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Fターム[4F041AA02]の内容

塗布装置−吐出、流下 (28,721) | 被塗物あるいは塗布部位 (7,419) | 個々の物品 (6,100) | シート片、板片 (2,643)

Fターム[4F041AA02]に分類される特許

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【課題】たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる基板に発生した欠陥の修正など、塗布針と塗布対象物との間に強い電界を形成することなく、塗布針に供給された液体材料を当該塗布針より離脱させることにより、液体材料を塗布対象物上に塗布することができる、液体塗布装置、当該液体塗布装置を備えるパターン修正装置および微細パターン描画装置、ならびに液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布装置5は、塗布針20と、塗布針20による液体材料の塗布に際して塗布針20を振動させる超音波発生器20aとを備えている。 (もっと読む)


【課題】部品点数を減少させて材料コスト及び組み立てコストを低減することができると共に、液体漏れを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体30と流路部材20との間に設けられて、ヘッド本体30よりも大きな面積を有する回路基板40と、ヘッド本体30に液体噴射面の外側で周方向に亘って当接すると共に、流路部材20に回路基板40の外側で周方向に亘って当接して、流路部材20及びヘッド本体30との間に回路基板40を密封する空間を画成する蓋部材50と、を具備し、蓋部材50と前記ヘッド本体30との間を封止する内周シール部材55が、蓋部材40及びヘッド本体30の何れか一方に2色成形によって形成され、蓋部材50と流路部材20との間を封止する外周シール部材52が、蓋部材50及び流路部材20の何れか一方に2色成形によって形成されている。 (もっと読む)


【課題】分散系や高粘度などの種々の組成系に対応可能なディスペンス装置に用いる多孔ノズルであって、それぞれのノズルからの吐出を均一にできるノズル構造を提供する。
【解決手段】ディスペンス装置100に使用される多孔ノズル125は、ディスペンス液供給手段110が接続される液通過部126と、液通過部126から拡径する拡径部127と、拡径部127の末端の吐出面に配置されるノズル部128とを備え、ノズル部128より上流側の流路内に、ディスペンス液35のノズル部128への分配を均一化するための多孔プレート121を備える。 (もっと読む)


【課題】基板に塗布液を塗布して所定のパターンを形成するパターン形成技術において、高い圧力で塗布液を押し出すことができ、吐出制御を適切に行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】吐出ノズル31の先端部が楔型となっており、その先端にさらに突出する突起部310を有する。突起部310の下面310bは基板に近接対向される基板対向面となっており、その端部から、基板Wから次第に離間する吐出口配設面310cが立ち上がっている。吐出口配設面310cのうち基板対向面310bに隣接する位置に、塗布液を吐出するための吐出口311が設けられる。吐出口311の周囲および塗布液供給経路312の周囲壁面が一体形成される。 (もっと読む)


【課題】塗布対象物の表面及び裏面に相対位置精度良くパターンを形成する。
【解決手段】塗布装置1は、塗布対象物Wの表面Wa及び裏面Wbに液を塗布してパターンを形成する塗布装置であって、液をノズルから吐出する塗布ヘッド4と、塗布対象物Wを撮像可能な撮像部6と、塗布ヘッド4のノズルから吐出された液によって塗布対象物Wの表面Waに形成されたパターンを撮像部6により撮像した撮像画像に基づいて、塗布対象物Wの表面Waに形成されたパターンの位置を検出し、その検出した位置に基づいて塗布ヘッド4による塗布対象物Wの裏面Wbに対する液の塗布位置を調整する制御装置9とを備える。 (もっと読む)


