【課題】吸引力発生源において発生する振動が液体吐出に悪影響を及ぼしにくい。
【解決手段】サブキャリッジ１００に保持されたプレコートヘッド１０とインクジェットヘッド１１との間に吸引機構１３０が設けられている。吸引機構１３０は、固定側ダクト１３１、可動側ダクト１３２及び吸引ユニット１３３（吸引力発生源）を有している。固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２は互いに連結され、吸引ユニット１３３は、固定側ダクト１３１及び可動側ダクト１３２を介してミストを吸引する。固定側ダクト１３１及び吸引ユニット１３３は、メインキャリッジ１２０に保持されており、可動側ダクト１３２はサブキャリッジ１００に保持されている。移動機構は、メインキャリッジ１２０に対してサブキャリッジ１００を移動させる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送路が一方向に連続的に延びる場合であっても、口金部を容易に交換することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】一方向に延びる基板搬送路と、基板搬送路に基板を対面させた状態で基板搬送路の延びる方向に沿って基板を搬送する基板搬送部と、口金部が基板搬送路に対向した状態で固定して設置された塗布ユニットと、を備えた塗布装置であって、前記口金部を載置するものであり、塗布ユニットに取付けられた口金部と対向する口金受取位置と、前記口金部を交換する口金交換位置とに移動可能な口金移載ユニットをさらに備え、前記基板搬送路は、作業スペース形成部を有しており、この作業スペース形成部により、基板搬送路の一部が除去されて前記口金部を交換するための作業スペースが形成され、前記口金交換位置は、前記作業スペース形成部で口金部の交換作業が可能な範囲に設定されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】走行するウエブを安定してガイドできる両面塗工装置を提供する。
【解決手段】上下一対の上ダイ１２と下ダイ１４とを水平に搬送するウエブＷの搬送路に配置し、下ダイ１４の上流側にガイド部材１６を配置し、ガイド部材１６は、多孔質材料よりなる空気吹き出し部４２を有する。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する圧力室２０と、該圧力室２０に供給口２２を通じて液体を供給する共通液室２９と、を有し、圧力室２０内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２３から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２０の底面には、供給口２２側からノズル２３側への流体の流れに対して抵抗となる段差部２５が設けられた。 （もっと読む）

【課題】被塗装物に気泡が付着することを防止可能なフローコータ装置を提供することである。
【解決手段】フローコータ装置１は、塗料循環回路２０の途中にリターン流路１０を有する。塗料循環回路２０は、塗料タンク２と、ポンプ７と、フィルタ８と、脱泡用タンク３と、ヘッド前貯留部４と、塗装用ヘッド部５と、塗料回収部６と、フィルタ９とが、その順番通りに配管１９で接続されたもの。脱泡用タンク３は、塗料３０に含まれる空気等を振動によって除去するための装置一体型の容器。脱泡用タンク３は、容器部１１と、振動発生装置１２と、オーバーフロー部１３と、気泡排出装置１４を有する。リターン流路１０は、樋状部材１５と消泡装置１６を有し、樋状部材１５にはローラ２２が設置され、ローラ２２と樋状部材１５との間で気泡３２を含む塗料３０を挟み、気泡３２を押し潰す。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】ワイピング部材の浪費を抑制しつつ、ワイピング部材において液体を吸収した部分が液体噴射ヘッドに当接することを回避することができるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッドに付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０を巻装した繰り出しローラーと、繰り出しローラーから巻き解かれたワイピング部材３０を巻き取る巻き取りローラー８２と、ワイピング部材３０において繰り出しローラーと巻き取りローラー８２との間の掛装される部分を巻き掛けた状態で、繰り出しローラーから巻き取りローラー８２へのワイピング部材３０の繰り出しに伴って連れ回るように回動する中継ローラー８９と、中継ローラー８９の回動量を検出するロータリーエンコーダー１２９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】液状樹脂の廃棄を少なくして、樹脂膜の形成コストを低減すること。
【解決手段】本発明の樹脂膜形成装置（２）は、ウェーハ（Ｗ）を保持する吸着面（６１）を囲むように環状凸部（６５）が設けられた成膜用テーブル（２２）と、成膜用テーブル（２２）の環状凸部（６５）に当接して、ウェーハ（Ｗ）上方に液密な空間（Ｓ）を形成する塗布部（２３）とを備え、塗布部（２３）には、液密な空間に液状樹脂を供給する供給口（７４）と、ウェーハ（Ｗ）の外周側に対向する位置において液密な空間（Ｓ）内を吸引する吸引溝（７６）とが形成され、成膜用テーブル（２２）と塗布部（２３）とを相対的にスライドさせる構成にした。 （もっと読む）

