【課題】塗布対象物の複数箇所に同時に塗布液を塗布して高スループット化を達成するとともに、解像度が高くかつ自由度の大きな塗布が可能で、装置構成が簡素でコストの低廉なマルチディスペンサ装置を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布する塗布対象物（基板Ｋ）に対して水平面内でＹ軸方向に相対的に移動可能とされ、Ｙ軸走査移動装置によってＹ軸方向に相対移動される（白抜き矢印Ｍ）走査部材２と、走査部材２に装架され、塗布液を滴下するディスペンサノズルをそれぞれ有する複数のディスペンサ装置３１〜３５と、各ディスペンサノズルの塗布液を滴下する下端部を水平面内で移動させるノズル移動装置と、Ｙ軸走査移動装置とノズル移動装置とを同期制御する制御装置と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】大面積基板におけるロット毎の寸法誤差や熱膨張による寸法誤差に対して、精度良く着弾させることができるインクジェット装置を提供すること。
【解決手段】画素領域外にもインクを着弾させ、画素の端部と画素領域外にも着弾させたインクの着弾位置を認識カメラで認識して、画素の端部と画素領域外にも着弾させたインクの着弾位置からズレ量を算出し、吐出するノズルを切り替えて基板に塗布する。これより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】塗布装置のメンテナンス時間の短縮化を図る。
【解決手段】主剤５１ｅと硬化剤５２ｅを混合して形成した塗布樹脂を塗布するスリットコータ装置４０のメンテナンスにおいて、スリットコータ装置４０の未使用時（樹脂塗布休止状態時）に、主剤５１ｅと硬化剤５２ｅのうちの主剤５１ｅをスリットコータヘッド４２内に充填してヘッド内を１つの樹脂である主剤５１ｅに置換し、その後、液槽５４に収容された主剤５１ｅにスリットコータヘッド４２の先端部を浸す。 （もっと読む）

【課題】可撓膜の影響を抑え、圧力緩衝部の性能を維持したまま、圧力緩衝部を小型化する。
【解決手段】複数のノズルが配置された記録ヘッドに連通する液体供給流路と、前記液体供給流路に設けられ、液体に所定の圧力を付与する液体圧力付与手段と、前記液体供給流路の途中に設けられた圧力緩衝部であって、前記液体供給流路を流れる液体を流出入させる供給口及び排出口を有する液体室と、前記液体室と可撓膜を挟んで対設された気体室と、を含んで構成される圧力緩衝部とを備え、前記可撓膜は、予め初期撓みが与えられている液体供給装置によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】塗布作業中におけるノズルとワークとの接触を検知し、これに起因して生じる塗布不良を可及的に回避する。
【解決手段】本発明に係る高粘度流体塗布装置は、高粘度流体を吐出可能なノズル１２を少なくとも具備する。ノズル１２は、筒部１６と、筒部１６の内周に配設され筒部１６の吐出側１６ａとの間に隙間１７を形成する隙間形成部１８と、絶縁体１９を介して筒部１６と隙間形成部１８とを連結する連結部２０とで構成され、筒部１６と隙間形成部１８との間の電気抵抗を検出する電気抵抗検出手段１４をさらに具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液膜の幅を安定させることができるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４の長手方向Ｘ１の両端にそれぞれ配置された一対のガイド部４６とを含む。一対のガイド部４６は、長手方向Ｘ１に間隔を空けて対向する一対のガイド面６６をそれぞれ含む。一対のガイド部４６のそれぞれには、ガイド面６６より凹んだ凹部６８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】気泡を含む液体が基板などの対象物に供給されることを抑制または防止できるスリットノズルおよびこれを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スリットノズル１１は、長手方向Ｘ１に延びるスリット状の吐出口５４が形成された吐出部４５と、吐出口５４に供給される液体が流通する液体流路５５が形成された供給部４３と、液体流路５５を上流側と下流側とに仕切っており、上流側と下流側とを接続する複数の第１接続路６４が形成された第１拡散板４７とを含む。 （もっと読む）