【課題】液滴の微小化を図る。
【解決手段】本発明は、チャンバー内の圧力を変動させるための第1素子と、前記チャンバー内の液体を吐出するノズルの流路の断面積を変動させるための第2素子とを備えたヘッドと、前記第1素子及び前記第2素子の駆動を制御するコントローラーとを備えた液体吐出装置である。前記コントローラーは、前記ノズルの流路の前記液体に外向きのエネルギーを与えるように前記第1素子を駆動した後に、前記ノズルの流路の断面積を収縮させるように前記第2素子を駆動することによって、前記ノズルから液滴を吐出させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 高効率で液滴吐出の良否を検査する。
【解決手段】 基板を保持し水平面内方向に移動させることのできるステージと、絶縁材を吐出しうる複数のノズルを備え、ステージに対向配置される吐出ヘッドと、ノズルから吐出された絶縁材の着弾跡を検出するセンサと、ステージ、吐出ヘッド、センサを制御する制御装置とを備え、ステージは基板を少なくとも一軸方向に移動させることができ、吐出ヘッドの複数のノズルは、水平面内で一軸方向と直交する方向に沿って配置され、センサはステージに対して、水平面内で一軸方向と直交する方向に相対的に移動可能に、ステージに対向配置され、制御装置はステージと吐出ヘッドを制御して、基板に絶縁材を吐出させて描画を行う機能と、ステージとセンサを制御して、吐出された絶縁材の着弾跡を検出する機能とを備え、制御装置は、吐出された絶縁材の着弾跡の検出時に、センサをステージに対して、水平面内で一軸方向と直交する方向に相対的に移動させる液滴吐出装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】キャリッジ駆動モータのホールド制御によって消費電流が多くなる。
【解決手段】キャリッジ3の位置ずれが生じる温度を設定し、キャリッジ3の周辺温度を検出し、検出した温度(検出温度)が設定温度以上であるか否かを判別し、検出温度が設定温度以上でなければ、ホールド期間では主走査モータ5にホールド電流又は電圧を供給するホールド制御し、検出温度が設定温度以上であれば、ホールド期間では主走査モータ5にホールド電流又は電圧を供給していない状態にする。 (もっと読む)


【課題】全体工程時間を短縮できる基板処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による基板処理装置は、基板を支持する基板支持ユニットと、前記基板に第1処理液を吐出するインクジェットノズルと、前記基板に第1処理液と異なる第2処理液を吐出するコーティングノズルと、前記基板支持ユニットに対して前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとの位置が変更されるように前記インクジェットノズルと前記コーティングノズルとを第1方向に直線移動させるジェントリーユニットと、を含む。 (もっと読む)


【課題】幅方向に長く先端で開口しているスリット7が内部に形成されている口金3において、従来では振動波(振動波に基づくキャビテーション)の伝播が充分にされず残っていた固着物を、浮かび上がらせることが可能となり、短時間で所望の洗浄結果を得る。
【解決手段】洗浄槽11内の振動波を与えた洗浄液Lに口金先端9を浸漬させ、スリット7を通じて当該洗浄液Lを口金内部へ流入させる。この状態から、スリット7を通じて口金内部に気体を、スリット7の幅方向全長にわたって、流入させる。この後、口金先端9を洗浄槽11内の振動波を与えた洗浄液Lに浸漬させ、スリット7を通じて当該洗浄液Lを口金内部へ流入させる。 (もっと読む)


【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品に対応したクリーンな塗布を可能とする。
【解決手段】液剤塗布の装置カバー7の上部にHEPAフィルター6を設け、塗布ヘッド9の下方には、塗布部材(回路基板2)の上面を示すA−Aのラインより下方にX−Yテーブル部20の摺動部やZ軸駆動部42、X軸駆動部43、Y軸駆動部44を配置し、ダウンフローエアの流れ45は排気口17を通過し排出される。 (もっと読む)


【課題】往復移動するプランジャー用いた液滴吐出装置において、微量かつ高精度に吐出する。
【解決手段】吐出口11を構成する吐出路12と、プランジャー30と、プランジャーが挿通される液室50と、プランジャーを進退動させるプランジャー駆動機構と、プランジャーの先端部の位置を規定するプランジャー位置決定機構とを備え、プランジャーの先端部31と液室の壁面53が非接触の状態でプランジャーを前進移動することで液材に慣性力を与えて液滴の状態に吐出する液滴吐出装置において、プランジャーを前進移動させることにより所望の液滴を形成するのに必要となる量の液材を吐出口から押し出し、続いてプランジャーを後退移動させることにより吐出口から押し出された液材を分断して微量の液滴を形成する。 (もっと読む)


