウジング４０とに分割されると共に、インナーハウジング５０が、フロントインナー構成体７３と１対のサイドインナー構成体７１，７２と合体保持リング７４とに分割されている。これにより、回転霧化頭２０が分解されると、塗料部屋２７の全体が側方に開放し、従来より容易に塗料部屋２７内の全体を清掃することができる。 （もっと読む）

【課題】塗着効率の低下を招くことなく、オーバースプレーの低減を図ることができる回転霧化塗装装置およびそれによる塗装方法を提供する。
【解決手段】複数の吹出口４ａ・４ａ・・・および複数の吹出口４ｂ・４ｂ・・・は、該吹出口から吹き出されるエアが、ベルカップ３の周端部３ｄもしくは該周端部３ｄよりも外側に向けて吹き出される向きに形成される第一の吹出口群４Ａと、前記吹出口から吹き出されるエアが、ベルカップ３の塗料の噴霧方向Ｆに対する背面側の部位である背面部３ｂに向けて吹き出される向きに形成される第二の吹出口群４Ｂと、により構成され、エア供給装置７は、第一の吹出口群４Ａに接続される第一エア供給部７ａと、第二の吹出口群４Ｂに接続される第二エア供給部７ｂと、を備え、第一エア供給部７ａと第二エア供給部７ｂを選択可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルヘッドと回転スプレイにおいて、できる限りわずかな構造的手間によって、発生されるスプレイビームが対象上へ合焦されるようにすることを目的とする。
【解決手段】対象上へコーティング材料を塗布するための回転スプレイ用のノズルヘッドにおいて、回転軸１８を中心に回転可能な、流出面３４を有するベル形皿８が設けられており、その流出面へコーティング材料が、コーティング材料がベル形皿８から放出されるように、供給可能である。ベル形皿８に、回転軸１８に対して回転対称の、排出環状間隙４４を備えたラバル環状ノズル５６が形成されており、前記環状間隙から作業流体が、ベル形皿８から放出されたコーティング材料上へ吹出し可能である。さらに、回転スプレイ２が記載されている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で必要なシェーピングエアを得ることができる回転霧化塗装装置におけるシェーピングエアの供給構造を提供する。
【解決手段】 回転霧化塗装装置におけるシェーピングエアの供給構造であって、塗装装置本体２の先端に回転自在に配設されたベル型霧化頭３の回転軸５を中心にして、このベル型霧化頭３を囲むリング状のエアキャップ４を配置し、このエアキャップ４には、塗装装置本体２のエア供給路１５に連通するリング状のマニホールド１０と、このマニホールド１０と先端面７に設けた開口８を連通するシェーピングエア噴出孔１１と、先端面７に設けた開口８と外周面１２に設けた開口１３を連通するアシストエア孔１４が形成され、このアシストエア孔１４は、シェーピングエア噴出孔１１に対し傾斜角４５度をもって形成されている。 （もっと読む）

【課題】回転霧化頭の裏面及びセンター部への塗料の付着を低減させることができる回転霧化式塗装装置を提供することを課題とする。
【解決手段】シェーピングエアリング３６は、内側リング部材５１と、この内側リング部材５１に対向して設けられ外側部分を構成する外側リング部材５２と、この外側リング部材５２と内側リング部材５１との間に形成されエアを導く給気通路５３と、この給気通路５３の先端側に設けられ回転霧化頭の外周先端に向けてシェーピングエアを噴出する噴出口５５とからなる。外側リング部材５２の先端部にシェーピングエアの噴出方向を規制するガイド５６が設けられている。ガイドは外側リング部材５２の内面５７から延ばされ、内側リング部材５１の外面５８に接している。
【効果】回転霧化頭の裏面及びセンター部への塗料の付着を低減することができる技術が提供される。 （もっと読む）

