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Fターム[4F041AB01]の内容

塗布装置−吐出、流下 (28,721) | 塗布剤 (4,599) | 液体 (4,532)

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溶液 (155)

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【課題】
本発明の目的は、基板に所定パターンの薄膜を精細に塗布することができる薄膜塗布装置を提供することにある。
【解決手段】
xyz直交座標系を定義したとき、z方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがy方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、を含み、前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のy方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有する。 (もっと読む)


【課題】液滴の吐出精度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のヘッド10と、複数の液体噴射ヘッド10を保持する保持部材50とを具備し、保持部材50の一方面に、複数のヘッド10が載置される載置面54、及び保持部材50を支持する位置決め治具70の位置決めピン78が当接される治具受け面56が設けられたヘッドモジュール1の製造方法であって、保持部材50の一方面に、載置面54と治具受け面56とを分断させるとともに面一に形成し、保持部材50を治具受け面56で位置決めピン78に当接させ、保持部材50の載置面54に複数のヘッド10を接着剤で仮固定し、締結部材60で本固定する。 (もっと読む)


【課題】洗浄の必要性を減らし、衛星形成及び霧化を減らし、また、液体吐出出口からの液体の漏れを防止することができるディスペンサーを提供する。
【解決手段】
少量の液体を基材へ塗布するディスペンサー。ディスペンサー10は、ディスペンサー本体12と、ディスペンサー本体内のアクチュエーター10bと、ディスペンサー本体に取り外し可能に連結される吐出要素本体52を含む吐出要素50とを含む。弁棒60は、吐出要素本体内で往復移動するように取り付けられている。更なる態様は、変形可能な弁座と、変形可能かつ弾性的な弁棒の先端部と、個別量の液体を基材へ塗布する方法とを含む。 (もっと読む)


【課題】処理液等の薬液の無駄な消費を無くし、且つ、タクトタイムを短縮し、生産性を向上する。
【解決手段】円柱状または円盤状に形成され、その周面に前記ノズル先端の長手方向に沿って平行に形成された複数の払拭部11aを有し、所定方向に臨む一の払拭部によりノズル先端3aを狭持すると共に、前記ノズル先端の長手方向に沿って移動可能に設けられた払拭体11と、前記払拭体を前記ノズル先端の長手方向に沿って移動させる払拭体移動手段13,14,15と、前記ノズル先端の側方に移動された前記払拭体を軸周りに回転させ、前記一の払拭部に代えて他の払拭部を前記所定方向に臨む状態とする払拭体回転手段17,18とを備える。 (もっと読む)


【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第1方向に沿って形成され、前記基板に第1薬液を吐出する第1吐出部と、横方向が前記第1方向に沿って形成され、前記基板に第2薬液を吐出する第2吐出部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】ピストンおよび付随する動的シールを用いない液体分配弁を提供する。
【解決手段】弁部材30が開放位置と閉鎖位置との間で液体排出口18に対して移動するように取り付けられ、作動部分40が、液体分配部分12と連結されており、膨張式ブラダー構造体50を含む。膨張式ブラダー構造体は正圧空気の空気供給部72と流体連通して連結される内側部60aを含む。ブラダー構造体は正圧空気によって拡張して、弁部材を開放位置か閉鎖位置のうちの少なくとも一方から開放位置か閉鎖位置のうちの他方へ移動させることができ、ホットメルト接着剤等の液体を分配する。 (もっと読む)


【課題】煩雑な調整を要することなく、支持体の非塗布部と塗布ヘッドとの接触を確実に回避する。
【解決手段】塗布ヘッド15は、塗布液を吐出するスリット21を有し、スリットの長手方向に交差する方向へ連続的に搬送される支持体11の表面にスリットより吐出される塗布液を塗布する。この塗布ヘッドには、塗布ヘッドの長手方向の両端それぞれに、支持体の幅方向端部の非塗布部分33に加圧流体を吹き付けるための加圧流体の流路35を形成する流路構成部材37が設けられている。流路構成部材は、少なくとも加圧流体の吹き出し口を形成する部材が単一の部品として塗布ヘッドへ取り付けられるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ50は、ベース1と、主走査軸方向としてのY軸方向の走査を行なうY軸モーター5と、Y軸モーター5の可動子としてのY軸テーブル10に載置されY軸方向と交差する副走査軸方向としてのX軸方向の走査を行なうX軸モーター15と、X軸モーター15の可動子としてのX軸テーブル20に載置されY軸方向やX軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター25およびその可動子としての基板ステージ30と、Y軸テーブル10と基板ステージ30とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部18とを備えている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、インクジェット塗装が施された二つの建築板が壁構造内において互いに嵌合することで接続される場合、位置ずれなどにより建築板の端部が外部に露出しても外観の悪化を招きにくく、しかも資源消費量の増大を抑制することができる建築板を提供する。
【解決手段】本発明では、基材2における厚み方向の第一面5にインクジェット塗装が施されている。前記基材2における前記第一面5と平行な方向の第一端部3と、この第一端部3とは反対側に形成されている第二端部4とが、互いに嵌合し得る形状に形成されている。前記第一端部3に、前記第一面5に臨むと共にこの第一面5と交差する面からなる第二面6が形成され、この第二面6に前記第一面5よりも解像度の低いインクジェット塗装が施されている。 (もっと読む)


