本発明は、供給線用入口及び送出線用出口を有するハウジング、ここで、前記ハウジング内にドーシングバルブがバルブハウジングを備えて配置され、このバルブハウジング内に、バルブ本体が変位方向において前後に直線変位可能なように装着される、を備えた蒸気噴射装置用ハンドピースであって、前記バルブ本体が、前記ハウジング上に保持された作動要素に可動となるように結合され、この作動要素が、使用者によりばね力の作用に反して可動であるハンドピースに関する。蒸気送出の特に繊細な割り当てを可能にするようなやり方で前記ハンドピースを更に改良するため、本発明によれば、少なくとも１つのばね要素が、前記バルブハウジングに隣接して側方に配置され、前記変位方向に平行な向きのばね力でもって前記バルブ本体に作用することが提案される。
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【課題】有機溶剤等の揮発成分がヒーターユニット内部へ到達することを抑制する安全な構成であり、かつ、ヒーターユニットの周囲への熱伝播を抑制するヒーターユニットを提供する。
【解決手段】本発明のヒーターユニット１２は、被処理物を加熱する加熱空気を噴出する噴出口を先端に有するエアヒーター１と、エアヒーター１を格納する筐体とを備えている。上記筐体には、エアヒーター１が突出可能な突出口５ａが形成され、突出口５ａには突出口５ａの開閉状態を変更するシャッター５が備えられ、上記筐体内にはエアヒーター１を移動させることによって、突出口５ａおよびエアヒーター１の相対距離を変化させる移動機構２が配置されている。また、上記筐体には筐体内の温度上昇を抑制する冷却ガスを筐体内に導入させるための上部ガス導入口８および下部ガス導入口９、並びに、冷却ガスを筐体外へ排出させるためのガス排出口１０が形成されている。 （もっと読む）

第一のデバイスが提供される。第一のデバイスは、プリントヘッドと、プリントヘッドに気密的に密閉された第一のガス源とを含む。プリントヘッドは、複数のアパーチャを備えた第一の層を含み、各アパーチャは０．５から５００マイクロメートルの最小寸法を有する。第二の層が第一の層に結合される。第二の層は、第一のガス源及び少なくとも一つのアパーチャと流体連結した第一のビアを含む。第二の層は絶縁体製である。
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【課題】液体を各吐出口からそれぞれ吐出した際の当該吐出口付近に生じる目詰まりを防止することができる塗布具を提供すること。
【解決手段】塗布具１は、外筒２１と、外筒２１内に挿入されたガスケットを外筒２１の長手方向に沿って移動操作する押し子２６とを備えた第１のシリンジ２および第２のシリンジ３を装填して用いられるものである。この塗布具１は、第１のシリンジ２および第２のシリンジ３の各外筒２１を並べて保持する塗布具本体７と、第１のシリンジ２の押し子２６と第２のシリンジ３の押し子２６とを一括して前方に向かって押圧操作する操作部材８と、操作部材８に対する押圧力を解除したときに、第１のシリンジ２および第２のシリンジ３の各外筒２１に対して各押し子２６を後退させる押し子後退手段としての複数の弾性片９３とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布装置において基板上に塗布液を均一に塗布する。
【解決手段】塗布ヘッドを主走査方向に往復移動するヘッド移動機構は、主走査方向に伸びるガイド部に係合しつつガイド部との間にエアを噴出することにより非接触状態にてガイド部に支持されるスライダを有する。スライダにはエアチューブ３３１を介してエアが供給され、スライダに取り付けられる塗布ヘッドの複数の吐出口には複数の塗布液チューブ３３２を介して塗布液が供給される。エアおよび塗布液の供給源と塗布ヘッドとの間において、エアチューブ３３１の周囲には複数の塗布液チューブ３３２が配置され、結束材３３３が複数の塗布液チューブ３３２の全体の外周に密着して当該外周を覆うことにより、これらのチューブが結束されてチューブ群３３が構築される。チューブ群３３では基板上への塗布液の塗布時における変形が抑制され、基板上に塗布液を均一に塗布することが実現される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、スリット幅と流体流路の絞り幅とを容易に変更可能なリングヘッドを提供することにある。また、軸芯体の周面に高品位な塗膜が形成されてなるローラ部材の製造方法を提供することにある。
【解決手段】流体分配室と、第１、２のリング部材の間隙に構成される、内周面全周に開口しているスリットと、流体導入口と、該流体分配室と該スリットとを結ぶ環状流路とを有するリングヘッドであって、該第１、２のリング部材の間には該スリット幅を規定するスペーサが配置され、流体の流路は該スペーサの絞り孔により流路幅が絞られている絞り部を有し、該絞り部において流体の絞り孔通過前の供給口側の流路断面積Ｓａと、複数の絞り孔の総断面積Ｓｂが、０．０３≦Ｓｂ／Ｓａ≦０．３０を満たすリングヘッド及び該リングヘッドを用いたローラ部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 長期間に亘ってノズルを十分清浄に洗浄することが可能なノズル洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 洗浄ブロック６１は、一対の飛散防止版７３と、不活性ガス噴出用スリット７７、７８を備えた４個の不活性ガス噴出用ブロック７５と、仕切板７４と、支持部材に支持された下面洗浄ブラシ８２、右側面洗浄ブラシ８３および左側面洗浄ブラシ８１と、第１ノズル８７、第２ノズル８４および第３ノズル８５、８６を支持する一対のノズル用ブロック７６とを備える。洗浄ブロック６１が洗浄領域に配置されたときには、下面洗浄ブラシ８２はスリットノズルの下端部下面と、右側面洗浄ブラシ８３はスリットノズルの長手方向に向かって下端部右側面と、左側面洗浄ブラシ８１はスリットノズルの長手方向に向かって下端部左側面と、各々、当接可能な位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】均一な大きさとなった液滴などの微粒流体を生成可能とした流体の吐出器及び微粒流体生成装置を提供する。
【解決手段】吐出器は、円筒状の周面壁と、この周面壁の一方の端部を閉塞する閉塞壁とを有し、この閉塞壁の所定位置に貫通孔を設けた吐出体と、この吐出体を周面壁の周方向に振動させる振動手段と、吐出体内に貫通孔から吐出させる液体または気体を供給する配管とを備え、振動手段で吐出体をさせることにより、貫通孔から液体または気体を所定量の微粒流体として吐出させる。 （もっと読む）

