【課題】被処理基板上に形成される薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】被処理基板１０の被成膜面１２上に薄膜を成膜する薄膜形成方法は、複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスの被成膜面１２の高さ位置Ｓにおけるガス風速の分布を測定する工程と、隣り合う２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅ同士の間の間隔Ｌ１〜Ｌ４が所定の値となるように複数の２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅを配置する工程と、を備え、間隔Ｌ１〜Ｌ４は、２流体スプレーノズル２２Ａ〜２２Ｅの各々から噴霧される微粒子ガスのそれぞれのガス風速の分布に基づいて薄膜の膜厚が均一となるように所定の値に設定される。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜される膜の膜厚の均一性を向上する。
【解決手段】成膜材料を微粒子化して噴霧する噴霧口１３１を各々有する複数の噴霧機構と、複数の噴霧機構から噴霧された成膜材料を基板上に分布を補正して到達させるための噴出口１９１を各々有する複数の送風機構とを備える。複数の噴霧機構は、各々の噴霧口１３１が基板と対向し、かつ、平面視において基板の搬送方向と交差する方向に互いに間隔を置くように配置されている。複数の送風機構は、各々の噴出口１３１が複数の噴霧機構のうちの少なくとも１つの噴霧機構の噴霧口１３１の周囲に位置するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上に複数の膜を連続して高品質に成膜できる。
【解決手段】複数の成膜室１００の各々は、筐体１５０と、この筐体１５０内に成膜材料１６０を微粒子化したミストを噴霧するスプレーノズル１３０とを有する。筐体１５０は、１つの側壁に位置して排気手段と接続される排気口１５２を有し、かつ、複数の成膜室１００を順次通過する基板２００と対向する開放部を加熱炉１２０内に有する。上記ミストは、複数の成膜室１００の各々において、スプレーノズル１３０から開放部を通過して排気口１５２に向けて流動する。排気手段による排気口１５２からの排気流量は、筺体１５０内への流入流量より大きい。 （もっと読む）

【課題】レンズ面に塗布液の層を厚みが薄くかつレンズ面の全域にわたって均等になるように形成できる眼鏡レンズ用塗布液塗布装置を提供する。
【解決手段】スプレーノズル２から塗布液を霧状に噴出させて眼鏡レンズ４のレンズ面４ａに塗布する塗布液塗布部５を備える。塗布液塗布部５は、スプレーノズル２から噴出する噴霧の中心線Ｌ１がレンズ面４ａの目標塗布位置６を通る法線Ｌ２と略一致するようにスプレーノズル２をレンズ面４ａに対向させながら、スプレーノズル２をレンズ面４ａに沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】異なる種類の溶液、微粒子または気体を精度良く噴霧することができ、厚さが均一な交互吸着膜を成膜できる噴霧装置を提供する。
【解決手段】噴霧部１では、同様の構成をした３つのノズル（アニオン溶液を噴霧するアニオン用ノズル１３、カチオン溶液を噴霧するカチオン用ノズル１１、リンス溶液を噴霧するリンス用ノズル１２）が同一の水平方向に向いてノズル配置部１４に配置されている。これらのノズル間の間隔に関する間隔情報に従って各ノズル夫々に応じて補正された経路でノズル配置部１４を移動させながら、各ノズルが対応する溶液を噴霧する。 （もっと読む）

【課題】タイヤ、タイヤハウスおよび車体底部を洗浄でき、また、温度が低い環境でも適切に洗浄作業を行うことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】車両２のタイヤ５、タイヤハウス６および車体底部７を洗浄する洗浄装置１である。この洗浄装置１は、タイヤ５、タイヤハウス６および車体底部７へ向かって洗浄液を噴射する噴射手段11と、この噴射手段を制御する制御手段12とを備える。噴射手段11は、洗浄液を貯留するタンク13と、車体底部７に環状に位置するように配設した接続管14と、タンク13から接続管14へ洗浄液を圧送するポンプ15と、接続管14に取り付けられ、予め設定された設定圧力を基準に開閉状態が切り替わる複数の圧力バルブ16と、これらの各圧力バルブ16に取り付けられ洗浄液を噴射可能な噴射ノズル17とを有する。そして、制御手段12は、ポンプ15を制御することにより、循環状態と、噴射状態とに切り替える。 （もっと読む）

