【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取り、その後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４に巻き取られた塗布液膜の自然乾燥を促し、所定時間経過後にプライミングローラ１４の回転を停止させて該塗布液膜を所定の待機用回転角位置に着かせ、該塗布液膜の自然乾燥を継続する。その後、この塗布液膜を洗浄によって除去する。 （もっと読む）

【課題】バックアップローラに巻き掛けられて走行するウェブと塗布ヘッド先端との間のクリアランスに塗布液ビードを形成して塗布する塗布装置を用いて、ナノサイズの紐状フィラーを含む塗布液をウェブに塗布しても塗布スジ故障が発生しない。
【解決手段】バックアップローラ２０に巻き掛けられて走行するウェブ１２と塗布ヘッド先端１８Ａとの間のクリアランスｄに塗布液ビード２２Ａを形成して塗布する塗布装置を用いて、金属ナノワイヤー２６Ａを多数本含む塗布液２２をウェブ１２に塗布する塗布工程と、塗布された塗布層２２Ｂを乾燥する乾燥工程とを少なくとも備えた紐状フィラー含有塗布物の製造方法において、塗布工程では、塗布液２２のウエット膜厚をｈとし、クリアランスをｄとしたときに、ｈ＜ｄ≦３ｈを満足するようにクリアランスを設定する。 （もっと読む）

【課題】高い生産性を保ちながら、電鋳膜厚、特に薄肉部の膜厚の均一性に優れた振動板部材を有するとともに、ブリッジ部と被記録媒体やワイパーブレード等の部材との接触を低減可能な液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 ノズル板２３と、ノズル２４に連通する液室２５を形成する流路部材２２と、液室２５の壁面の一部を形成する振動板部材２１とが積層して接合された液室ユニット２０を有する液体吐出ヘッドにおいて、
振動板部材２１は、２層以上の電鋳層で構成され、液室２５に相対する部位は前記壁面の一部を形成する薄肉部２１ａ及び厚肉部２１ｂ、２１ｃからなり、
外周には切断されたブリッジ部５１が複数形成され、
隣接するブリッジ部間の領域の少なくとも一部に、薄肉部２１ａが形成されている液体吐出ヘッド、及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置である。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッド５２に収容されるペーストＰの材料の凝集に起因した吐出孔５２０４の目詰まりを抑制しつつ、吐出孔５２０４から吐出されるペーストＰの粘性を抑えて、吐出孔５２０４からのペーストＰのスムーズな吐出を可能とする。
【解決手段】シリンジポンプ５２０内部に収容される塗布液Ｐを冷却する水冷管５２１と、水冷管５２１により冷却された塗布液Ｐを吐出孔５２０６から吐出される前に加熱する加熱素子５２２とを備える。したがって、吐出ヘッド５２に収容される塗布液Ｐの材料の凝集に起因した吐出孔５２０６の目詰まりが抑制されるとともに、吐出孔５２０６から吐出される塗布液Ｐの粘性が抑えられて、吐出孔５２０６からの塗布液Ｐのスムーズな吐出が可能となっている。 （もっと読む）

【課題】被吐出物を押す圧力の調整及び吐出手段と被吐出物との距離の調整を同時に行うことにより作業の効率性を向上させることのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
インクジェットプリンタ１０は、インクを吐出し、メディアの上を移動するスライダ１と、メディアを載せるプラテン２と、スライダ１の移動方向をガイドするガイド機構３と、プラテン２の上に載せられるメディアを押さえ付けるクランプ機構４と、ガイド機構３をプラテン２に対して相対的に移動させるアクチュエータと、を備え、ガイド機構３は、スライダ１に接続されており、アクチュエータによる移動により、スライダ１とメディアとの距離を調整するものであり、且つ、クランプ機構４に接続されており、アクチュエータによる移動により、クランプ機構４とメディアとの距離を調整するものである。 （もっと読む）

【課題】均一な幅広塗布を実施することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、被塗布面３Ａ（３Ｂ）に対して流体Ｆを吐出する吐出装置１を相対移動させて流体Ｆを塗布するものであり、吐出装置１は、各々が流体Ｆを吐出するスリット状の吐出口１０Ａを有し、吐出口１０Ａが少なくとも相対移動方向Ｚに沿って並ぶように配置された複数の吐出ノズル１０を備えている。 （もっと読む）