【課題】 供給路部材と弾性部材との接続部分からの液体漏れの発生を抑えつつ、供給路部材を弾性部材の開口部に挿入する際に要する力を低減することが可能な供給路接続部材を提供する。
【解決手段】 供給路接続部材は、液体を供給する供給路部材と、供給路部材が挿入され、供給路部材によって外周方向へ押圧される内壁を備える開口部が設けられた弾性部材と、弾性部材を収容する収容部材と、供給路部材の挿入方向に関して弾性部材を押圧する押圧部材と、を有する。ここで、弾性部材には、押圧される内壁と外周方向に関して重ならない位置に、挿入方向に関して収容部材と押圧部材とで挟持された挟持部が形成されている。更に、供給路部材が開口部に挿入された状態で、開口部に対応する弾性部材の外周部には、外周方向に関して収容部材に当接される当接部と、外周方向に関して収容部材に当接されない非当接部と、が形成されている。 (もっと読む)


【課題】補完された画素が筋として視認されること、画素の除去部位が筋として視認されることのうち少なくとも一方を防止可能な印刷システム、印刷方法およびレンズシートを提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数の凸レンズ11を有するレンズシート10に印刷する印刷システム20であり、レンズシート10に印刷を行う印刷手段44と、印刷手段44を制御する制御部55と、を具備し、制御部55は、複数の凸レンズ11に対するレンズ分配画像が実際のレンズピッチと異なる所定のピッチに基づくものである場合、一方向に沿うと共に一方向と直交する方向で散在する位置においてレンズ分配画像を構成する画素を凸レンズ11の隣接部から所定範囲内で補完するか又は除去するかの少なくとも一方を伴う補修に基づき印刷を行うよう印刷手段44を制御する。 (もっと読む)


【課題】良好に塗工材料を塗工することが可能な塗工装置及び電極の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ポンプから吐出される塗工材料を塗工部へ流通させる配管部材を備える塗工装置において、前記配管部材内に、開口部を有するメッシュ部材を、該メッシュ部材の下端側が上流側に、上端側が下流側に位置するように傾斜させて該配管部材内の全流路を覆うように配置すると共に、前記配管部材の上部には、前記メッシュ部材と対応する位置に気泡溜まり部を形成したことを特徴する。 (もっと読む)


【課題】処理動作のタクトタイムを短縮することができ、且つ、ノズルのメンテナンス処理に起因する被処理基板の汚染を防止する。
【解決手段】被処理基板Gの幅方向に延びる吐出口を有し、前記処理ステージ上の前記基板の上方を基板搬送方向に沿って移動されると共に、前記吐出口から前記基板上に処理液を吐出するノズル31と、前記ノズルを昇降移動可能であって、前記ノズルを基板搬送方向上流側または下流側に向けて移動可能なノズル移動手段32と、基板搬送路4の下方に設けられ、前記ノズルの吐出口の状態を整えるノズルメンテナンス手段35と、前記基板搬送路において前記処理ステージの上流側または下流側に所定長さの空き区間dを出没自在に形成可能な空き区間形成手段21,22,23A、23B、30とを備える。 (もっと読む)


【課題】レンズシートの向きに応じて、印刷速度を速くすること、および印刷精度を良好にすることのうち、少なくとも1つを実現可能な印刷装置および印刷方法を提供する。
【解決手段】印刷ヘッド24を備え、一方向を長手とする複数の凸レンズ11を有するレンズシート10に対して相対的に移動させ、印刷ヘッド24からインクを噴射することにより印刷を行う印刷装置20であって、印刷ヘッド24を移動させる移動手段28と、レンズシート10がセットされる方向に応じて印刷ヘッド24の移動速度を変更するよう制御する制御手段51と、を具備し、制御手段51は、印刷ヘッド24がレンズシート10の一方向に対して垂直に移動して印刷する場合には、印刷ヘッド24が一方向に対して平行に移動して印刷する場合よりも、印刷ヘッド24の移動速度を遅くするように制御する。 (もっと読む)