【課題】吐出部と対象物の間の離間距離の変動を検査する対象物上の地点が少ない場合でも、吐出タイミングの補正を良好に行うことができる技術を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数の吐出口が形成された吐出部に対して対象物を移動機構によって相対的に移動させ、該吐出部から吐出した前記液滴を前記対象物に着弾させる。液滴吐出装置は、吐出部に対して吐出信号を出力することにより、吐出口からの液滴の吐出を制御する吐出制御部と、対象物上の複数の地点について、対象物の相対的な移動に応じた、吐出部と前記対象物との間の離間距離の変動を検査する検査部と、対象物上の領域のうち、前記複数の地点を除く地点における前記変動を、検査部の検査結果に基づいた演算により補間する補間部と、補間部によって取得された前記変動に関する情報に基づいて、吐出口からの液滴の吐出タイミングを補正する補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワイパブレードに付着したインクによる汚れを低減したインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】被記録媒体にノズル面からインクを吐出して記録を行う記録ヘッドと、前記ノズル面に対して下方に略垂直に配置されて、前記ノズル面に付着しているインクを拭き取る拭取部を上端部に有するワイパブレードを備えたインクジェット記録装置であって、前記ワイパブレードは下端部に下方へ突出するように延設される突出部を有し、前記突出部は、上下方向に対して直交する方向における一端部と他端部との間隔が、下方へ向かうほど小さくなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体に混入する気泡や塵埃がヘッド内に滞留し、あるいはノズルに詰まって吐出特性を劣化させることを防止する。
【解決手段】
液体噴射ヘッド１は、液体吐出用のチャンネル５が形成されるアクチュエータ基板３と、チャンネル５に液体を供給する液体供給室６が形成されるカバープレート４とが積層するヘッドチップ２と、カバープレート４に設置され液体供給室６に液体を供給する流路部材７とを備える。ここで、流路部材７は、液体を流入する流入口８と、液体を流出する流出口９と、流入口８から流出口９に液体を循環させる循環路１０とを備え、流入口８又は流出口９とチャンネル５との間のいずれの流路にもフィルターが介在しない。 （もっと読む）

【課題】塗布方向の変更を伴う高粘度流体の塗布作業を短時間かつ低コストに実施する。
【解決手段】本発明に係る高粘度流体塗布装置は、高粘度流体を供給可能な流体供給部と、流体供給部から供給された高粘度流体を吐出可能なノズル１２と、ノズル１２を保持して、ノズル１２の先端を所定位置に移動操作可能なロボットアームとを具備する。ノズル１２は、筒部１５と、筒部１５の内周に配設され筒部１５との間に筒状空間を形成する筒状空間形成部１７とで構成され、筒状空間で高粘度流体の吐出口１４を形成した。 （もっと読む）

【課題】塗布装置の塗布操作が周辺装置からの悪影響を受けて塗布液の厚さの均一性が悪化することを回避できる塗布システムを提供する。
【解決手段】本発明の塗布システムは、基板の表面に塗布液を塗布する塗布操作を実行する塗布装置２と、塗布装置２の周辺に設置され、塗布装置２が実行する塗布操作に悪影響を与える振動を発する動作Ａ、Ｃを行う上流側移送ロボット３とを備え、塗布装置２による塗布操作の実行中に上流側移送ロボット３による動作Ａ及びＣの実行を禁止させる。 （もっと読む）