【課題】塗工域の塗工始端部又は塗工終端部に生じる盛り上がり部の盛り上がり高さ寸法を小さくする。
【解決手段】基材走行路Ｒの途中に設けられた間欠塗工装置２で、基材走行路Ｒを走行する基材Ｗの表面に基材走行方向に沿って塗工域Ｃと非塗工域Ｄを交互に形成するときに、塗工域Ｃの塗工始端部Ｃａ又は塗工終端部Ｃｂに形成される盛り上がり部Ｑが生じる場合に、盛り上がり部Ｑが通過する基材走行路Ｒの所定箇所Ｒａに向かってガスをＧを噴出させるガス噴出用スリット１３を備えたガス噴出装置７と、ガス噴出用スリット１３から噴出させるガスＧをガス噴出装置７へ設定時間だけ供給するガス供給装置８を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる基板に発生した欠陥の修正など、塗布針と塗布対象物との間に強い電界を形成することなく、塗布針に供給された液体材料を当該塗布針より離脱させることにより、液体材料を塗布対象物上に塗布することができる、液体塗布装置、当該液体塗布装置を備えるパターン修正装置および微細パターン描画装置、ならびに液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布装置５は、塗布針２０と、塗布針２０による液体材料の塗布に際して塗布針２０を振動させる超音波発生器２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 基板の周辺領域にレジスト等の樹脂膜を効率良く形成することができ、半導体素子製造におけるスループット向上に寄与する。
【解決手段】 素子形成に供される基板１０上の周辺部に樹脂膜を塗布する塗布装置であって、基板１０が載置され、少なくとも１８０度回転可能な回転テーブル３２と、基板１０の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の基板周辺領域及び第２の基板周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置してなり、該ノズルが基板１０の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部５０と、基板１０と樹脂膜形成ヘッド部５０を相対的に、第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構４５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減少させて材料コスト及び組み立てコストを低減することができると共に、液体漏れを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体３０と流路部材２０との間に設けられて、ヘッド本体３０よりも大きな面積を有する回路基板４０と、ヘッド本体３０に液体噴射面の外側で周方向に亘って当接すると共に、流路部材２０に回路基板４０の外側で周方向に亘って当接して、流路部材２０及びヘッド本体３０との間に回路基板４０を密封する空間を画成する蓋部材５０と、を具備し、蓋部材５０と前記ヘッド本体３０との間を封止する内周シール部材５５が、蓋部材４０及びヘッド本体３０の何れか一方に２色成形によって形成され、蓋部材５０と流路部材２０との間を封止する外周シール部材５２が、蓋部材５０及び流路部材２０の何れか一方に２色成形によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】低い粘度の塗布液を使用しても良好に製膜可能な塗布装置及び多層膜付きフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイ先端部の空間を減圧するための吸引装置と、前記塗布液を貯留するためのポケットと、を備え、前記ポケットは、塗布点よりも下の位置に配置され、下流リップと、前記ウエブと、の最短距離をｄ１とし、隣接リップと、前記ウエブと、の最短距離をｄ２とし、前記隣接リップの前記走行方向の幅をＬ２とし、最上層の膜厚をｈ１とし、最上層を除く全ての膜の総膜厚をｈ２としたとき、式１〜式４の全てを満たすように前記ブロックが設置されて前記ダイが構成された塗布装置。
10μｍ≦（ｄ１−ｄ２）≦200μｍ 式１
ｄ２≦３×ｈ２ 式２
５０μｍ≦Ｌ２≦２００μｍ 式３
dP/dX＞０ 式４ （もっと読む）

【課題】分散系や高粘度などの種々の組成系に対応可能なディスペンス装置に用いる多孔ノズルであって、それぞれのノズルからの吐出を均一にできるノズル構造を提供する。
【解決手段】ディスペンス装置１００に使用される多孔ノズル１２５は、ディスペンス液供給手段１１０が接続される液通過部１２６と、液通過部１２６から拡径する拡径部１２７と、拡径部１２７の末端の吐出面に配置されるノズル部１２８とを備え、ノズル部１２８より上流側の流路内に、ディスペンス液３５のノズル部１２８への分配を均一化するための多孔プレート１２１を備える。 （もっと読む）