【課題】プランジャーの移動速度の調節を容易に行うことができる液体材料の吐出装置および方法の提供。
【解決手段】ノズルと連通し、液体材料が供給される液室50と、後端部にピストン33が形成され、先端部31が液室内を進退動するプランジャーと、プランジャーに付勢力を与える弾性体47と、ピストンが配設され加圧気体が供給される加圧室と、を備え、プランジャーを高速で進出移動させることによりノズルから液体材料を吐出する液体材料の吐出装置であって、前記弾性体がプランジャーを後退方向に付勢し、前記加圧室に供給された加圧気体がピストンに推進力を与えることによりプランジャーを進出移動させる。 (もっと読む)


【課題】従来の描画装置では、描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】描画シートWに設定された許可領域73に、吐出ヘッド33を前記ワークの搬送経路に対して交差するX方向に移動させながら、吐出ヘッド33から液状体を吐出することによって、許可領域73に前記液状体で描画を行う描画工程と、描画シートWの余白領域75に、吐出ヘッド33から前記液状体を吐出することによって、余白領域75に前記液状体で検査パターンを形成する検査パターン形成工程と、吐出ヘッド33よりも前記搬送経路の下流側において、余白領域75を含む描画シートWの一部に重なる位置に設けられた撮像装置12で、余白領域75の前記検査パターンを撮像する撮像工程と、前記検査パターンを撮像した結果に基づいて、吐出ヘッド33における前記液状体の吐出にかかる性能の合否を判定する判定工程と、を含む、ことを特徴とする描画方法。 (もっと読む)


【課題】 インクジェット方式によって形成した塗布液の薄膜の膜厚均一性を向上させる。
【解決手段】 塗布液供給機構12の進行方向前側に溶剤供給機構18を、進行方向後側に気体噴射機構14を、それぞれ連結して塗布ヘッド10が構成されている。塗布ヘッド10を基板Wに対して相対移動させながら、溶剤供給機構18から基板W上に溶剤を供給し、続いて塗布液供給機構12から溶剤の被膜上に塗布液を供給し、最後に、気体噴射機構14から塗布液の凹凸表面に気体を噴射して溶剤の薄膜表面を平滑化する。 (もっと読む)


【課題】インクジェットヘッドのノズルから塗布液を吐出して塗布液の塗膜を形成しつつ、塗布液の塗膜の表面をより平滑にすることができる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドに設けられる複数のノズルから塗布液の液滴を基板Wに吐出させ、基板Wの周縁部における膜厚に比べて基板Wの中央部における膜厚が厚い塗布液の塗膜Fを形成する工程と、基板Wを回転させて基板Wの中央部から周縁部に向けて塗膜F内の塗布液を移動させる工程と、を備える塗布方法である。塗膜F内の塗布液を移動させる工程では、塗膜Fを形成している基板W上の塗布液は基板Wの中央部から周縁部に向かって移動するので、基板の中央部と基板の周縁部との間で塗膜の膜厚の差が減少し、塗膜の膜厚を略均一にすることができる。同時に、塗膜F内の塗布液が動くことによって、塗膜Fの表面をより平滑にすることができる。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で、所望のストライプ状パターンを有する塗布膜を形成可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、塗布対象としての基板を保持するステージと、複数並設された吐出口と各吐出口に向かって塗布液が流通する流路とを有し、かつステージ側に吐出口を向けて配置されたノズル部とを備える。ノズル部では、各吐出口の周辺部において各流路の内壁部よりも撥液性が高くなっている。流路を伝わって吐出口から吐出された塗布液が、各吐出口の形状および大きさに応じた幅および膜厚で、基板上に塗布される。 (もっと読む)


【課題】基板の上にラインを形成することと共にこれを固形化させる基板処理装置及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明の基板処理装置100は、基板Sが載置されるステージ1100と、インクIを吐出してステージ1100に載置された基板Sに複数のラインを形成する吐出ユニット1200と、吐出されたインクIを固形化させる固形化ユニット1400と、ステージ1100を移動させるか、又は吐出ユニット1200と固形化ユニット1400を移動させる移送ユニット1500と、を含む。 (もっと読む)


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