【課題】 ブームが実際に傾斜した場合にそのブームを速やかに、かつ適正に回動制御して迅速な傾斜角度の補正ができるトラクター直装式ブームスプレーヤを提供する。
【解決手段】 ブーム４が基部フレーム３に対してその重心近傍で回動自在に支持されているとともに、ブーム４を正逆方向に回動させるブーム回動手段８と、前輪車軸２４の車体２１に対する相対的な傾斜角度を計測する前輪傾斜角度計測手段９と、走行面の凹凸により後輪が傾斜する前に、前輪車軸の相対的な傾斜角度の方向と反対方向にブーム４を回動させるための準備をブーム回動手段８に実行させるブーム回動準備制御手段１１と、ブーム４の基部フレーム３に対する相対的な傾斜角度を計測するブーム傾斜角度計測手段１０と、ブーム４の相対的な傾斜角度が所定の範囲を超えた場合、回動準備中のブーム回動手段８を駆動してブーム４を制御するブーム回動制御手段１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】表面を印刷する装置であって、運動可能な複数の印刷ヘッドを備え、印刷ヘッドは、それぞれ個別に制御可能な複数のノズルを備えており、印刷ヘッドのための少なくとも１つの印刷位置および少なくとも１つの休止位置を備え、印刷ヘッドは、各位置に移動可能であるものを改良して、任意に成形された表面の印刷を実現するものを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの第１の印刷ヘッド３ａと第２の印刷ヘッド３ｂ〜３ｄとが、それぞれ異なるノズル配置構造１０ａ〜１０ｄを備えており、第１のモードでは、第１の印刷ヘッド３ａは、印刷位置５ａに配置されていて、第２の印刷ヘッド３ｂ〜３ｄは、休止位置５ｂ〜５ｄに配置されており、第２のモードでは、第１の印刷ヘッド３ａは、休止位置５ｂ〜５ｄに配置されていて、第２の印刷ヘッド３ｂ〜３ｄは、印刷位置５ａに配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数の塗装工程を一台のロボットで行えるようにし、装置全体の設置面積を縮小することが可能な塗装用ロボットシステムを提供する。
【解決手段】塗装用ロボットシステム１０は、ロボットアーム２１を有するロボット２０と、ロボット２０のロボットアーム２１の先端２１ａに取り付けられた支持部材３０と、支持部材３０に、回動軸Ｊ_１、Ｊ_２を中心に回動自在に取り付けられたスプレーユニット４０Ａ、４０Ｂとを備えている。各スプレーユニット４０Ａ、４０Ｂは、塗料を塗布する複数のスプレーガン５１Ａ−５３Ａ、５１Ｂ−５３Ｂを有している。複数のスプレーガン５１Ａ−５３Ａ、５１Ｂ−５３Ｂは、それぞれ前記回動軸Ｊ_１、Ｊ_２を中心に一体となって回動し、使用するスプレーガン５１Ａ−５３Ａ、５１Ｂ−５３Ｂを切り替え可能となっている。 （もっと読む）

【課題】広い領域及び狭い領域の両方に効率よく防湿剤を塗布することができる基板塗布装置を提供する。
【解決手段】防湿剤を基板６１上に吐出する吐出ユニット２と、吐出ユニット２と基板６１とを相対的に３次元方向に移動させる移動部とを備え、吐出ユニット２は、防湿剤を基板６１上に吐出する第１及び第２のノズル１１，１２を有するノズルユニット６と、基板６１に防湿剤を塗布する際に、移動部による吐出ユニット２の移動方向と直交する方向にノズルユニット６を振動可能な振動手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】スプレー法により薄膜を形成する場合に、均一な膜形成をすることができ、かつ、自動化することができる薄膜の形成方法およびその形成装置を提供する。
【解決手段】加熱し得るカート４１の表面に基板３１を載置し、その基板３１を加熱した状態で、第１の移動手段４３により、複数個纏めて第１の方向Ｘ１に間欠的に移動させる。隣接する２個のカート４１の間の上方に噴霧器４２が配置されており、カート４１が移動する際に、噴霧器４２により基板３１の表面に薄膜材料を吹き付ける。カート４１が停止しているときは薄膜材料の噴霧を停止する。この噴霧器４２による噴霧と停止を２回以上繰り返した後、カート４１の向きを変えないでカート４１の移動方向を変えて第２の方向Ｘ２で同様に、噴霧と停止を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】エジェクタ内部における塗料の付着、堆積を低減することが可能な塗装装置用エジェクタを提供する。
【解決手段】エジェクタ１は、吸引室１０と、吸引室１０内に第１流体としてのエアを噴射し負圧を発生させるノズル１１と、カートリッジ方式の塗装装置５から吸引した第２流体としてのエアを吸引室１０内に導く吸引流路１２と、吸引室１０内に流入した第１流体および第２流体を排気するディフューザ１３とを有する。吸引流路１２は、第１吸引流路１２１と第２吸引流路１２２とを有する。吸引室１０の壁面には、第１吸引流路１２１に連通する第１吸引出口１２９ａ、第２吸引流路１２２に連通する第２吸引出口１２９ｂ対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】塗装ガンの周囲を箱状のフードで覆っている船体外板の塗装装置。塗装ミストの飛散を防止すべく吸引ファンを用いても塗装に対して好ましくない影響が生じることを少なくできる。
【解決手段】塗装ユニットが、箱状のフードと、フード内に配備されていてフードに周囲が覆われている塗装ガンとを備えている。前記フードは、互いに対向している第一の側壁と第二の側壁とを備えている。第一の側壁及び第二の側壁はそれぞれフィルター部を有し、第一の側壁及び第二の側壁のフィルター部との間にそれぞれ吸引空間部を形成し、当該吸引空間部をフードの内側空間部と区画する一対の仕切り壁が第一の側壁及び第二の側壁におけるフィルター部の近傍に配備され、前記吸引空間部から前記フィルター部を介して吸引を行う吸引ファンが前記フィルター部が配備されている第一の側壁及び第二の側壁の外側にそれぞれ配備されている。 （もっと読む）