【課題】軽量化を図りつつ、液体噴射ヘッドの払拭時に払拭部材が弛むことを抑制できるワイパーユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する記録ヘッド２２に付着したインクを払拭する長尺状のワイピング部材３０の一端を巻装した繰り出しローラー８１、または、ワイピング部材３０の他端を巻装した巻き取りローラー８２のうち、払拭時にワイピング部材３０に対して作用する摩擦力によって張力がかかるローラーの回動を規制するラチェット１１５，１２４を備えた。 （もっと読む）

【課題】連続的に走行する帯状基材に対して多層塗布を行う際に、高速で安定した薄膜塗布を効率よく行うことができるロール塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】連続的に走行する帯状基材１に対して、アプリケーターロール５を基材１と接触させて塗布液を基材１に塗布するロール塗布方法において、アプリケーターロール５に対してスリットダイ７により２層以上の多層コートを行い、その際のアプリケーターロール５上の塗布液膜厚さをｔ_ａ（μｍ）とした場合、アプリケーターロール５のロール径Ｄ_ａ（ｍｍ）をＤ_ａ≦３．３ｔ_ａ＋１３３．３とし、アプリケーターロール５の回転速度Ｖ_ａと基材１の速度Ｖ_Ｌが０．９≦Ｖ_ａ／Ｖ_Ｌ≦１．２となるように調整を行い、アプリケーターロール５から基材１に転写されずに残った塗布液は掻取装置６によって除去することを特徴とする帯状基材へのロール塗布方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、基板に所定パターンの薄膜を精細に塗布することができる薄膜塗布装置を提供することにある。
【解決手段】
ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、を含み、前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有する。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出精度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のヘッド１０と、複数の液体噴射ヘッド１０を保持する保持部材５０とを具備し、保持部材５０の一方面に、複数のヘッド１０が載置される載置面５４、及び保持部材５０を支持する位置決め治具７０の位置決めピン７８が当接される治具受け面５６が設けられたヘッドモジュール１の製造方法であって、保持部材５０の一方面に、載置面５４と治具受け面５６とを分断させるとともに面一に形成し、保持部材５０を治具受け面５６で位置決めピン７８に当接させ、保持部材５０の載置面５４に複数のヘッド１０を接着剤で仮固定し、締結部材６０で本固定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、出口幅に渡る塗布媒体を均一に分配することを確保するカーテンコーターを提案することである。
【解決手段】
液体またはペースト状の塗布媒体を重力下においてに移動するカーテンの形で、移動する紙または板状織物上に吐出するためのカーテンコーターであって、吐出幅に沿って延びており、少なくとも１つの供給ラインを経て前記塗布媒体が供給される第１の分配チャンバー、および流出方向において、前記塗布媒体を区分された流れに分断する流出チャネルを有し、かつ出口スロットを経てカーテンとして塗布媒体を吐出する第２の分配チャンバーを有するノズル本体から構成され、前記流出方向において、前記第２の分配チャンバーは、調整点および拡張チャンバーを通過する複数の方向変更する流路を有するカーテンコーター。 （もっと読む）

【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布されたインクの乾燥ムラを抑制する。
【解決手段】本発明の一形態に係るインクジェット塗布装置は、第１のヘッド群１２Ａと第２のヘッド群１２Ｂとを有するインクヘッドモジュール１２を備える。第１のヘッド群１２Ａは、基板Ｓの表面全域をＸ軸方向に沿って配列された複数列の領域Ｒ１〜Ｒ６で区画したときに、所定の第１の領域群（Ｒ１，Ｒ３，Ｒ５）にインクの液滴を塗布する。第２のヘッド群１２Ｂは、第１のヘッド群１２Ａに対してＹ軸方向に所定距離（Ｈ）オフセットした位置に配置され、上記複数列の領域のうち残余の第２の領域群（Ｒ２，Ｒ４，Ｒ６）にインクの液滴を塗布する。このとき、第１のヘッド群１２Ａからの液滴が基板Ｓ上に着弾してから、第２のヘッド群１２Ｂからの液滴が基板上に着弾するまでの時間が所定時間以内となるように、基板Ｓを支持するステージ１１の移動が制御される。 （もっと読む）