【課題】液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズルにおいて、ノズルの異常および劣化の程度を適切に判定する。
【解決手段】ノズル検査装置２００は、計測部２１１，２１２と、判定部２３２とを備え、液体と気体とを混合して噴射する二流体ノズル１１０における異常の有無を検査する。計測部２１１，２１２は、二流体ノズル１１０に供給される液体の圧力および流量の少なくとも一方に関する情報を計測する。判定部２３２は、計測部２１１，２１２によって計測された情報について、予め定められた時間において検出された上記情報の平均値からの上記情報の各々の変動量の大きさに基づいて、二流体ノズル１１０における異常の有無、および劣化の程度を判定する。 （もっと読む）

【課題】天板の表面に設けられた凹状の型内の内壁や底面に均一、且つ、充分に油を塗布することが可能な新規かつ独自の油塗布装置を提供する。
【解決手段】ベルト２１によって天板１が搬送され、ベルト２１の上方にはノズル列３が設置され、ノズル水平移動機構４Ａ及びノズル上下移動機構４Ｂによって上下及び水平に移動させることができる。ベルト２１によって搬送されてくる天板１は近接センサ９によって検出され、この検知信号と天板１の位置及び予め記憶させてある天板１の形状に関する情報とに基づいて移動機構４Ａ，４Ｂを動作させて各ノズルを所定位置に移動させると共に各ノズルから食用油を噴射して天板１上に設けられた凹部１１の内部に所定量の油を均一に塗布する様に各ノズルの位置及び食用油の噴射をコントローラ８で制御する。 （もっと読む）

【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板１０の被成膜面１２上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面１２の高さ位置Ｓにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅ同士の間の間隔Ｌ１〜Ｌ４が所定の値となるように複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅを配置する工程と、を備え、間隔Ｌ１〜Ｌ４は、２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の膜厚の均一性を向上する。
【解決手段】成膜材料を微粒子化して噴霧する噴霧口１３１を各々有する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構から噴霧された成膜材料を基板上に分布を補正して到達させるための噴出口１９１を各々有する複数の送風機構とを備える。複数の噴霧機構は、各々の噴霧口１３１が基板と対向し、かつ、平面視において基板の搬送方向と交差する方向に互いに間隔を置くように配置されている。複数の送風機構は、各々の噴出口１３１が複数の噴霧機構のうちの少なくとも１つの噴霧機構の噴霧口１３１の周囲に位置するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数の膜を連続して高品質に成膜できる。
【解決手段】複数の成膜室１００の各々は、筐体１５０と、この筐体１５０内に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧するスプレーノズル１３０とを有する。筐体１５０は、１つの側壁に位置して排気手段と接続される排気口１５２を有し、かつ、複数の成膜室１００を順次通過する基板２００と対向する開放部を加熱炉１２０内に有する。上記ミストは、複数の成膜室１００の各々において、スプレーノズル１３０から開放部を通過して排気口１５２に向けて流動する。排気手段による排気口１５２からの排気流量は、筺体１５０内への流入流量より大きい。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の厚さの均一性を向上する。
【解決手段】筐体１５０と、筐体１５０の内部に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構の基板２００上への成膜量を所定の範囲に収めるように調節する調節手段とを備える。調節手段は、複数の噴霧機構の各々の基板２００上への成膜量を調節する、または、基板２００上への成膜量に関して複数の群に分けられた複数の噴霧機構においてこの複数の群の各々に含まれる噴霧機構毎に基板２００上への成膜量を調節する。 （もっと読む）

【課題】搬器に付着した塗料に起因するワークの塗装不良の発生を防止しながら、ワークが搭載される搬器の個数の削減および設備の小型化により、設備のコストおよび設置コストを削減する搬送設備を提供する。
【解決手段】塗装ライン１の搬送設備１００は、塗装工程において自動車ボディＷが搭載されている塗装用搬器Ｃ１を搬送する塗装用コンベヤ１１１と、乾燥工程において、塗装工程で塗装された塗装済みボディＷ１が搭載された乾燥用搬器Ｃ２を搬送する乾燥用コンベヤ１１４と、搬器洗浄工程において、塗装工程での塗料が付着している塗装用搬器Ｃ１である塗料付着搬器Ｃｂの洗浄が行われる塗料付着搬器Ｃｂを搬送し、洗浄が完了した洗浄済み搬器Ｃ３を乾燥用コンベヤ１１４まで搬送する搬器洗浄用コンベヤ１１３とを備える。乾燥用搬器Ｃ２は洗浄済み搬器Ｃ３である。 （もっと読む）