【課題】揮発性の低い洗浄薬液を用いて強打力で洗浄を行った際でも乾燥性が非常に高く、洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラを無くすことができ、且つ毎回一動作の洗浄でスリットノズルの先端部に乾燥固着する異物を完全に除去することで歩留まりを向上させ、タクトタイムを短縮する事が可能な洗浄装置付塗布装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、スリットノズル先端部８の外側に洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出する２流体ノズル１０と、２流体ノズル１０の逆進行方向側に不活性ガスを噴出する液切りノズル１８とをスリットノズル１の長手方向に配列してなる２組が、スリットノズル先端部８の外側を挟みこむようにスリットノズル１の長手方向に平行に近設されている洗浄部と、この洗浄部の下部に位置して、発生したミスト状廃液を強制排気する排気部とで構成される洗浄ヘッド２３を具備する。 （もっと読む）

【課題】 カートリッジ等の容器から直接高粘度材料を供給することができる、小型、安価な高粘度材料にガスを混入させるガス混入供給装置を提供する。
【解決手段】 シリンダー２７内が吸込み状態となるようにピストン２５をシリンダー内で移動させる第１の吸入工程と、この工程においてシリンダー内の吸込み力を用いて、シリンダー内に高粘度材料を供給する工程と、第１の吸入工程後に、ピストンを停止させる工程と、高粘度材料の所定量導入後に、シリンダー内が再度吸込み状態となるようにピストンをシリンダー内で移動させる第２の吸入工程と、この工程において生じたシリンダー内の吸込み力を用いて、シリンダー内にガスを供給する工程と、ガス供給終了後に、ピストンをシリンダー内で移動させて、高粘度材料とガスを加圧する加圧工程と、この加圧工程後に、高粘度材料及びガスを管路に吐出する吐出工程とを備える。そして大気圧にして高粘度材料を発泡させる。 （もっと読む）

【課題】 ダメージを抑制しつつ基板に流体を供給することのできる流体吐出ノズルを提供する。また、この流体吐出ノズルを用いて基板への汚染物の再付着を抑制することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 気体流入口２と液体流入口３から流入された気体および液体は、混合部４で混合された後、導出路５の端部に設けられた噴射口６から半導体ウェハ７に向かって噴射される。噴射口６から導出路５の長手方向には湾曲部８が延設されていて、湾曲部８は、導出路５の中心軸１２から離れる方向に徐々に湾曲した形状を有する。導出路５は、長手方向に矩形状の断面を有するものとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 乾燥ムラやひけ等の発生を防止して基板上に均一な膜厚の塗布膜を形成することができるスリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】 基板１を保持する保持テーブル２０と保持テーブル２０に保持された基板１の表面に相対向するように配置されると共に基板１の表面に向かって所定の塗布溶液２を流出するスリット状のノズル開口３１を有する塗布ヘッド３０とを具備し、保持テーブル２０と塗布ヘッド３０とが水平方向で相対的に移動することで基板１の表面に塗布溶液２が塗布されると共に、塗布溶液２が塗布された基板１の表面に向かって乾燥気体を噴射する噴射手段５０をさらに具備するようにし、噴射手段５０から噴射された乾燥気体によって基板１表面の塗布溶液２を乾燥させ、且つ塗布溶液２を乾燥させた気体を強制排気する。 （もっと読む）