【課題】塗液の脈動による塗膜の膜厚ばらつきを低減させる。
【解決手段】塗液を供給する塗液供給ポンプ２と、基材に塗工するコーティングヘッド７と、塗液供給ポンプ２からコーティングヘッド７までを接続するメイン配管３と、メイン配管３に設けられた間欠塗工に使用できる塗液流路切替えバルブ４とを有した塗工装置１００において、塗液供給ポンプ２から塗液流路切替えバルブ４までの間に、一時的に塗液を蓄えることのできるアキュムレータ５を設け、さらにこのアキュムレータ５のガス空間領域の上端の位置が、コーティングヘッド７の吐出口の位置よりも高い位置となるように、アキュムレータ５を配置することで、配管圧力の経時変化にも耐え、塗液供給ポンプ２から発生する吐出脈動による膜厚ばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】固定されたフラッシングポジションを設けなくてもフラッシングを行うことができ、且つ印捺品質低下の虞の少ないフラッシングを実行できること。
【解決手段】複数の色のインクを吐出する複数のノズルを備えるインク吐出部と、被捺染材をセットするセット面を有し前記インク吐出部に対して相対移動するセットトレイと、前記インク吐出部のインク吐出動作とフラッシング動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記セットトレイにセットされた被捺染材上であって画像データの及ぶ範囲外の部位をフラッシング領域とし、該フラッシング領域の被捺染材の色とフラッシングとして吐出され着弾して発現するインクの色とが同系色の関係を持って当該フラッシング領域にフラッシングを行うように構成されている。 （もっと読む）

【課題】チクソトロピー性の高い塗液であっても、塗工開始後から所望の目付け量で安定して塗工可能な塗工装置及びその塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、塗工開始前に塗工ヘッド（２）から塗液タンク（３）に還流する塗液経路を設け、所望の目付け量が得られる塗工時の塗工ヘッド（２）の内圧以上の圧力で還流可能なポンプ（３）を有する。このような構成により、塗工直前まで塗工ヘッド（２）内の圧力を塗工時と同じもしくはそれ以上に保ち、流動させておくことが可能となる。その結果、塗工開始時の塗液粘度を低減し、かつ流動性を確保することで、塗工開始からの目付け量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】分解及び組み立てを容易に実施可能なシンプルな構成でありながら、塗布剤の吐出圧及び吐出量を自在に調整可能であり、適正な厚みを有する道路標示を形成可能な道路プリンタを提供する。
【解決手段】道路プリンタ１０は、路面Ｒに塗布される道路標識用の塗布剤Ｐを圧送するための圧送装置５０を備えており、圧送装置５０から吐出幅可変装置１００を経由して吐出された塗布剤Ｐを直接的あるいは間接的に路面Ｒに塗布する。圧送装置５０は、一軸偏心ねじポンプ機構を備えたものであり、駆動機から動力を受けて偏心回転する雄ねじ型のロータと、内周面が雌ねじ型に形成されたステータとを有する。 （もっと読む）

【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。
【解決手段】被塗布面Ｋａ上に塗工液を塗布するスリットコータ１のスリット部２４を清掃する清掃具７であって、スリット部２４に挿入され、スリット部２４を構成する一対の壁部２４１，２４１に付着した塗工液を清掃する清掃部材７３と、一対の壁部２４１，２４１の少なくとも一方に向けて清掃部材７３を付勢する付勢部７４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布液が乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板に対して塗布液を塗布する際に、出来上がった塗布膜の厚さ分布の均一性の悪化を抑制できる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布方法は、表面ｆに塗布されたレジスト液ｒが乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板Ｓに対して塗布液を塗布する塗布方法であって、前記操作で生じ得る基板（Ｓ）の撓みが大きい箇所が小さい箇所に比べてレジスト液ｒの厚さが薄くなるように基板Ｓの表面ｆにレジスト液ｒを塗布する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。 （もっと読む）

【課題】塗工液の吐出口に対応する上下ダイ間の隙間を調整することが可能な塗工ダイヘッドに関して、該隙間の調整量を安定化させ、被塗工物の横幅方向における塗膜厚のさらなる均一化を図る。
【解決手段】本願発明の塗工ダイヘッド２６は、下面を有する上ダイ２と、塗工液を吐出するための隙間９を形成するように該下面に対向する上面を有する下ダイ１とを備える。さらに、上ダイ２の下面から該下面とは反対側の面までのダイ部分が上リップ４として、上ダイ２から分離されている。上リップ４の下面を下ダイ１の上面に対して平行移動して隙間９の間隔を調整する調整機構の部品として、楔５、天板３および調整ねじ７が設けられている。さらにダイヘッド２６は、上リップ４を固定することが可能な固定機構の一部品として固定ねじ６を有する。 （もっと読む）