【課題】塗料の物性に応じて塗料の霧化状態や噴射形状を調整する。
【解決手段】ハンドガン２０はエアにより車両に塗料を吹付ける。塗装対象車両認識部４１は車両に吹付ける塗料の物性を確認する。エア供給量記憶部４２は塗料の物性とハンドガン２０に供給するエアの量との関係を記憶する。エア供給量制御部４３は塗装対象車両認識部４１が確認した塗料の物性とエア供給量記憶部４２が記憶する塗料の物性およびハンドガン２０に供給するエアの量との関係から、ハンドガン２０に供給するエアの量を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の膜厚の均一性を向上する。
【解決手段】基板２００を搬送経路に沿って搬送する搬送コンベアと、搬送経路中に位置する成膜室１００と、搬送経路に沿ってトンネル状に位置し、成膜室１００を通過する基板２００を取り囲んで加熱する加熱炉１２０とを備える。成膜室１００は、筐体１５０と、この筐体１５０内に成膜材料を微粒子化した成膜ガスを噴霧する噴霧機構と、筐体１５０の１つの側壁に位置して成膜ガスを排気するための排気口とを有する。筐体１５０は、成膜室１００を通過する基板２００と対向する開放部を加熱炉１２０内に有する。成膜ガスは、成膜室１００において、噴霧機構から開放部を通過して排気口に向けて流動する。開放部は、対向して通過する基板２００の搬送方向と直交する方向において、基板２００の幅に対して１．１５倍以上１．４倍以下の幅を有する。 （もっと読む）

【課題】塗装ブースの小型化を図ることができる塗装システムを提供すること。
【解決手段】天井１１と側壁１２ａ，１２ｂとで囲まれた塗装ブース１０と、塗装ブース１０内に配置され、被塗装物２を搬送する搬送ライン５０と、被塗装物２に対して塗装を行なう塗装ロボット２０ａ，２０ｂとを備える。そして、塗装ロボット２０ａ，２０ｂは、塗装ブース１０の側壁１２ａ，１２ｂ側に固定されたベース部２１と、ベース部２１に連結された７軸構成のアーム部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄、及び空調のためのエネルギーを抑えながら、インクジェット方式で携帯端末用筐体の塗装を可能にすること。
【解決手段】鉛直方向に回動自在の第１ステージ１０と水平方向に回動自在の第２ステージ１１を有したワーク供給テーブルを具備するワーク搬送装置５と、ワーク搬送装置５の軌道の途上に配設されたインクジェット装置１２及びＵＶ硬化装置１６と、装置全体の作動を制御する制御部２１を具備し、インクジェット装置１２は上下動自在のプリンタヘッド１４を具備し、ワーク搬送装置５によって移動しているワークにプリンタヘッド１４からインクを着弾させることでワーク平面を塗装し、第１ステージ１０及び第２ステージ１１を所定角度回動することでプリンタヘッド１４に対してワークを所定角度だけ傾けるとともにプリンタヘッド１４を所定長だけ上昇することで、ワークの側面を塗装可能にした。 （もっと読む）

【課題】広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる基板塗布装置を提供する。
【解決手段】防湿剤を基板６１上に吐出する吐出ユニット２と、吐出ユニット２と基板６１とを相対的に３次元方向に移動させる移動部とを備え、吐出ユニット２は、防湿剤を基板６１上に吐出する第１及び第２のノズル１１，１２を有するノズルユニット６と、基板６１に防湿剤を塗布する際に、移動部による吐出ユニット２の移動方向と直交する方向にノズルユニット６を振動可能な振動手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】スプレー法により薄膜を形成する場合に、均一な膜形成をすることができ、かつ、自動化することができる薄膜の形成方法およびその形成装置を提供する。
【解決手段】加熱し得るカート４１の表面に基板３１を載置し、その基板３１を加熱した状態で、第１の移動手段４３により、複数個纏めて第１の方向Ｘ１に間欠的に移動させる。隣接する２個のカート４１の間の上方に噴霧器４２が配置されており、カート４１が移動する際に、噴霧器４２により基板３１の表面に薄膜材料を吹き付ける。カート４１が停止しているときは薄膜材料の噴霧を停止する。この噴霧器４２による噴霧と停止を２回以上繰り返した後、カート４１の向きを変えないでカート４１の移動方向を変えて第２の方向Ｘ２で同様に、噴霧と停止を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】スライドドアを車体に対して各種作業に適した状態で位置決め保持可能とし、かつ搬送ライン周辺の作業スペースの縮小を図ることができるドア治具を提供する。
【解決手段】第一アーム８及び第二アーム９の一端は、車体側ベース部２のブラケットに回動軸を異にして回転自在に接続され、第一アーム８及び第二アーム９の他端は、ピボット部材１３の一側に回動軸を異にして回転自在に接続され、第三アーム２７及び第四アーム２８の一端は、ピボット部材１３の他側に回動軸を異にして回転自在に接続され、第三アーム２７及び第四アーム２８の他端は、ヒンジ部材３７に回転軸を異にして回転自在に接続され、スライドドア側ベース部３は、ヒンジ部材３７に連結軸４６を介して回転自在に支持される。 （もっと読む）

