【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板１０の被成膜面１２上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面１２の高さ位置Ｓにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅ同士の間の間隔Ｌ１〜Ｌ４が所定の値となるように複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅを配置する工程と、を備え、間隔Ｌ１〜Ｌ４は、２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 （もっと読む）

【課題】液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズルにおいて、ノズルの異常および劣化の程度を適切に判定する。
【解決手段】ノズル検査装置２００は、計測部２１１，２１２と、判定部２３２とを備え、液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズル１１０における異常の有無を検査する。計測部２１１，２１２は、二流体ノズル１１０に供給される液体の圧力および流量の少なくとも一方に関する情報を計測する。判定部２３２は、計測部２１１，２１２によって計測された情報について、予め定められた時間において検出された上記情報の平均値からの上記情報の各々の変動量の大きさに基づいて、二流体ノズル１１０における異常の有無、および劣化の程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】天板の表面に設けられた凹状の型内の内壁や底面に均一、且つ、充分に油を塗布することが可能な新規かつ独自の油塗布装置を提供する。
【解決手段】ベルト２１によって天板１が搬送され、ベルト２１の上方にはノズル列３が設置され、ノズル水平移動機構４Ａ及びノズル上下移動機構４Ｂによって上下及び水平に移動させることができる。ベルト２１によって搬送されてくる天板１は近接センサ９によって検出され、この検知信号と天板１の位置及び予め記憶させてある天板１の形状に関する情報とに基づいて移動機構４Ａ，４Ｂを動作させて各ノズルを所定位置に移動させると共に各ノズルから食用油を噴射して天板１上に設けられた凹部１１の内部に所定量の油を均一に塗布する様に各ノズルの位置及び食用油の噴射をコントローラ８で制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の膜厚の均一性を向上する。
【解決手段】成膜材料を微粒子化して噴霧する噴霧口１３１を各々有する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構から噴霧された成膜材料を基板上に分布を補正して到達させるための噴出口１９１を各々有する複数の送風機構とを備える。複数の噴霧機構は、各々の噴霧口１３１が基板と対向し、かつ、平面視において基板の搬送方向と交差する方向に互いに間隔を置くように配置されている。複数の送風機構は、各々の噴出口１３１が複数の噴霧機構のうちの少なくとも１つの噴霧機構の噴霧口１３１の周囲に位置するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の厚さの均一性を向上する。
【解決手段】筐体１５０と、筐体１５０の内部に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構の基板２００上への成膜量を所定の範囲に収めるように調節する調節手段とを備える。調節手段は、複数の噴霧機構の各々の基板２００上への成膜量を調節する、または、基板２００上への成膜量に関して複数の群に分けられた複数の噴霧機構においてこの複数の群の各々に含まれる噴霧機構毎に基板２００上への成膜量を調節する。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数の膜を連続して高品質に成膜できる。
【解決手段】複数の成膜室１００の各々は、筐体１５０と、この筐体１５０内に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧するスプレーノズル１３０とを有する。筐体１５０は、１つの側壁に位置して排気手段と接続される排気口１５２を有し、かつ、複数の成膜室１００を順次通過する基板２００と対向する開放部を加熱炉１２０内に有する。上記ミストは、複数の成膜室１００の各々において、スプレーノズル１３０から開放部を通過して排気口１５２に向けて流動する。排気手段による排気口１５２からの排気流量は、筺体１５０内への流入流量より大きい。 （もっと読む）

【課題】レンズ面に塗布液の層を厚みが薄くかつレンズ面の全域にわたって均等になるように形成できる眼鏡レンズ用塗布液塗布装置を提供する。
【解決手段】スプレーノズル２から塗布液を霧状に噴出させて眼鏡レンズ４のレンズ面４ａに塗布する塗布液塗布部５を備える。塗布液塗布部５は、スプレーノズル２から噴出する噴霧の中心線Ｌ１がレンズ面４ａの目標塗布位置８を通る法線Ｌ２と略一致するようにレンズ面４ａをスプレーノズル２に対向させながら、眼鏡レンズ４をスプレーノズル２に対して移動させるものである。 （もっと読む）