【課題】シリンジのネジ締結部の緩みを排除して、ペーストの漏れを防止することができるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】シリンジ１６の下端部に設けられたペースト送給口１６ｅがねじ締結部を介して着脱自在に接続される回転部材３２を軸線ＡＺ廻りに回転自在に保持し、この回転部材３２の下部に設けられた吐出ネジ部３２ｂが嵌合する吐出空間３１ｂが形成され、吐出ネジ部３２ｂを吐出空間３１ｂ内で軸線ＡＺ廻りに回転させることによりペーストを圧送するためのポンプ機構１８を形成するケーシング部３１と、回転部材３２をケーシング部３１に対して所定方向に相対回転させることによりポンプ機構１８を作動させてペーストを吐出口１７ａから吐出させる吐出用回転駆動機構とを備えた構成において、回転部材３２のペースト吐出時の回転方向をねじ締結部による締結時の回転方向と逆方向に設定する。 （もっと読む）

【課題】弁体の作動圧のばらつきを抑制できる流路部材、これを用いて液体吐出速度や吐出された液滴の重量ばらつきが抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体流路の一部を構成する溝状流路５１の開口をフィルム６０で封止して形成した圧力室５３と、圧力室５３に連通する液体流路を開閉する弁体９０と、圧力室５３の負圧により圧力室５３側に変位したフィルム６０に押圧されるとともに弁体９０を開弁状体となる方向に押圧可能な受圧部材８０とを備え、フィルム６０を、脂肪族炭化水素を含む接着剤７０で溝状流路５１の開口縁部５１ａに接着する。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼にシャープエッジを形成する際にバリが根元から折れてシャープエッジが欠けてしまうことを防止することができるステンレス鋼製部材の製造方法及びその方法で製造されたステンレス鋼製部材で塗布液を塗布する塗布フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼のシャープエッジを形成する面（Ａ面）、及び、シャープエッジの長さ方向に接する両側面（Ｂ面、Ｃ面）を研削するステップａと、シャープエッジを形成する面（Ａ面）を研磨するステップｂと、を有し、ステップｂでは、シャープエッジを形成する面と接する側から順に、１層目３２が砥粒、２層目３４が軟質部材、３層目３６が２層目よりも剛性が高い支持体、から成る研磨手段３０を用いて研磨する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の異なる領域にそれぞれ異なる液状樹脂を被覆することができる保護膜形成装置を提供する。
【解決手段】保護膜形成装置であって、被加工物保持手段と、被加工物に第１の液状樹脂を微細粒子として噴射する第１の液状樹脂噴射手段７０ａおよび第２の液状樹脂を微細粒子として噴射する第２の液状樹脂噴射手段７０ｂと、液状樹脂噴射手段７０と被加工物保持手段を相対的に加工送り方向（X軸方向）に移動せしめる加工送り手段と、X軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に移動せしめる割り出し送り手段と、液状樹脂噴射手段７０と被加工物保持手段との相対位置関係を検出するX軸方向位置検出手段と、Y軸方向に相対移動する液状樹脂噴射手段７０と被加工物保持手段との相対位置関係を検出するY軸方向位置検出手段と、X軸方向位置検出手段およびY軸方向位置検出手段からの検出信号に基いて噴射手段を制御する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】カバー部材の可撓性を周知の限界以下に低下させ、それにより印刷方向におけるノズル密度を増大しそしてプリントヘッドの印刷速度をも速めることを可能にする液滴射出装置の提供。
【解決手段】各流体チェンバーがチェンバー壁間隔で互いに分離された相対する一対のチェンバー壁によって画成されそしてそれからの液滴射出のためのノズルと流体連絡している複数の流体チェンバーからなる列；および該複数のチェンバー壁の端へ接合しそれにより該チェンバーの１つの側面をシールするカバー部材をもち、該カバー部材の厚さ対該チェンバー壁間隔の比が１以下対１である液滴射出装置。 （もっと読む）

【課題】 基材上に良好に塗布膜を形成することができる塗布装置、この塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システム、塗布方法および塗布膜形成方法を提供する。
【解決手段】 ノズル１１が塗布液を吐出する吐出位置において、基材５を他方主面から支持しつつ、搬送経路８に沿って基材５を走行させる支持ローラ１２に対して、振動付与部１３が振動を付与することで、支持ローラ１２に支持された基材５を介して、基材５の一方主面に塗布された塗布液に振動を付与することができる。これにより、基材５上に塗布された塗布液によって形成される塗布膜の膜厚のばらつきを平坦化することで塗布ムラを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第１動作と、第１動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、第２動作後、第１状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第３動作と、を含み、第３動作における液滴供給位置が、第１動作における液滴供給位置より、開口のエッジから離れるように、第３動作における複数の液滴の間隔を第１動作における複数の液滴の間隔よりも狭くするための液滴供給位置の調整を行う。 （もっと読む）