【課題】均一な浮上量で基板を浮上させること。
【解決手段】所定領域に液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記所定領域を通過するように基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、少なくとも前記所定領域において前記基板のうち基板搬送方向に直交する方向の端部の浮上量を調整する調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】スプレーガンの数を増加した場合でも塗装ブースの大型化を抑えて、空調のためのエネルギーの増加を抑えることを可能にする。
【解決手段】ワークを搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の途上に配設された塗装ブース７と、塗装ブース７内に配設された塗料噴射手段１０を具備し、コンベア３を連続送りするモーター１１を塗装ブース７の手前に配置し、コンベア３をタクト送りするモーター１２を塗装ブース７の前方に配置し、連続送り用モーター１１と塗装ブース１２間に、未塗装のワークを待機させる塗装待ちエリア１３を配置し、タクト送り用モーター１２の前方側に、塗装済みワークを待機させる搬送待ちエリア１６を配置し、ワークの塗装中は、タクト送り用モーター１２を停止して塗装ブース７内はコンベアを移動せず、コンベア３により搬送されてくる未塗装のワークを塗装待ちエリア１３に待機させることとした。 （もっと読む）

【課題】金属球などの金属物の表面に二酸化チタン等のチタン酸化物を、膜圧が均一になるように被覆する。
【解決手段】搬送回転ねじ４２が回転すると、上記らせん溝４６に掛った金属球７は、凹溝４４、４４に沿って搬送される。この搬送される金属球７は、搬送回転ねじ４２及び搬送回転ローラー４３、４３の回転によって、金属球７の進行方向とほぼ直交する方向に回転される。上記搬送回転ローラー４３、４３の外周面の長手方向に沿って延びる直線状の一本または複数本の長手溝４７が形成され、長手溝４７が金属球７を通過するたびに、金属球７の向きが変えられる。これにより、上記金属球７の回転の向きが変えられ、金属球７の向きが種々ランダムに変更され、スプレーガン４８から金属球７の表面に噴霧あれ被覆される二酸化チタンの膜厚が、金属球７表面全体にわたってほぼ均一となる。 （もっと読む）

【課題】本体と、該本体に対して揺動可能に連結された部材とを有する被塗装物に対して、効率よく塗装を施す。
【解決手段】塗装システムは、下流側の自動車車体１４のボンネット２２及びトランク２６に対して塗装を施す第１塗装ロボット１６ａ、１６ｂと、ボンネット２２及びトランク２６を開閉するためのオープナーロボット１８と、上流側の自動車車体１４ａの乗員室ドア２４ａ〜２４ｄに対して塗装を施す第２塗装ロボット１６ｃ、１６ｄとを有する。第１塗装ロボット１６ａ、１６ｂによる自動車車体１４のボンネット２２の内側への塗装作業が終了した後、オープナーロボット１８が自動車車体１４のボンネット２２を閉止する。この閉止の間、第１塗装ロボット１６ａ、１６ｂは、自動車車体１４のＢピラー４０ａ、４０ｂに対して塗装を施す。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両の台車などの大型の被清掃物であってもドライアイスブラスト式清掃によって清掃が可能且つ省スペース化が可能なドライアイスブラスト式清掃装置の提供。
【解決手段】液化炭酸ガスから粒子状のドライアイス（ショット材）を生成して噴射可能な噴射ノズル２０を採用することで、ドライアイス状態ではなく液化炭酸ガスでの保管が可能である。また、ロボットアームの採用により、ドライアイスブラスト式清掃による被清掃物の清掃を自動化でき、更なる省スペース化、清掃員の安全性確保およびショット材消費量低減が可能となる。また、大型の被清掃物や複雑形状の被清掃物に対してドライアイスブラストをくまなく噴射できる。さらに、清掃に必要な粒子状のドライアイスの必要量に応じて可搬式の液化炭酸ガスボンベの数量を調節することで液化炭酸ガス貯蔵部３０の液化炭酸ガス貯蔵量を調節でき、更なる省スペース化が可能となる。 （もっと読む）