【課題】塗料の物性に応じて塗料の霧化状態や噴射形状を調整する。
【解決手段】ハンドガン２０はエアにより車両に塗料を吹付ける。塗装対象車両認識部４１は車両に吹付ける塗料の物性を確認する。エア供給量記憶部４２は塗料の物性とハンドガン２０に供給するエアの量との関係を記憶する。エア供給量制御部４３は塗装対象車両認識部４１が確認した塗料の物性とエア供給量記憶部４２が記憶する塗料の物性およびハンドガン２０に供給するエアの量との関係から、ハンドガン２０に供給するエアの量を制御する。 （もっと読む）

【課題】静電霧化装置の必要以上の故障判定を行うことを抑制することができる衛生洗浄装置を提供する。
【解決手段】衛生洗浄装置に一体に設けられトイレルームの脱臭と除菌を行う静電霧化装置８００において、霧化電極８３２と対向電極８３３と間の放電電流の異常を検知する異常検知手段７４０と異常検知の回数をカウントするカウント手段７５０と時計手段７３０とを備え、異常検知手段７４０が検知した異常検知の回数が所定時間内に連続して所定回数以上カウントされた場合に、静電霧化装置８００を故障と判定することにより、故障判定に費やす時間を長くすることにより、結露水による霧化電極８３２と対向電極８３３間の短絡状態が解消することが可能となり、必要以上に故障判定を行うことを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の膜厚の均一性を向上する。
【解決手段】基板２００を搬送経路に沿って搬送する搬送コンベアと、搬送経路中に位置する成膜室１００と、搬送経路に沿ってトンネル状に位置し、成膜室１００を通過する基板２００を取り囲んで加熱する加熱炉１２０とを備える。成膜室１００は、筐体１５０と、この筐体１５０内に成膜材料を微粒子化した成膜ガスを噴霧する噴霧機構と、筐体１５０の１つの側壁に位置して成膜ガスを排気するための排気口とを有する。筐体１５０は、成膜室１００を通過する基板２００と対向する開放部を加熱炉１２０内に有する。成膜ガスは、成膜室１００において、噴霧機構から開放部を通過して排気口に向けて流動する。開放部は、対向して通過する基板２００の搬送方向と直交する方向において、基板２００の幅に対して１．１５倍以上１．４倍以下の幅を有する。 （もっと読む）

【課題】塗装ブースの小型化を図ることができる塗装システムを提供すること。
【解決手段】天井１１と側壁１２ａ，１２ｂとで囲まれた塗装ブース１０と、塗装ブース１０内に配置され、被塗装物２を搬送する搬送ライン５０と、被塗装物２に対して塗装を行なう塗装ロボット２０ａ，２０ｂとを備える。そして、塗装ロボット２０ａ，２０ｂは、塗装ブース１０の側壁１２ａ，１２ｂ側に固定されたベース部２１と、ベース部２１に連結された７軸構成のアーム部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄、及び空調のためのエネルギーを抑えながら、携帯端末用筐体の塗装を可能にするための、携帯端末用筐体の塗装システム及びそれを用いた携帯端末用筐体の塗装方法を提供すること。
【解決手段】搬送ライン２の途上に、インクジェット方式でワークを塗装するインクジェット装置７と、霧化塗料をワークに向けて噴射してワークを塗装する塗装ブース８と、ワークに吐着した塗料を硬化するＵＶ硬化装置１２を配設し、搬送ライン２上を搬送されているワークについて、平面部分をインクジェット装置７内においてインクジェット方式で塗装し、側面部分を塗装ブース８内において塗料噴射手段１１で塗装し、インクジェット方式によりワークの平面部分に吐着されたインクと塗料噴射手段１１によってワークの側面部分に吐着された塗料をＵＶ硬化装置１２内においてＵＶ照射によって硬化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄、及び空調のためのエネルギーを抑えながら、インクジェット方式で携帯端末用筐体の塗装を可能にすること。
【解決手段】鉛直方向に回動自在の第１ステージ１０と水平方向に回動自在の第２ステージ１１を有したワーク供給テーブルを具備するワーク搬送装置５と、ワーク搬送装置５の軌道の途上に配設されたインクジェット装置１２及びＵＶ硬化装置１６と、装置全体の作動を制御する制御部２１を具備し、インクジェット装置１２は上下動自在のプリンタヘッド１４を具備し、ワーク搬送装置５によって移動しているワークにプリンタヘッド１４からインクを着弾させることでワーク平面を塗装し、第１ステージ１０及び第２ステージ１１を所定角度回動することでプリンタヘッド１４に対してワークを所定角度だけ傾けるとともにプリンタヘッド１４を所定長だけ上昇することで、ワークの側面を塗装可能にした。 （もっと読む）