【課題】洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】連結手段５７は、支持穴５２を囲うようにして支持ブロック５３に設けられた複数個のピン穴６１〜６８と、これらのピン穴６１〜６８の一つに嵌合するように回転ブロック５３から突出されたピン７１とからなる。ピン７１をピン穴６１からピン穴６２に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は矢印（１）のように移動する。同様にピン７１をピン穴６２から隣接するピン穴６３〜６８に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は回転中心５４を中心にして一周する。
【効果】回転ブロックを回転させ支持ブロックに固定するだけで洗浄ノズルの位置が調整されるので、洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力が高く、噴射ノズル数の増加に伴う洗浄水流量の確保が容易であり、装置の構造を簡略化して小型・軽量化を図れ、洗浄時に装置の振動が生じにくく、均一で効率的な洗浄ができる回転型高圧水噴射式洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧水を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する複数の高圧水噴射ノズル２１を備え、複数の噴射ノズルを円周方向に沿って等間隔にかつ長手方向に沿って複数列設けたノズルホルダー２と、このノズルホルダーと一体回転可能に接続され各噴射ノズル２１の高圧水供給路４１に連通可能な複数の高圧水導入路４５を円周方向に等間隔にかつ長手方向に沿って設けた回転型分配弁４と、ノズルホルダー２および回転型分配弁４の一方向連続回転手段７とを備え、回転型分配弁４から高圧水を複数の高圧水導入路４５に順次・間欠的に供給し、ノズルホルダ２ーの複数の噴射ノズル２１から高圧水を順番にかつ間欠的に噴射させる。 （もっと読む）

【課題】塗布パターン幅を所望の大きさに設定でき、塗装効率を向上できる静電塗装装置を提供すること。
【解決手段】高電圧が印加された状態で回転することで、塗料を帯電させて霧化する回転霧化頭２２と、当該回転霧化頭２２を囲繞して形成されたエア噴出口４１１を開口部とするエア噴出孔４１と、エア噴出口４１１の外周を囲繞し、且つエア噴出口４１１よりも前方に突出して配置された壁部７１と、を備えた静電塗装装置１であって、壁部７１は、エア噴出口４１１から噴出されたエア流を偏向させ噴射パターン幅を変化させる。壁部７１は可動であってもよく、また、壁部７１の代わりに複数の第１の分割壁部７２、第２の分割壁部７３としてもよい。 （もっと読む）

【課題】色替え時の洗浄工程において容易に付着塗料を洗い流すことが可能なフィードチューブを備えた回転霧化塗装機を提供すること。
【解決手段】フィードチューブ２は、複数の塗料供給管２１、２２と第１外管２３と第２外管２４とを有する。第１外管２３の開口端２３１は、塗料供給管２１、２２の開口端２１１、２２１よりも基端側に後退した位置に配置され、第２外管２４の開口端２４１は、第１外管２３の開口端２３１よりも基端側に後退した位置に配置されている。塗料供給管２１、２２の外周面と第１外管２３の内周面との間には第１洗浄通路３１が形成され、第１外管２３の外周面と第２外管２４の内周面との間には第２洗浄通路３２が形成されている。塗料替え時の洗浄を行う際には、塗料供給管２１、２２内、第１洗浄通路３１及び第２洗浄通路３２に洗浄剤が流通するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄液が塗料フィードチューブに逆流する虞がなく、回転霧化頭の洗浄効率を向上させることができる塗装ガンの洗浄技術を提供することを課題とする。
【解決手段】図（ｂ）の洗浄液を吐出する洗浄ノズル２４を準備する（洗浄ノズル準備工程）。洗浄ノズルの軸が外側塗料吐出孔４２の中心軸に重なるようにして、外側塗料吐出孔４２に洗浄ノズル２４を対向配置する（洗浄ノズル対向配置工程）。洗浄ノズル２４から外側塗料吐出孔４２に矢印（６）のように洗浄液を吹き込み、矢印（８）のように回転霧化頭２５の裏側としての塗料溜まり４４を洗浄し、矢印（９）のように中心部塗料吐出孔４１から排出する（洗浄工程）。
【効果】洗浄液が塗料フィードチューブに逆流する虞がなく、回転霧化頭の洗浄効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】設備費の抑制を図りつつ、塗装装置の塗料の吐出状態を精度よく監視できるようにする。
【解決手段】塗料供給源２４，２６と、該塗料供給源２４，２６から供給された塗料を塗料霧化手段１０により霧化しながら吐出する塗装機４とを備えた塗装装置２による塗料の吐出状態を監視する方法において、塗装機４による塗料の吐出量に応じて変化する塗料霧化手段１０の状態量（例えば塗料霧化手段１０を回転駆動するモータ７０の回転数）に基づき、塗料の吐出状態を判定する。 （もっと読む）