【課題】ワーク供給テーブルに多数個を装着できないワークの塗装に際し、複数個のワークを同時に塗装可能としたワーク供給装置を提供すること。
【解決手段】主軸２と主軸を回動自在に支持する回動手段３、４と主軸の上部に連結された連結アーム５と連結アームの両端部に連結された支持シャフト１０と支持シャフトの複数箇所に回転自在に連結されたワーク供給テーブル１４とワーク供給テーブルを回動するためのモーター７を具備し、支持シャフトは、ワーク供給テーブルが固定される複数個のテーブルユニット１６と、一端で連結アームに連結され他端でテーブルユニットが連結される基端側シャフト１９と、テーブルユニットを互いに連結する連結シャフト１８を具備し、テーブルユニットは、テーブル回動部１１と、連結シャフトに連結されたユニット側シャフト１７と、テーブル回動部とユニット側シャフトを連結する連結部１３を具備した。 （もっと読む）

【課題】基板主面の全面に亙るウェット処理の均一化を図り、処理の歩留まりの向上や品質改善を達成することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され薬液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備え、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、傾斜させた姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の傾斜下端方向に向けて、基板Ｗの表面１０２の傾斜上端部付近から傾斜下端部付近にかけて、基板Ｗの表面１０２の法線３００に対して漸次小さくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の薬液の流速を傾斜上端部付近では相対的に小さく傾斜下端部付近では相対的に大きくする。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】スプレーガンの数を増加した場合でも塗装ブースの大型化を抑えて、空調のためのエネルギーの増加を抑えることを可能にする。
【解決手段】ワークを搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の途上に配設された塗装ブース７と、塗装ブース７内に配設された塗料噴射手段１０を具備し、コンベア３を連続送りするモーター１１を塗装ブース７の手前に配置し、コンベア３をタクト送りするモーター１２を塗装ブース７の前方に配置し、連続送り用モーター１１と塗装ブース１２間に、未塗装のワークを待機させる塗装待ちエリア１３を配置し、タクト送り用モーター１２の前方側に、塗装済みワークを待機させる搬送待ちエリア１６を配置し、ワークの塗装中は、タクト送り用モーター１２を停止して塗装ブース７内はコンベアを移動せず、コンベア３により搬送されてくる未塗装のワークを塗装待ちエリア１３に待機させることとした。 （もっと読む）

【課題】金属球などの金属物の表面に二酸化チタン等のチタン酸化物を、膜圧が均一になるように被覆する。
【解決手段】搬送回転ねじ４２が回転すると、上記らせん溝４６に掛った金属球７は、凹溝４４、４４に沿って搬送される。この搬送される金属球７は、搬送回転ねじ４２及び搬送回転ローラー４３、４３の回転によって、金属球７の進行方向とほぼ直交する方向に回転される。上記搬送回転ローラー４３、４３の外周面の長手方向に沿って延びる直線状の一本または複数本の長手溝４７が形成され、長手溝４７が金属球７を通過するたびに、金属球７の向きが変えられる。これにより、上記金属球７の回転の向きが変えられ、金属球７の向きが種々ランダムに変更され、スプレーガン４８から金属球７の表面に噴霧あれ被覆される二酸化チタンの膜厚が、金属球７表面全体にわたってほぼ均一となる。 （もっと読む）

【課題】マスキング処理を不要化し得る塗装ガン及び塗装方法を提供する。
【解決手段】ガン先端部１ａをガン基体部１ｂに対して回転軸芯Ｑ周りでの駆動回転操作が可能な状態に連結し、被塗物に向けて塗料を噴出させる塗料ノズル２ａ〜２ｄを回転軸芯Ｑから偏心させた位置でガン先端部１ａに取り付ける。そして、被塗物における塗装禁止部の周囲部位を塗装する際には、回転軸芯Ｑが塗装禁止部の中心に対して直交する位置にガン先端部１ａを位置させ、かつ、その位置でガン先端部１ａを回転軸芯Ｑ周りで駆動回転させて塗料噴出状態にある塗料ノズル２ａ〜２ｄを回転軸芯Ｑ周りで円弧状に回転移動させる。 （もっと読む）

【課題】スプレー製膜法を利用して、高い膜密度の薄膜を作製する方法の提供。
【解決手段】溶質を溶媒中に溶解及び／又は分散してなる原料液を噴霧して液滴を形成すること、液滴中の溶媒を揮発させ濃縮すること、濃縮された液滴を基板上もしくは基板上に設けられた薄膜の上に堆積させること、を順次含む薄膜の作製方法であって、基板に、液滴径が互いに異なる液滴を同時に堆積させることを特徴とする薄膜の作製方法。 （もっと読む）