【課題】スプレー法により薄膜を形成する場合に、均一な膜形成をすることができ、かつ、自動化することができる薄膜の形成方法およびその形成装置を提供する。
【解決手段】加熱し得るカート４１の表面に基板３１を載置し、その基板３１を加熱した状態で、第１の移動手段４３により、複数個纏めて第１の方向Ｘ１に間欠的に移動させる。隣接する２個のカート４１の間の上方に噴霧器４２が配置されており、カート４１が移動する際に、噴霧器４２により基板３１の表面に薄膜材料を吹き付ける。カート４１が停止しているときは薄膜材料の噴霧を停止する。この噴霧器４２による噴霧と停止を２回以上繰り返した後、カート４１の向きを変えないでカート４１の移動方向を変えて第２の方向Ｘ２で同様に、噴霧と停止を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】スライドドアを車体に対して各種作業に適した状態で位置決め保持可能とし、かつ搬送ライン周辺の作業スペースの縮小を図ることができるドア治具を提供する。
【解決手段】第一アーム８及び第二アーム９の一端は、車体側ベース部２のブラケットに回動軸を異にして回転自在に接続され、第一アーム８及び第二アーム９の他端は、ピボット部材１３の一側に回動軸を異にして回転自在に接続され、第三アーム２７及び第四アーム２８の一端は、ピボット部材１３の他側に回動軸を異にして回転自在に接続され、第三アーム２７及び第四アーム２８の他端は、ヒンジ部材３７に回転軸を異にして回転自在に接続され、スライドドア側ベース部３は、ヒンジ部材３７に連結軸４６を介して回転自在に支持される。 （もっと読む）

【課題】均一な浮上量で基板を浮上させること。
【解決手段】所定領域に液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記所定領域を通過するように基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、少なくとも前記所定領域において前記基板のうち基板搬送方向に直交する方向の端部の浮上量を調整する調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗装ガンの周囲を箱状のフードで覆っている船体外板の塗装装置。塗装ミストの飛散を防止すべく吸引ファンを用いても塗装に対して好ましくない影響が生じることを少なくできる。
【解決手段】塗装ユニットが、箱状のフードと、フード内に配備されていてフードに周囲が覆われている塗装ガンとを備えている。前記フードは、互いに対向している第一の側壁と第二の側壁とを備えている。第一の側壁及び第二の側壁はそれぞれフィルター部を有し、第一の側壁及び第二の側壁のフィルター部との間にそれぞれ吸引空間部を形成し、当該吸引空間部をフードの内側空間部と区画する一対の仕切り壁が第一の側壁及び第二の側壁におけるフィルター部の近傍に配備され、前記吸引空間部から前記フィルター部を介して吸引を行う吸引ファンが前記フィルター部が配備されている第一の側壁及び第二の側壁の外側にそれぞれ配備されている。 （もっと読む）

【課題】基板主面の全面に亙るウェット処理の均一化を図り、処理の歩留まりの向上や品質改善を達成することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され薬液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備え、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、傾斜させた姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の傾斜下端方向に向けて、基板Ｗの表面１０２の傾斜上端部付近から傾斜下端部付近にかけて、基板Ｗの表面１０２の法線３００に対して漸次小さくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の薬液の流速を傾斜上端部付近では相対的に小さく傾斜下端部付近では相対的に大きくする。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】スプレーガンの数を増加した場合でも塗装ブースの大型化を抑えて、空調のためのエネルギーの増加を抑えることを可能にする。
【解決手段】ワークを搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の途上に配設された塗装ブース７と、塗装ブース７内に配設された塗料噴射手段１０を具備し、コンベア３を連続送りするモーター１１を塗装ブース７の手前に配置し、コンベア３をタクト送りするモーター１２を塗装ブース７の前方に配置し、連続送り用モーター１１と塗装ブース１２間に、未塗装のワークを待機させる塗装待ちエリア１３を配置し、タクト送り用モーター１２の前方側に、塗装済みワークを待機させる搬送待ちエリア１６を配置し、ワークの塗装中は、タクト送り用モーター１２を停止して塗装ブース７内はコンベアを移動せず、コンベア３により搬送されてくる未塗装のワークを塗装待ちエリア１３に待機させることとした。 （もっと読む）