【課題】 光学シートの背面にドットパターン印刷を施す際に、印刷面におけるスジの発生を抑制することにより、光学シートを用いた製品の品質向上を図ることができる光学シートの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 導光板を製造する際のドットパターン印刷において、インクジェットノズル51から導光板の原板60に対してインクを噴射する。このとき、原板60の非印刷面を吸引吸着して反りを排除し、ジェットノズル51と原板60との距離であるギャップ距離Dが2.8mm以下に調整されている。 (もっと読む)


【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品、食品対応したクリーンな塗布を可能とする。
【解決手段】液剤塗布装置カバー上部のHEPAフィルターを設け、塗布ヘッドの下方には塗布部材を水平方向に位置決めるX−Yテーブル上に塗布部材を載置している。塗布時における塗布対応上下駆動部や、XYテーブルユニットの摺動部や駆動部を塗布面より下方に構成した。 (もっと読む)


【課題】インクを硬化する紫外線照射の消費電力を抑制する。
【解決手段】紫外線の照射によって硬化するインクを吐出する吐出ヘッドと、前記インクに前記紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、吐出タイミングに基づいて紫外線を選択照射する制御部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】ノズル内壁面との間の壁面抵抗により形成される境界層に起因する液体の吐出安定性に対する影響を抑制し、特に高周波領域における吐出性能の安定化を実現し得る液体噴射装置を提供する。
【解決手段】駆動信号S1の供給により変形して圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、圧力変化に伴い圧力発生室の液体を吐出させるノズル開口とを備えた液体噴射ヘッドと、駆動信号S1を供給する制御手段とを備えた液体噴射装置であって、駆動信号S1は、前記圧力発生手段の駆動により前記圧力発生室を膨張させる立下り部Cを含む予備パルス部Ppと、立下り部Cの後に前記圧力発生室を収縮させて前記ノズル開口から液滴を吐出させる立上り部Eを含む吐出パルス部Pmとを有し、立下り部Cの終端から立上り部Eの始端までの期間T1と、前記圧力発生室の固有振動数の周期Tcとが、T1≦Tc/2の関係になっている。 (もっと読む)


【課題】描画作業が長時間となってもノズル詰り等の発生を防止し、作業効率を維持しつつ、描画動作を実行させる。
【解決手段】部材に対して紫外線の照射により硬化する機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記部材に付着した前記機能液に対して前記紫外線を照射する紫外線照射部と、前記紫外線の照射光量に応じて設定されるフラッシング条件でフラッシング動作を行わせる制御部と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】従来の処理装置では、処理効率を向上させることが困難である。
【解決手段】ワークWを支持する2つのワークテーブル25と、ワークテーブル25のそれぞれを、2つのワークテーブル25間で共通する経路である共通経路を含む移動経路で案内するガイドレール23及びガイドレール24と、前記共通経路において、ワークテーブル25のそれぞれに支持されたワークWに対向した状態で、対向するワークWに対して描画処理を施す吐出ヘッド19と、前記共通経路においてワークテーブル25のそれぞれが吐出ヘッド19に対向し得る領域である処理領域73の外側に設けられ、ワークテーブル25に支持されたワークWの高さ位置を、処理領域73の外側で検出する第1検出装置14及び第2検出装置15と、吐出ヘッド19とワークWとの間の隙間量を調整する昇降モーター18と、を有する、ことを特徴とする処理装置。 (もっと読む)


【課題】装置停止時や装置復旧時における作業安全性を確保する。
【解決手段】記録媒体と相対移動させながら、前記記録媒体に向けて紫外線硬化型の機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと前記記録媒体に塗布された前記機能液に対して紫外線を照射する紫外線照射部とを有するヘッドユニットと、停止信号に基づいて、前記記録媒体と前記ヘッドユニットとを相対移動させながら、前記記録媒体に塗布された前記機能液に前記紫外線を照射した後に前記相対移動を停止させる制御部と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】インクの付着を防止したヘッドクリーニング装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】インクの液滴を水平方向に吐出する記録ヘッドの鉛直なノズル面に沿って上から下に移動することによってノズル面のインクを払拭する払拭部材と、記録ヘッドの下端にノズル面と面位置で設けられ、ノズル面の払拭終了後の払拭部材に当接し、少なくとも払拭部材より剛性が高い弾性体からなるガイド部材と、を備えた。 (もっと読む)


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